희토류 가습물
2026/02/03
희토류 연마 슬러리는 종종 산화세륨(CeO₂)을 주성분으로 하며, 유리, 광학 렌즈, LCD 화면, 반도체 웨이퍼(CMP)의 초정밀 연마에 사용되는 고급 고성능 연마재입니다. 이 슬러리는 높은 제거율, 우수한 표면 마감, 최소한의 표면하 손상을 제공하며, 특정 응용 분야를 위해 란타넘 및 기타 원소와 자주 혼합됩니다.
희토류 연마 슬러리의 주요 특징: 구성: 주로 산화세륨이며, 종종 란타넘(La₂O₃), 프라세오디뮴 또는 불소로 강화되어 우수한 경도와 화학적 반응성을 제공하여 매끄러운 표면을 얻습니다.응용 분야: 광학 산업(렌즈, 거울), 전자 제품(터치스크린, HDD 유리 기판), 반도체 제조(CMP - 화학 기계적 평탄화)에서 널리 사용됩니다.
성능: "연마 분말의 왕"으로 알려져 있으며, 극도로 매끄러운 표면을 생성하고 손상층을 최소화하는 능력 때문입니다.
환경 및 비용: 폐기물의 환경 부담을 고려하여 사용된 슬러리에서 희토류 원소를 재활용하는 데 중점을 두고 있으며, 불산 또는 기타 침출 공정을 사용하여 재료를 회수하고 재생하는 기술이 있습니다.
지속 가능성: 재활용된 슬러리는 재사용될 수 있으며, 신선한 재료보다 동등하거나 더 나은 연마 성능을 달성할 수 있다는 연구 결과가 있습니다.
