Ceria CMP Slurry per la lucidatura delle cialde di silicio.
Dettagli del prodotto
| Nome del prodotto: | Liquame Ceria CMP | Materiale abrasivo: | Ossido di cerio (CeO₂) |
|---|---|---|---|
| Dimensione delle particelle: | Personalizzato | Purezza del CeO₂: | ≥99,9% |
| Contenuti solidi: | Personalizzato | pH: | Personalizzato |
| Evidenziare |
Slurry CMP a base di ceria per wafer di silicio,Impianto di lucidatura di nanoossido di cerio,Impianto di lucidatura meccanica per terre rare |
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Descrizione di prodotto
Ceria CMP Slurry per la lucidatura delle cialde di silicio.
Visualizzazione del prodotto
Lo slurry CMP a base di cereale è uno slurry di lucidatura meccanica chimica (CMP) ad alte prestazioni formulato con particelle di nanoossido di cereale di alta purezza.fornisce prestazioni eccellenti di rimozione dei materiali, garantendo allo stesso tempo una qualità superficiale eccezionale e uniformità di lucidatura.
L'impasto offre una dispersione stabile, una distribuzione controllata delle dimensioni delle particelle e una bassa generazione di graffi, il che lo rende adatto per la pianificazione e la finitura di wafer di precisione.
Caratteristiche chiave
- Abrasivo ad alta purezza di ossido di cerio
- Dimensione delle nanoparticelle
- Eccellente efficienza di lucidatura
- Generazione di difetti di superficie ridotti
- Dispersione stabile con lunga stabilità di conservazione
- Tasso di rimozione uniforme del materiale (MRR)
- Performance eccellenti in materia di rugosità della superficie
- Contenuto solido e pH personalizzabili
- per la lavorazione di materiali di acciaio o di ferro
Distribuzione della dimensione delle particelleLa Commissione

Applicazioni
- Polizione di wafer di silicio
- Planarizzazione dei wafer a semiconduttore
- Fabbricazione di circuiti integrati
- Fabbricazione di MEMS
- Trasformazione avanzata dei semiconduttori
- Polizione di substrato di precisione
Domande frequenti
Q1. Qual è la dimensione delle particelle disponibili?
Il nostro liquido CMP ceria standard usa nano particelle di ossido di cerio.
D. Il liquame può essere personalizzato?
Il contenuto di solidi, il valore del pH e la formulazione possono essere regolati in base alle esigenze di lucidatura del cliente.
D. L'immondizia è adatta alla produzione di semiconduttori ad alto volume?
Sì, l'impasto offre una qualità stabile, una distribuzione delle particelle costante e un'eccellente consistenza batch-to-batch.
Q4. Quali imballaggi sono disponibili?
L'imballaggio può essere personalizzato in base alle esigenze del cliente.
Caratteristiche del prodotto
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