Alumina CMP-Slurry | Hochleistungs-Aluminiumoxid-Slurry für die chemisch-mechanische Planarisierung von Halbleitern
Produktdetails
| D50: | 50 – 300 nm | pH-Wert: | 3 – 11 |
|---|---|---|---|
| solider Inhalt: | 5 – 25 | Partikelverteilung: | Schmales PSD |
| Stabilität der Dispersion: | Exzellent | Defekte Leistung: | Niedrige Scratch-Rate |
| Hervorheben |
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||
Produkt-Beschreibung
Aluminium-CMP-Schlamm. Hochleistungs-Aluminium-Oxid-Schlamm für Halbleiter-chemische mechanische Planarisierung.
Übersicht:
Hochreine Aluminiumoxid-CMP-Schlamm, entwickelt für die Planalisierung von Halbleiterwafern.
Hauptmerkmale und Vorteile
Ausgezeichnete Planarisierungsleistung
Bietet eine gleichmäßige Materialentfernung und eine höhere Oberflächenflächigkeit, die bei der Herstellung von Halbleitern erforderlich ist.
Kontrollierte Entfernung
Die optimierte Schleif- und chemische Balance ermöglicht eine präzise Polierkontrolle für verschiedene Wafermaterialien.
Niedrig defekte Erzeugung
Hohe Dispersionsstabilität minimiert die Partikelagglomeration und reduziert Kratzer und Defekte.
Stabiler Betrieb mit CMP
Beibehält eine gleichbleibende Schlammleistung während langer Polierzyklen und automatisierter Produktion.
Hohe Prozesskompatibilität
Geeignet für verschiedene CMP-Plattformen und Poliersysteme.
Partikelgrößenverteilung
Typische Anwendungen
Herstellung von Halbleitern
- Siliziumwafer CMP
- Planarisierung der Oxidschicht
- Polieren von Metallschichten
- Dielektrische Polerierung zwischen Schichten
Fragen und Antworten
1Kann ich eine Probe bekommen, bevor ich eine Großbestellung mache?
Wir stellen Proben zur Auswertung zur Verfügung. Kontaktieren Sie unser Team, um eine Probe anzufordern, und wir arrangieren die Lieferung.
2Wie kann ich eine Bestellung aufgeben?
Um eine Bestellung aufzugeben, kontaktieren Sie einfach unser Vertriebsteam, das Sie durch den Prozess führt und Ihnen ein Angebot bietet.Die Lieferzeiten variieren je nach Bestellgröße, Standort und Lagerverfügbarkeit, und wir geben Ihnen einen geschätzten Zeitplan, sobald die Bestellung bestätigt ist.
Produkt-Highlights
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