Slurry CMP ad alta purezza di ossido di cerio per la planarizzazione delle onde di silicio e la produzione di semiconduttori
Dettagli del prodotto
| Purezza: | ≥ 99,9% | contenuto solido: | 5-30% in peso |
|---|---|---|---|
| Dimensione delle particelle (D50): | 50 – 150 nm | Intervallo di pH: | Personalizzabile |
| Densità dei difetti: | ultrabasso | Stabilità della dispersione: | Eccellente |
| Evidenziare |
liquido di scarico di CMP,liquido di polimerizzazione per wafer di silicio,liquidi di polvere di acciaio |
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Descrizione di prodotto
Slurry CMP ad alta purezza di ossido di cerio per la planarizzazione delle onde di silicio e la produzione di semiconduttori
Visualizzazione del prodotto
Il nostro liquido di lucidatura CMP è stato progettato per la pianificazione ultra-precise di wafer di silicio utilizzati nella produzione avanzata di semiconduttori.L'impasto combina abrasione meccanica controllata con attività chimica ottimizzata per ottenere un'eccellente piattezza superficiale, bassa difettosità e integrità superficiale dei wafer.
Progettata per i moderni processi CMP, la formulazione fornisce tassi di rimozione stabili riducendo al minimo i micro graffi, la contaminazione da particelle e i danni alla superficie.Il prodotto supporta ambienti di produzione ad alto rendimento che richiedono una qualità dei wafer coerente e la ripetibilità del processo.
Principali vantaggi tecnici
- Performance di lucidatura con defectività ultra-bassa
- Tasso di rimozione del silicio controllato
- Eccellente planarità e uniformità della superficie
- Riduzione della generazione di micrograffi
- Dispersione stabile dello slurry e lunga durata
- Compatibile con apparecchiature CMP automatizzate
- Alta consistenza di lotto in lotto
Distribuzione della dimensione delle particelleLa Commissione
Applicazioni
- Planarizzazione dei wafer di silicio
- Rifinitura di wafer prime
- Dispositivo per la lucidatura della superficie dei wafer
- Passi di lucidatura pre-pulizia CMP
- Preparazione di substrati semiconduttori
Caratteristiche del prodotto
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