Geavanceerde Ceria CMP Slurry voor Polijsten van Siliciumwafers en Planarisatie van Halfgeleideroppervlakken
Productdetails
| Zuiverheid: | ≥ 99,95% | stevige inhoud: | 5-30 gew.% |
|---|---|---|---|
| Deeltjesgrootte (D50): | 80 Nm | Ph-bereik: | Aanpasbaar |
| Defectdichtheid: | ultra-low | Dispersiestabiliteit: | Uitstekend |
| Markeren |
Ceria CMP slurry voor siliciumwafers,Halfgeleider planarisatie polijst slurry,Zeldzame aardmetalen CMP slurry met garantie |
||
Productomschrijving
Geavanceerde Ceria CMP-slurry voor het polijsten van siliciumwafers en de platvorming van halfgeleiders
Productoverzicht
Deze geavanceerde op ceria gebaseerde CMP-slijm is geoptimaliseerd voor het polijsten van siliciumwafers met hoge precisie waar nanoschaaloppervlaktecontrole vereist is.De chemisch actieve cerium-oxide deeltjes bevorderen efficiënte materiaal verwijdering terwijl het behoud van de kristal integriteit en het minimaliseren van ondergrondse schade.
De slurry zorgt voor een verbeterde vlakheid van de wafer, verminderde dishing- en erosie-effecten en verbeterde processtabiliteit over grote waferdiameters.
Belangrijkste technische voordelen
- Hoge controle van de vlakheid van de wafer
- Laag verpakking en erosie
- Ruwheid van het oppervlak op nanometerniveau
- Uitstekende gelijkheid binnen de wafer
- Lage deeltjesagglomeratie
- Eenvoudige reiniging na CMP
- van een breedte van niet meer dan 50 mm
DeeltjesgrootteverdelingVerband

Toepassingen
- Eindpoetsing van siliciumwafers
- Logic en geheugen wafer CMP
- Geavanceerde verpakkingssubstraten
- Vervaardiging van wafers van 300 mm
- Processen voor het verminderen van oppervlaktefouten
Producthoogtepunten
Geavanceerde Ceria CMP-slurry voor het polijsten van siliciumwafers en de platvorming van halfgeleiders Productoverzicht Deze geavanceerde op ceria gebaseerde CMP-slijm is geoptimaliseerd voor het polijsten van siliciumwafers met hoge precisie waar nanoschaaloppervlaktecontrole vereist is.De ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Gebruik ons online contactformulier als u vragen heeft, ons team zal u zo snel mogelijk contacteren.