Усовершенствованная суспензия CMP на основе церия для полировки кремниевых пластин и планарной обработки поверхности полупроводников
Детали продукта
| Чистота: | ≥ 99,95% | солидное содержание: | 5-30% масс. |
|---|---|---|---|
| Размер частиц (D50): | 80 Нм | Диапазон Ph: | Настраиваемый |
| Плотность дефектов: | ультра-низкий | Стабильность дисперсии: | Отличный |
| Выделить |
Суспензия CMP на основе церия для кремниевых пластин,Суспензия для планарной полировки полупроводников,Суспензия CMP на основе редкоземельных элементов с гарантией |
||
Характер продукции
Усовершенствованный СЕРИА СМП для полировки кремниевых вафль и плоскости поверхности полупроводников
Обзор продукции
Эта передовая смесь CMP на основе керия оптимизирована для высокоточной полировки кремниевых пластин, где требуется контроль поверхности на наномасштабе.Химически активные частицы оксида церия способствуют эффективному удалению материала при сохранении целостности кристалла и минимизации повреждений под поверхностью.
Слюна позволяет улучшить плоскость пластины, уменьшить эффект разложения и эрозии, а также повысить стабильность процесса на больших диаметрах пластины.
Основные технические преимущества
- Контроль высокой плоскости пластины
- Низкий уровень насыщения и эрозии
- Грубость поверхности на уровне нанометров
- Отличная однородность внутри вафры
- Низкая агломерация частиц
- Легкая чистка после CMP
- Подходит для производства больших объемов
Распределение размера частицОтношение

Заявления
- Окончательная полировка кремниевых пластин
- Логика и память CMP
- Продвинутые упаковочные субстраты
- Производство пластинок 300 мм
- Процессы уменьшения дефектов поверхности
Основные характеристики продукта
Усовершенствованный СЕРИА СМП для полировки кремниевых вафль и плоскости поверхности полупроводников Обзор продукции Эта передовая смесь CMP на основе керия оптимизирована для высокоточной полировки кремниевых пластин, где требуется контроль поверхности на наномасштабе.Химически активные частицы окс...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Пожалуйста, воспользуйтесь нашей онлайн-формой для запроса, если у вас есть вопросы, наша команда свяжется с вами как можно скорее.