Cerium-oxide-CMP-slam met een ultra-lage afwijking voor de vervaardiging van halfgeleider-siliconwafers
Productdetails
| Zuiverheid: | ≥ 99,95% | stevige inhoud: | 5-30 gew.% |
|---|---|---|---|
| Deeltjesgrootte (D50): | 30-120 nm | Ph-bereik: | verstelbaar |
| Uniformiteit van de verwijderingssnelheid: | Uitstekend | Houdbaarheid: | 6–12 maanden |
| Markeren |
CMP-schimmel met cerium-oxide met een zeer laag defect,Cerium-oxide-slijm voor halfgeleiderwafels,Seldzaam aardpoetsmiddel voor silicium |
||
Productomschrijving
Ultra-lage defect ceriumoxide CMP-slurry voor de productie van halfgeleidersiliciumwafers
Productoverzicht
Onze ultra-lage defect ceriumoxide CMP-slurry is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van de volgende generatie halfgeleiderfabricage. De slurry levert precieze chemisch-mechanische interactie tussen schurende deeltjes en siliciumoppervlakken, waardoor atomische planariteit mogelijk is die vereist is voor geavanceerde knooppunten en hoogwaardige apparaten.
Ontworpen voor compatibiliteit met toonaangevende CMP-platforms, ondersteunt de slurry stabiele verwerking gedurende langere polijstcycli, terwijl consistente verwijderingssnelheden en uitstekende waferopbrengstprestaties worden gehandhaafd.
Belangrijkste technische voordelen
- Oppervlakteafwerking op atomair niveau
- Uitstekende defectcontrole voor geavanceerde knooppunten
- Hoge processtabiliteit
- Verminderde kras- en waasvorming
- Geoptimaliseerde chemische reactiviteit
- Controle op halfgeleiderkwaliteit zuiverheid
- Betrouwbare grootschalige productieprestaties
DeeltjesgrootteverdelingToepassingen

Geavanceerde halfgeleiderfabricage
- Ondersteuning voor STI- en ILD-planariteit
- Afwerking van siliciumsubstraten
- Ontwikkeling van CMP-processen
- Productielijnen voor gieterijen en IDM's
Producthoogtepunten
Ultra-lage defect ceriumoxide CMP-slurry voor de productie van halfgeleidersiliciumwafers Productoverzicht Onze ultra-lage defect ceriumoxide CMP-slurry is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van de volgende generatie halfgeleiderfabricage. De slurry levert precieze chemisch-mechanische ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Gebruik ons online contactformulier als u vragen heeft, ons team zal u zo snel mogelijk contacteren.