Ультранизкодефектная суспензия оксида церия для производства кремниевых пластин полупроводников
Детали продукта
| Чистота: | ≥ 99,95% | солидное содержание: | 5-30% масс. |
|---|---|---|---|
| Размер частиц (D50): | 30-120 нм | Диапазон Ph: | регулируемый |
| Равномерность скорости удаления: | Отличный | Срок годности: | 6–12 месяцев |
| Выделить |
Ультранизкодефектная суспензия оксида церия,Суспензия оксида церия для полупроводниковых пластин,Полировальная суспензия редкоземельных элементов для кремния |
||
Характер продукции
Ультранизкодефектная суспензия на основе оксида церия для химико-механической планаризации кремниевых пластин в производстве полупроводников
Обзор продукта
Наша ультранизкодефектная суспензия на основе оксида церия разработана для удовлетворения строгих требований производства полупроводников следующего поколения. Суспензия обеспечивает точное химико-механическое взаимодействие между абразивными частицами и кремниевыми поверхностями, обеспечивая атомарную планаризацию, необходимую для передовых узлов и высокопроизводительных устройств.
Разработанная для совместимости с ведущими CMP-платформами, суспензия обеспечивает стабильную обработку в течение длительных циклов полировки, поддерживая постоянные скорости удаления и отличные показатели выхода пластин.
Ключевые технические преимущества
- Возможность финишной обработки поверхности на атомарном уровне
- Отличный контроль дефектов для передовых узлов
- Высокая стабильность процесса
- Снижение образования царапин и помутнений
- Оптимизированная химическая реакционная способность
- Контроль чистоты полупроводникового класса
- Надежная производительность при крупномасштабном производстве
Распределение размера частицПрименение
Производство полупроводников передовых узлов
- Поддержка планаризации STI и ILD
- Финишная обработка кремниевых подложек
- Разработка CMP-процессов
- Производственные линии литейных заводов и IDM
Основные характеристики продукта
Ультранизкодефектная суспензия на основе оксида церия для химико-механической планаризации кремниевых пластин в производстве полупроводников Обзор продукта Наша ультранизкодефектная суспензия на основе оксида церия разработана для удовлетворения строгих требований производства полупроводников следую...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Пожалуйста, воспользуйтесь нашей онлайн-формой для запроса, если у вас есть вопросы, наша команда свяжется с вами как можно скорее.
