Poudre d'oxyde de cérium de haute pureté 4N pour CMP à semi-conducteurs
Détails de produit
| Formule chimique: | CeO2 | Pureté du CeO₂: | 4N |
|---|---|---|---|
| Taille des particules: | 0,1 à 0,3 μm | Apparence: | Jaune clair |
| Dispersion: | Personnalisable selon l'application | Conditionnement: | Personnaliser |
| Mettre en évidence |
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Description de produit
Poudre d'oxyde de cérium de haute pureté 4N pour CMP à semi-conducteurs
Vue d'ensemble du produit
La poudre d'oxyde de cérium (ceria) de qualité CMP pour semi-conducteurs est un oxyde de terres rares de très haute pureté conçu pour la planarisation mécanique chimique dans la fabrication de semi-conducteurs.Un contrôle strict des particules grossières et des impuretés métalliques garantit une sélectivité élevée de l'élimination des couches de dioxyde de silicium tout en minimisant les rayures, les défauts de surface et la contamination sur les substrats des wafers pour les applications industrielles avancées en semi-conducteurs.
Principales caractéristiques
- Impureté des métaux lourds ultra-faible et teneur en particules grossières
- Sélectivité élevée de l'élimination du SiO2 par rapport au film de nitrure de silicium
- Morphologie uniforme des particules avec faible taux d'agglomération
- Faible taux de défauts de surface pour le processus de planarisation des plaquettes
- Rigoureuse cohérence des lots pour la production de masse de semi-conducteurs
Distribution de la taille des particulesLe gouvernement

Applications
- Wafer à semi-conducteurs CMP, isolation de tranchée peu profonde (STI) planarisation par oxyde
- Polissage de haute précision de silice fondue et de substrat de quartz
- L'affichage du substrate de verre finement poli
- Planarisation de la surface des matériaux d'emballage de semi-conducteurs avancés
Questions fréquemment posées
Q: Cette poudre d'oxyde de cérium CMP peut-elle être utilisée pour le processus de polissage des IST?
R: Oui, cette qualité est largement utilisée pour le polissage à l'oxyde d'isolation de tranchées peu profondes dans l'industrie des semi-conducteurs.
Q: Quels documents pouvez-vous fournir pour l'oxyde de cérium de qualité semi-conducteur?
R: Les rapports d'analyse de la COA, de la SDS et des impuretés élémentaires sont disponibles sur demande.
Q: Fournissez-vous de la suspension de CMP ou seulement de l'oxyde de cérium en poudre brute?
R: Nous fournissons de la poudre de ceria brute.
Points forts du produit
Poudre d'oxyde de cérium de haute pureté 4N pour CMP à semi-conducteurs Vue d'ensemble du produit La poudre d'oxyde de cérium (ceria) de qualité CMP pour semi-conducteurs est un oxyde de terres rares de très haute pureté conçu pour la planarisation mécanique chimique dans la fabrication de semi...
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