أكسيد الإيتريوم عالي النقاء (Y₂O₃) للطلاء بالرش الحراري والبلازما في معدات معالجة أشباه الموصلات
تفاصيل المنتج
| الصيغة الكيميائية: | Y₂O₃ | نقاء: | 99.99% |
|---|---|---|---|
| التشكل: | كروية / مجمعة | نقطة الانصهار: | 2430 درجة مئوية |
| حجم الجسيمات: | قابلة للتخصيص | التحكم في الشوائب: | درجة أشباه الموصلات |
| إبراز |
طلاء أشباه الموصلات بأكسيد الإيتريوم عالي النقاء,طلاء الرش الحراري بأكسيد الإيتريوم,طلاء الرش بالبلازما بأكسيد العناصر الأرضية النادرة |
||
وصف المنتج
أكسيد الإيتريوم عالي النقاء (Y₂O₃) للطلاء بالرش الحراري والبلازما في معدات معالجة أشباه الموصلات
وصفأكسيد الإيتريوم عالي النقاء مصمم للطلاء بالرش البلازمي لمعدات أشباه الموصلات. مقاومة ممتازة لتآكل البلازما، تلوث جسيمات منخفض، وعمر أطول للحجرة.
ميزات المنتج
مقاومة فائقة لتآكل البلازما
يُظهر أكسيد الإيتريوم مقاومة استثنائية لبيئات البلازما الفلورية والكلورية المستخدمة بشكل شائع في عمليات الحفر والترسيب لأشباه الموصلات.
تلوث جسيمات منخفض
الطلاءات الكثيفة من Y₂O₃ تقلل بشكل كبير من تساقط الجسيمات، مما يساعد في الحفاظ على ظروف إنتاج أشباه الموصلات فائقة النظافة وتحسين إنتاجية الرقائق.
عمر أطول للمعدات
يحمي مكونات الحجرة من التآكل الكيميائي وتلف البلازما، مما يقلل من تكرار الصيانة ووقت التوقف عن التشغيل.
استقرار حراري ممتاز
نقطة انصهار عالية وخمول كيميائي يسمحان بأداء مستقر تحت درجات الحرارة القصوى والتعرض للبلازما عالية الطاقة.
تطبيقات نموذجية
حماية معدات معالجة أشباه الموصلات
حجرات حفر البلازما
- أنظمة CVD / PECVD
- معدات ترسيب ALD
- أنظمة تنظيف البلازما
- المكونات الرئيسية
طلاء الشوكات الكهروستاتيكية (ESC)
- حلقات التركيز
- رؤوس الدش
- بطانات الحجرة
- حلقات الحواف والدروع
- مكونات مناولة الرقائق
- توزيع حجم الجسيمات
الجودة والتصنيعمنتج تحت رقابة صارمة على جودة مواد أشباه الموصلات:
عملية تكرير الأرض النادرة عالية النقاء
هندسة شكل الجسيمات المتحكم بها
- تكنولوجيا التحبيب المتقدمة
- مراقبة الشوائب متعددة المراحل
- المزايا التنافسية
- التحكم في نقاء درجة أشباه الموصلات
إمداد تصدير عالمي مستقر
- تحسين الطلاء بالرش المخصص
- الدعم الفني لعمليات الطلاء
- اتساق موثوق به من دفعة إلى أخرى
أبرز المنتجات
أكسيد الإيتريوم عالي النقاء (Y₂O₃) للطلاء بالرش الحراري والبلازما في معدات معالجة أشباه الموصلات وصفأكسيد الإيتريوم عالي النقاء مصمم للطلاء بالرش البلازمي لمعدات أشباه الموصلات. مقاومة ممتازة لتآكل البلازما، تلوث جسيمات منخفض، وعمر أطول للحجرة. ميزات المنتج مقاومة فائقة لتآكل البلازما يُظهر أكسيد ال...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
يرجى استخدام نموذج الاتصال عبر الإنترنت في الأسفل إذا كان لديك أي أسئلة، وسوف يعود فريقنا إليك في أقرب وقت ممكن.
