Tlenek itru o wysokiej czystości (Y₂O₃) do powłok natryskiwanych termicznie i plazmowo w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników
Szczegóły produktu
| Wzór chemiczny: | Y₂O₃ | Czystość: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Morfologia: | Kulisty/aglomerowany | Temperatura topnienia: | 2430°C |
| Rozmiar cząstek: | Możliwość dostosowania | Kontrola zanieczyszczeń: | Stopień półprzewodnika |
| Podkreślić |
wysokiej czystości tlenek itru powłoka półprzewodnikowa,powłoka natryskiwana termicznie tlenkiem itru,powłoka natryskiwana plazmowo tlenkiem pierwiastka ziem rzadkich |
||
Opis produktu
Wysokiej czystości tlenek itru (Y₂O₃) do powłok natryskowych termicznych i plazmowych w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników
OpisWysokiej czystości proszek tlenku itru przeznaczony do powlekania plazmowego sprzętu półprzewodnikowego. Doskonała odporność na korozję plazmową, niskie zanieczyszczenie cząstkami i wydłużona żywotność komory.
Cechy produktu
Doskonała odporność na korozję plazmową
Tlenek itru wykazuje wyjątkową odporność na środowiska plazmy fluorowej i chlorowej powszechnie stosowane w procesach trawienia i osadzania półprzewodników.
Niskie zanieczyszczenie cząstkami
Gęste powłoki Y₂O₃ znacznie redukują uwalnianie cząstek, pomagając utrzymać ultra-czyste warunki produkcji półprzewodników i poprawiając uzysk wafli.
Wydłużona żywotność sprzętu
Chroni elementy komory przed erozją chemiczną i uszkodzeniami plazmowymi, zmniejszając częstotliwość konserwacji i przestojeje operacyjne.
Doskonała stabilność termiczna
Wysoka temperatura topnienia i obojętność chemiczna pozwalają na stabilną pracę w ekstremalnych temperaturach i pod wpływem wysokoenergetycznej plazmy.
Typowe zastosowania
Ochrona sprzętu do przetwarzania półprzewodników
Komory trawienia plazmowego
- Systemy CVD / PECVD
- Urządzenia do osadzania ALD
- Systemy czyszczenia plazmowego
- Kluczowe komponenty
Powłoka elektrostatyczna (ESC)
- Pierścienie ogniskujące
- Głowice prysznicowe
- Wykładziny komory
- Pierścienie krawędziowe i osłony
- Elementy do przenoszenia wafli
- Dystrybucja rozmiaru cząstek
Jakość i produkcjaProdukowane pod ścisłą kontrolą jakości materiałów półprzewodnikowych:
Proces rafinacji metali ziem rzadkich o wysokiej czystości
Kontrolowane inżynieria morfologii cząstek
- Zaawansowana technologia granulacji
- Wielostopniowe monitorowanie zanieczyszczeń
- Przewagi konkurencyjne
- Kontrola czystości klasy półprzewodnikowej
Stabilne globalne dostawy eksportowe
- Indywidualna optymalizacja powlekania natryskowego
- Wsparcie techniczne dla procesów powlekania
- Niezawodna spójność między partiami
Najważniejsze cechy produktu
Wysokiej czystości tlenek itru (Y₂O₃) do powłok natryskowych termicznych i plazmowych w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników OpisWysokiej czystości proszek tlenku itru przeznaczony do powlekania plazmowego sprzętu półprzewodnikowego. Doskonała odporność na korozję plazmową, niskie zanieczyszcze...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Uprzejmie prosimy o skorzystanie z naszego formularza kontaktowego online poniżej w przypadku jakichkolwiek pytań. Nasz zespół skontaktuje się z Państwem najszybciej jak to możliwe.
