Oxyde d'yttrium de haute pureté (Y₂O₃) pour revêtement par projection thermique et plasma dans les équipements de traitement des semi-conducteurs
Détails de produit
| Formule chimique: | Y₂O₃ | Pureté: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Morphologie: | Sphérique / Aggloméré | Point de fusion: | 2430°C |
| Taille des particules: | Personnalisable | Contrôle des impuretés: | Qualité semi-conducteur |
| Mettre en évidence |
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Description de produit
Oxyde d'yttrium (Y2O3) de haute pureté pour revêtement thermique et pulvérisation par plasma dans les équipements de traitement des semi-conducteurs
Des descriptionssur
Poudre d'oxyde d'yttrium de haute pureté conçue pour le revêtement par pulvérisation de plasma des équipements de semi-conducteurs.
Caractéristiques du produit
Résistance supérieure à la corrosion du plasma
L'oxyde d'yttrium démontre une résistance exceptionnelle aux environnements plasmatiques au fluor et au chlore couramment utilisés dans les procédés de gravure et de dépôt de semi-conducteurs.
Faible contamination par les particules
Les revêtements Y2O3 denses réduisent considérablement la perte de particules, contribuant à maintenir des conditions de production de semi-conducteurs ultra-propres et à améliorer le rendement des plaquettes.
Durée de vie prolongée de l'équipement
Protège les composants de la chambre contre l'érosion chimique et les dommages plasmatiques, réduisant la fréquence de maintenance et les temps d'arrêt opérationnels.
Excellente stabilité thermique
Le point de fusion élevé et l'inertie chimique permettent des performances stables à des températures extrêmes et à une exposition au plasma à haute énergie.
Applications typiques
Protection des équipements de traitement des semi-conducteurs
- Chambres de gravure au plasma
- Systèmes CVD / PECVD
- Équipement de dépôt ALD
- Systèmes de nettoyage par plasma
Composants clés
- Le revêtement à chuck électrostatique (ESC)
- Anneaux de mise au point
- Têtes de douche
- Les revêtements de chambre
- Anneaux et boucliers de bord
- Composants pour le traitement des plaquettes
Distribution de la taille des particulesLe gouvernement
Qualité et fabrication
Fabriqué dans le cadre d'un contrôle strict de la qualité des matériaux semi-conducteurs:
- Processus de raffinage de terres rares de haute pureté
- Ingénierie de la morphologie contrôlée des particules
- Technologie de granulation avancée
- Surveillance des impuretés en plusieurs étapes
Avantages concurrentiels
- Contrôle de pureté au niveau des semi-conducteurs
- Offre mondiale stable à l'exportation
- Optimisation du revêtement par pulvérisation sur mesure
- Assistance technique pour les procédés de revêtement
- Constance fiable de lot à lot
Points forts du produit
Oxyde d'yttrium (Y2O3) de haute pureté pour revêtement thermique et pulvérisation par plasma dans les équipements de traitement des semi-conducteurs Des descriptionssur Poudre d'oxyde d'yttrium de haute pureté conçue pour le revêtement par pulvérisation de plasma des équipements de semi-conducteurs. ...
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