Yttrium oxide (Y2O3) kemurnian tinggi untuk lapisan semprotan termal dan plasma dalam peralatan pengolahan semikonduktor
Rincian produk
| Rumus Kimia: | Y₂O₃ | Kemurnian: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Morfologi: | Bulat / Diaglomerasi | Titik lebur: | 2430°C |
| Ukuran Partikel: | Dapat disesuaikan | Kontrol Pengotor: | Kelas Semikonduktor |
| Menyoroti |
lapisan semikonduktor yttrium oksida kemurnian tinggi,lapisan semprotan termal dari yttrium oxide,lapisan penyemprotan plasma dengan oksida bumi langka |
||
Deskripsi Produk
Yttrium oxide (Y2O3) kemurnian tinggi untuk lapisan semprotan termal dan plasma dalam peralatan pengolahan semikonduktor
Deskripsipada
Bubuk yttrium oksida kemurnian tinggi yang dirancang untuk lapisan semprotan plasma peralatan semikonduktor.
Fitur Produk
Ketahanan Korosi Plasma yang Lebih Tinggi
Yttrium oxide menunjukkan ketahanan yang luar biasa terhadap lingkungan plasma fluor dan klorin yang biasa digunakan dalam proses etching dan deposisi semikonduktor.
Kontaminasi Partikel Rendah
Lapisan Y2O3 yang padat secara signifikan mengurangi pembuangan partikel, membantu mempertahankan kondisi produksi semikonduktor yang sangat bersih dan meningkatkan hasil wafer.
Jangka hidup peralatan yang diperpanjang
Melindungi komponen ruang dari erosi kimia dan kerusakan plasma, menurunkan frekuensi pemeliharaan dan waktu operasi.
Stabilitas Termal yang Luar Biasa
Titik leleh yang tinggi dan inertitas kimia memungkinkan kinerja yang stabil di bawah suhu ekstrim dan paparan plasma energi tinggi.
Aplikasi Tipikal
Perlindungan Peralatan Proses Semikonduktor
- Ruang Etching Plasma
- Sistem CVD / PECVD
- Peralatan Deposisi ALD
- Sistem Pembersihan Plasma
Komponen Utama
- Lapisan Chuck Elektrostatik (ESC)
- Cincin Fokus
- Kepala Mandi
- Liner Kamar
- Edge Rings & Shields
- Komponen penanganan wafer
Distribusi ukuran partikelPeraturan
Kualitas & Manufaktur
Diproduksi di bawah kontrol kualitas bahan semikonduktor yang ketat:
- Proses pemurnian tanah langka dengan kemurnian tinggi
- Teknik morfologi partikel terkontrol
- Teknologi granulasi canggih
- Pemantauan kotoran dalam beberapa tahap
Keuntungan Kompetitif
- Kontrol kemurnian tingkat semikonduktor
- Penyediaan ekspor global yang stabil
- Optimasi lapisan semprotan khusus
- Dukungan teknis untuk proses pelapis
- Konsistensi batch-to-batch yang andal
Sorotan Produk
Yttrium oxide (Y2O3) kemurnian tinggi untuk lapisan semprotan termal dan plasma dalam peralatan pengolahan semikonduktor Deskripsipada Bubuk yttrium oksida kemurnian tinggi yang dirancang untuk lapisan semprotan plasma peralatan semikonduktor. Fitur Produk Ketahanan Korosi Plasma yang Lebih Tinggi ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Silakan gunakan formulir kontak pertanyaan online kami di bawah ini jika Anda memiliki pertanyaan, tim kami akan menghubungi Anda sesegera mungkin.
