제품 상세정보
| 화학식: | Y²O₃ | 청정: | 99.99% |
|---|---|---|---|
| 형태: | 구형/응집형 | 녹는점: | 2430°C |
| 입자 크기: | 맞춤형 | 불순물 제어: | 반도체 등급 |
| 강조하다 |
고순도 유트륨산화 반도체 코팅,유트륨 산화물 열 스프레이 코팅,희토류 산화물 플라즈마 스프레이 코팅 |
||
제품 설명
반도체 처리 장비의 열 및 플라즈마 스프레이 코팅을 위한 고순도 유트륨 산화물 (Y2O3)
설명에
반도체 장비의 플라즈마 스프레이 코팅을 위해 설계된 고 순수성 유트륨 산화물 분말. 탁월한 플라즈마 부식 저항성, 낮은 입자 오염, 장시간 사용.
제품 특성
플라즈마 부식 저항성 우수
유트륨 산화소는 반도체 발열 및 퇴적 과정에서 일반적으로 사용되는 플루오르 및 염소 플라즈마 환경에 뛰어난 저항성을 보여줍니다.
낮은 입자 오염
밀도가 높은 Y2O3 코팅은 입자 분비를 현저히 줄여 초정결한 반도체 생산 조건을 유지하고 웨이퍼 생산량을 향상시키는 데 도움이됩니다.
장 장비 사용 기간
화학적 침식 및 플라스마 손상으로부터 챔버 구성 요소를 보호하여 유지 보수 빈도와 운영 정지 시간을 줄입니다.
탁월 한 열 안정성
높은 녹는점과 화학적 무력성은 극한 온도 및 고 에너지 플라즈마 노출 하에서 안정적인 성능을 제공합니다.
전형적 사용법
반도체 공정 장비 보호
- 플라즈마 에칭 챔버
- CVD / PECVD 시스템
- ALD 퇴적장치
- 플라즈마 정화 시스템
주요 구성 요소
- 전기 정적 Chuck (ESC) 코팅
- 포커스 링
- 샤워기 머리
- 캄버 라인
- 엣지 링 및 방패
- 웨이퍼 처리 부품
입자 크기 분포의정
품질 및 제조
엄격한 반도체 재료 품질 통제 아래 생산:
- 고순도 희토류 정제 공정
- 제어된 입자 형태 공학
- 첨단 곡물화 기술
- 다단계 불순물 모니터링
경쟁적 장점
- 반도체 수준의 순도 제어
- 안정적인 세계 수출 공급
- 맞춤 스프레이 코팅 최적화
- 코팅 프로세스의 기술 지원
- 신뢰성 있는 팩과 팩의 일치성
제품 하이라이트
반도체 처리 장비의 열 및 플라즈마 스프레이 코팅을 위한 고순도 유트륨 산화물 (Y2O3) 설명에 반도체 장비의 플라즈마 스프레이 코팅을 위해 설계된 고 순수성 유트륨 산화물 분말. 탁월한 플라즈마 부식 저항성, 낮은 입자 오염, 장시간 사용. 제품 특성 플라즈마 부식 저항성 우수 유트륨 산화소는 반도체 발열 및 퇴적 과정에서 일반적으로 사용되는 플루오르 및 염소 플라즈마 환경에 뛰어난 저항성을 보여줍니다. 낮은 입자 오염 밀도가 높은 Y2O3 코팅은 입자 분비를 현저히 줄여 초정결한 반도체 생산 조건을 유지하고 웨이퍼 생산량을 향...
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