Hoogzuivere yttriumoxide (Y2O3) voor thermische en plasmaspraycoating in apparatuur voor de verwerking van halfgeleiders
Productdetails
| Chemische formule: | Y₂O₃ | Zuiverheid: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Morfologie: | Bolvormig/geagglomereerd | Smeltpunt: | 2430°C |
| Deeltjesgrootte: | Aanpasbaar | Onzuiverheidscontrole: | Halfgeleiderkwaliteit |
| Markeren |
met een vermogen van meer dan 10 W,yttrium oxide thermal spray coating,Yttriumoxide thermische sproeicoating |
||
Productomschrijving
Hoogzuivere yttriumoxide (Y2O3) voor thermische en plasmaspraycoating in apparatuur voor de verwerking van halfgeleiders
Beschrijvingenop
Hoge zuiverheid yttrium-oxide poeder ontworpen voor plasmaspraycoating van halfgeleiderapparatuur.
Productkenmerken
Superieure plasmacorrosiebestendigheid
Yttriumoxide toont een uitstekende weerstand tegen fluor- en chloorplasma-omgevingen die gewoonlijk worden gebruikt bij halfgeleideretsen en -afzettingsprocessen.
Lage verontreiniging door deeltjes
Dichte Y2O3-coatings verminderen deeltjesverlies aanzienlijk, waardoor ultrazuivere productieomstandigheden voor halfgeleiders worden gehandhaafd en de waferopbrengst wordt verbeterd.
Verlengde levensduur van de apparatuur
Beschermt kamercomponenten tegen chemische erosie en plasmabeschadiging, waardoor de onderhoudsfrequentie en de bedrijfsonderhoudstijd worden verlaagd.
Uitstekende thermische stabiliteit
Een hoog smeltpunt en chemische inertheid zorgen voor een stabiele werking bij extreme temperaturen en blootstelling aan plasma met hoge energie.
Typische toepassingen
Bescherming van procesapparatuur voor halfgeleiders
- Plasma-etserende kamers
- CVD / PECVD-systemen
- ALD-afzettingstoestellen
- Plasma-reinigingssystemen
Belangrijkste onderdelen
- Elektrostatische Chuck (ESC) coating
- Focusringen
- Duschkoppen
- Kamervoetstukken
- Randringen en schilden
- Waferbehandelingscomponenten
DeeltjesgrootteverdelingVerband
Kwaliteit en productie
Geproduceerd onder strenge kwaliteitscontrole van halfgeleidermateriaal:
- Raffinageproces van zeldzame aardes van hoge zuiverheid
- Gecontroleerde deeltjesmorfologietechniek
- Geavanceerde granulatietechnologie
- Meerstapscontrole van onzuiverheden
Concurrentievoordelen
- Zuiverheidscontrole op halfgeleiderniveau
- Stabiele wereldwijde exportvoorziening
- Op maat gemaakte spraycoating optimalisatie
- Technische ondersteuning voor coatingprocessen
- Betrouwbare consistentie van partij tot partij
Producthoogtepunten
Hoogzuivere yttriumoxide (Y2O3) voor thermische en plasmaspraycoating in apparatuur voor de verwerking van halfgeleiders Beschrijvingenop Hoge zuiverheid yttrium-oxide poeder ontworpen voor plasmaspraycoating van halfgeleiderapparatuur. Productkenmerken Superieure plasmacorrosiebestendigheid ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Gebruik ons online contactformulier als u vragen heeft, ons team zal u zo snel mogelijk contacteren.
