Yüksek Saflıklı Yttrium Oksit (Y2O3) Yarım iletken işleme ekipmanlarında Termal ve Plazma püskürtme kaplama için
Ürün Ayrıntıları
| Kimyasal Formül: | Y₂O₃ | Saflık: | %99,99 |
|---|---|---|---|
| Morfoloji: | Küresel / Aglomere | Erime Noktası: | 2430°C |
| Parçacık Boyutu: | Özelleştirilebilir | Safsızlık Kontrolü: | Yarı İletken Sınıfı |
| Vurgulamak |
Yüksek saflıklı yttrium oksit yarı iletken kaplama,Yttrium oksit termal sprey kaplama,Nadir toprak oksit plazma sprey kaplama |
||
Ürün Tanımı
Yarı İletken İşleme Ekipmanları İçin Termal ve Plazma Püskürtme Kaplamasında Yüksek Saflıkta Yitriyum Oksit (Y₂O₃)
AçıklamaYüksek saflıkta yitriyum oksit tozu, yarı iletken ekipmanlarının plazma püskürtme kaplaması için tasarlanmıştır. Mükemmel plazma korozyon direnci, düşük partikül kirliliği ve uzatılmış hazne ömrü.
Ürün Özellikleri
Üstün Plazma Korozyon Direnci
Yitriyum oksit, yarı iletken aşındırma ve biriktirme işlemlerinde yaygın olarak kullanılan flor ve klor plazma ortamlarına karşı olağanüstü direnç gösterir.
Düşük Partikül Kirliliği
Yoğun Y₂O₃ kaplamalar, partikül dökülmesini önemli ölçüde azaltarak ultra temiz yarı iletken üretim koşullarının korunmasına ve wafer veriminin artırılmasına yardımcı olur.
Uzatılmış Ekipman Ömrü
Hazne bileşenlerini kimyasal erozyondan ve plazma hasarından koruyarak bakım sıklığını ve operasyonel duruş süresini düşürür.
Mükemmel Termal Stabilite
Yüksek erime noktası ve kimyasal inertlik, aşırı sıcaklıklar ve yüksek enerjili plazma maruziyeti altında kararlı performans sağlar.
Tipik Uygulamalar
Yarı İletken İşleme Ekipmanı Koruması
Plazma Aşındırma Hazneleri
- CVD / PECVD Sistemleri
- ALD Biriktirme Ekipmanları
- Plazma Temizleme Sistemleri
- Ana Bileşenler
Elektrostatik Chuck (ESC) kaplaması
- Odak Halkaları
- Duş Başlıkları
- Hazne Astarları
- Kenar Halkaları ve Kalkanları
- Wafer Taşıma Bileşenleri
- Partikül Boyutu Dağılımı
Kalite ve ÜretimSıkı yarı iletken malzeme kalite kontrolü altında üretilmiştir:
Yüksek saflıkta nadir toprak rafine etme süreci
Kontrollü partikül morfolojisi mühendisliği
- Gelişmiş granülasyon teknolojisi
- Çok aşamalı safsızlık izleme
- Rekabet Avantajları
- Yarı iletken sınıfı saflık kontrolü
Kararlı küresel ihracat tedariki
- Özel püskürtme kaplama optimizasyonu
- Kaplama işlemleri için teknik destek
- Güvenilir parti-parti tutarlılığı
Ürün Özellikleri
Yarı İletken İşleme Ekipmanları İçin Termal ve Plazma Püskürtme Kaplamasında Yüksek Saflıkta Yitriyum Oksit (Y₂O₃) AçıklamaYüksek saflıkta yitriyum oksit tozu, yarı iletken ekipmanlarının plazma püskürtme kaplaması için tasarlanmıştır. Mükemmel plazma korozyon direnci, düşük partikül kirliliği ve ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Herhangi bir sorunuz varsa lütfen aşağıdaki çevrimiçi talep iletişim formumuzu kullanın, ekibimiz en kısa sürede size geri dönüş yapacaktır.
