Ossido di ittrio ad alta purezza (Y₂O₃) per rivestimenti a spruzzo termico e al plasma in apparecchiature per la lavorazione dei semiconduttori
Dettagli del prodotto
| Formula chimica: | Y₂O₃ | Purezza: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Morfologia: | Sferico/Agglomerato | Punto di fusione: | 2430°C |
| Dimensione delle particelle: | Personalizzabile | Controllo delle impurità: | Grado di semiconduttore |
| Evidenziare |
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Descrizione di prodotto
Ossido di ittrio ad alta purezza (Y₂O₃) per rivestimenti a spruzzo termico e al plasma in apparecchiature per la lavorazione dei semiconduttori
Descrizione
Polvere di ossido di ittrio ad alta purezza progettata per il rivestimento a spruzzo al plasma di apparecchiature per semiconduttori. Eccellente resistenza alla corrosione al plasma, bassa contaminazione da particelle e prolungata durata della camera.
Caratteristiche del prodotto
Superiore resistenza alla corrosione al plasma
L'ossido di ittrio dimostra un'eccezionale resistenza agli ambienti al plasma di fluoro e cloro comunemente utilizzati nei processi di incisione e deposizione dei semiconduttori.
Bassa contaminazione da particelle
I rivestimenti densi di Y₂O₃ riducono significativamente il rilascio di particelle, contribuendo a mantenere condizioni di produzione di semiconduttori ultra-pulite e migliorando la resa dei wafer.
Prolungata durata delle apparecchiature
Protegge i componenti della camera dall'erosione chimica e dai danni da plasma, riducendo la frequenza di manutenzione e i tempi di inattività operativi.
Eccellente stabilità termica
L'alto punto di fusione e l'inerzia chimica consentono prestazioni stabili in condizioni di temperature estreme ed esposizione a plasma ad alta energia.
Applicazioni tipiche
Protezione delle apparecchiature per la lavorazione dei semiconduttori
- Camere di incisione al plasma
- Sistemi CVD / PECVD
- Apparecchiature di deposizione ALD
- Sistemi di pulizia al plasma
Componenti chiave
- Rivestimento del chuck elettrostatico (ESC)
- Anelli di focalizzazione
- Testine di doccia
- Rivestimenti interni della camera
- Anelli e scudi di bordo
- Componenti per la movimentazione dei wafer
Distribuzione della dimensione delle particelle
Qualità e produzione
Prodotto sotto rigoroso controllo di qualità dei materiali per semiconduttori:
- Processo di raffinazione di terre rare ad alta purezza
- Ingegneria controllata della morfologia delle particelle
- Tecnologia di granulazione avanzata
- Monitoraggio delle impurità multistadio
Vantaggi competitivi
- Controllo della purezza di grado semiconduttore
- Stabile fornitura globale per l'esportazione
- Ottimizzazione personalizzata del rivestimento a spruzzo
- Supporto tecnico per i processi di rivestimento
- Affidabile coerenza lotto per lotto
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