اکسید ایتریم با خلوص بالا (Y₂O₃) برای پوشش اسپری حرارتی و پلاسما در تجهیزات پردازش نیمههادی
جزئیات محصول
| فرمول شیمیایی: | y₂o₃ | خلوص: | 99.99٪ |
|---|---|---|---|
| مورفولوژی: | کروی / آگلومره | نقطه ذوب: | 2430 درجه سانتی گراد |
| اندازه ذرات: | قابل تنظیم | کنترل ناخالصی: | درجه نیمه هادی |
| برجسته کردن |
پوشش نیمههادی اکسید ایتریم با خلوص بالا,پوشش اسپری حرارتی اکسید ایتریم,پوشش اسپری پلاسما اکسید فلزات نادر خاکی |
||
توضیحات محصول
اکسید یتریوم با خلوص بالا (Y2O3) برای پوشش اسپری حرارتی و پلاسما در تجهیزات پردازش نیمه هادی
توضیحاتدر
پودر آکسید یتریوم با طهارت بالا که برای پوشش اسپری پلاسما تجهیزات نیمه هادی طراحی شده است. مقاومت بسیار عالی در برابر خوردگی پلاسما، آلودگی ذرات کم و طول عمر اتاق.
ویژگی های محصول
مقاومت بالاتر در برابر خوردگی پلاسما
اکسید یتریوم مقاومت فوق العاده ای نسبت به محیط های پلاسمای فلور و کلور که معمولاً در فرایندهای حفر و رسوب نیمه هادی استفاده می شود، نشان می دهد.
آلودگی کم ذرات
روکش های Y2O3 متراکم به طور قابل توجهی از آلودگی ذرات جلوگیری می کنند و به حفظ شرایط تولید نیمه هادی بسیار تمیز و بهبود بهره وری وافر کمک می کنند.
طول عمر تجهیزات
از اجزای اتاق در برابر فرسایش شیمیایی و آسیب پلاسمایی محافظت می کند و فرکانس نگهداری و زمان توقف عملیاتی را کاهش می دهد.
ثبات حرارتی عالی
نقطه ذوب بالا و بی عمل بودن شیمیایی عملکرد پایدار را تحت دمای شدید و قرار گرفتن در معرض پلاسما با انرژی بالا امکان پذیر می کند.
کاربردهای معمول
حفاظت از تجهیزات فرآیند نیمه هادی
- اتاق های حفاری پلاسما
- سیستم های CVD / PECVD
- تجهیزات جمع آوری ALD
- سیستم های تمیز کردن پلاسما
اجزای کلیدی
- پوشش الکترواستاتیک چک (ESC)
- حلقه های فوکوس
- موهای دوش
- پوشش اتاق
- حلقه های لبه و سپر
- اجزای دستکاری وافره
توزیع اندازه ذرات..
کیفیت و تولید
تحت کنترل دقیق کیفیت مواد نیمه هادی تولید می شود:
- فرآیند تصفیه زمین های نادر با قوه بالایی
- مهندسی مورفولوژی ذرات کنترل شده
- تکنولوژی پیشرفته گرانولاسیون
- نظارت چند مرحله ای بر ناخالصی
مزیت های رقابتی
- کنترل خلوص نیمه هادی
- عرضه جهانی صادرات پایدار
- بهینه سازی پوشش اسپری سفارشی
- پشتیبانی فنی برای فرایندهای پوشش
- سازگاری قابل اطمینان از دسته به دسته
نکات برجسته محصول
اکسید یتریوم با خلوص بالا (Y2O3) برای پوشش اسپری حرارتی و پلاسما در تجهیزات پردازش نیمه هادی توضیحاتدر پودر آکسید یتریوم با طهارت بالا که برای پوشش اسپری پلاسما تجهیزات نیمه هادی طراحی شده است. مقاومت بسیار عالی در برابر خوردگی پلاسما، آلودگی ذرات کم و طول عمر اتاق. ویژگی های محصول مقاومت بالاتر در ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
لطفا از فرم تماس آنلاین در زیر استفاده کنید اگر سوالی دارید، تیم ما در اسرع وقت با شما تماس خواهد گرفت.
