Высокочистый оксид иттрия (Y₂O₃) для термо- и плазменного напыления в оборудовании для производства полупроводников
Детали продукта
| Химическая формула: | Й₂О₃ | Чистота: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Морфология: | Сферический/агломерированный | Точка плавления: | 2430°С |
| Размер частиц: | Настраиваемый | Контроль примесей: | Полупроводниковый класс |
| Выделить |
высокочистый оксид иттрия для полупроводниковых покрытий,термораспыляемое покрытие из оксида иттрия,плазменное напыление редкоземельных оксидов |
||
Характер продукции
Высокочистый оксид иттрия (Y₂O₃) для термо- и плазменного напыления в оборудовании для производства полупроводников
ОписаниеПорошок высокочистого оксида иттрия, разработанный для плазменного напыления оборудования для производства полупроводников. Отличная стойкость к плазменной коррозии, низкое загрязнение частицами и увеличенный срок службы камеры.
Особенности продукта
Превосходная стойкость к плазменной коррозии
Оксид иттрия демонстрирует выдающуюся стойкость к фторидной и хлоридной плазме, обычно используемой в процессах травления и осаждения полупроводников.
Низкое загрязнение частицами
Плотные покрытия из Y₂O₃ значительно снижают образование частиц, помогая поддерживать сверхчистые условия производства полупроводников и повышая выход годных пластин.
Увеличенный срок службы оборудования
Защищает компоненты камеры от химической эрозии и плазменного повреждения, снижая частоту технического обслуживания и время простоя.
Отличная термическая стабильность
Высокая температура плавления и химическая инертность обеспечивают стабильную работу при экстремальных температурах и воздействии высокоэнергетической плазмы.
Типичные области применения
Защита оборудования для производства полупроводников
Камеры плазменного травления
- Системы CVD / PECVD
- Оборудование для осаждения ALD
- Системы плазменной очистки
- Ключевые компоненты
Покрытие электростатических патронов (ESC)
- Фокусирующие кольца
- Распылительные головки
- Вкладыши камер
- Края колец и щитки
- Компоненты для транспортировки пластин
- Распределение размера частиц
Качество и производствоПроизведено под строгим контролем качества полупроводниковых материалов:
Процесс очистки редкоземельных металлов высокой чистоты
Контролируемая инженерия морфологии частиц
- Передовая технология грануляции
- Многоступенчатый мониторинг примесей
- Конкурентные преимущества
- Контроль чистоты полупроводникового класса
Стабильные глобальные экспортные поставки
- Индивидуальная оптимизация напыления
- Техническая поддержка процессов напыления
- Надежная согласованность от партии к партии
Основные характеристики продукта
Высокочистый оксид иттрия (Y₂O₃) для термо- и плазменного напыления в оборудовании для производства полупроводников ОписаниеПорошок высокочистого оксида иттрия, разработанный для плазменного напыления оборудования для производства полупроводников. Отличная стойкость к плазменной коррозии, низкое заг...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Пожалуйста, воспользуйтесь нашей онлайн-формой для запроса, если у вас есть вопросы, наша команда свяжется с вами как можно скорее.
