Οξείδιο Υττρίου Υψηλής Καθαρότητας (Y₂O₃) για Θερμική Ψεκασμό & Ψεκασμό Πλάσματος σε Εξοπλισμό Επεξεργασίας Ημιαγωγών
Λεπτομέρειες προιόντος
| Χημικός τύπος: | Y₂o₃ | Καθαρότητα: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Μορφολογία: | Σφαιρικό / Συσσωματωμένο | Σημείο Τήξης: | 2430°C |
| Μέγεθος Σωματιδίων: | Προσαρμόσιμο | Έλεγχος ακαθαρσιών: | Βαθμός ημιαγωγών |
| Επισημαίνω |
οξείδιο υττρίου υψηλής καθαρότητας επίστρωση ημιαγωγών,επίστρωση θερμικού ψεκασμού οξειδίου του υττρίου,επίστρωση ψεκασμού πλάσματος οξειδίου σπάνιων γαιών |
||
Περιγραφή προϊόντων
Υψηλής καθαρότητας οξείδιο του ιτρίου (Y2O3) για θερμική και πλάσματική επικάλυψη με ψεκασμό σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών
Περιγραφέςσε
Υψηλής καθαρότητας σκόνη οξειδίου του ιτρίου σχεδιασμένη για επικάλυψη με ψεκασμό πλάσματος εξοπλισμού ημιαγωγών. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος, χαμηλή μόλυνση σωματιδίων και παρατεταμένη διάρκεια ζωής του θαλάμου.
Χαρακτηριστικά του προϊόντος
Υψηλότερη αντοχή στη διάβρωση πλάσματος
Το οξείδιο του ιτρίου επιδεικνύει εξαιρετική αντοχή σε περιβάλλοντα πλάσματος φθορίου και χλωρίου που χρησιμοποιούνται συνήθως στις διεργασίες χαρακτικής και εναπόθεσης ημιαγωγών.
Μικρή μόλυνση από σωματίδια
Οι πυκνές επικαλύψεις Y2O3 μειώνουν σημαντικά την απόρριψη σωματιδίων, συμβάλλοντας στη διατήρηση εξαιρετικά καθαρών συνθηκών παραγωγής ημιαγωγών και βελτιώνοντας την απόδοση των κυψελών.
Διευρυμένη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού
Προστατεύει τα εξαρτήματα του θαλάμου από χημική διάβρωση και βλάβη πλάσματος, μειώνοντας τη συχνότητα συντήρησης και τον χρόνο λειτουργικής διακοπής.
Εξαιρετική θερμική σταθερότητα
Το υψηλό σημείο τήξης και η χημική αδράνεια επιτρέπουν σταθερή απόδοση υπό ακραίες θερμοκρασίες και έκθεση σε πλάσμα υψηλής ενέργειας.
Τυπικές εφαρμογές
Προστασία εξοπλισμού διεργασίας ημιαγωγών
- Θάλαμοι χαρακτικής πλάσματος
- Συστήματα CVD / PECVD
- Εξοπλισμός αποθήκευσης ALD
- Συστήματα καθαρισμού πλάσματος
Βασικά στοιχεία
- Ηλεκτροστατική επικάλυψη Chuck (ESC)
- Εστίαση δαχτυλίδια
- Κεφαλάκια ντους
- Τεχνικές συσκευές
- Δαχτυλίδια και ασπίδες
- Συστατικά που χειρίζονται τα πλακίδια
Διανομή μεγέθους σωματιδίωνΕπικοινωνία
Ποιότητα & Κατασκευή
Κατασκευάζεται υπό αυστηρό έλεγχο ποιότητας των ημιαγωγών υλικών:
- Μεθοδολογία διύλισης σπάνιων γαιών υψηλής καθαρότητας
- Ελεγχόμενη μηχανική μορφολογίας σωματιδίων
- Τεχνολογία προηγμένης κοκκιστικοποίησης
- Πολυεπίπεδη παρακολούθηση των προσμείξεων
Ανταγωνιστικά πλεονεκτήματα
- Έλεγχος καθαρότητας σε επίπεδο ημιαγωγών
- Σταθερό παγκόσμιο εφοδιασμό εξαγωγών
- Προσαρμοσμένη βελτιστοποίηση της επικάλυψης ψεκασμού
- Τεχνική υποστήριξη για τις διαδικασίες επικάλυψης
- Αξιόπιστη συνέπεια από παρτίδα σε παρτίδα
Σημαντικά σημεία του προϊόντος
Υψηλής καθαρότητας οξείδιο του ιτρίου (Y2O3) για θερμική και πλάσματική επικάλυψη με ψεκασμό σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών Περιγραφέςσε Υψηλής καθαρότητας σκόνη οξειδίου του ιτρίου σχεδιασμένη για επικάλυψη με ψεκασμό πλάσματος εξοπλισμού ημιαγωγών. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος, χα...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Παρακαλούμε χρησιμοποιήστε την ηλεκτρονική φόρμα επικοινωνίας παρακάτω αν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις, η ομάδα μας θα επικοινωνήσει μαζί σας το συντομότερο δυνατό.
