Yttri Oxit Độ tinh khiết cao (Y₂O₃) cho lớp phủ phun nhiệt & plasma trong thiết bị xử lý bán dẫn
Chi tiết sản phẩm
| Công thức hóa học: | Y₂O₃ | độ tinh khiết: | 99,99% |
|---|---|---|---|
| Hình thái: | Hình cầu / kết tụ | điểm nóng chảy: | 2430°C |
| Kích thước hạt: | Có thể tùy chỉnh | Kiểm soát tạp chất: | Lớp bán dẫn |
| Làm nổi bật |
lớp phủ bán dẫn yttri oxit độ tinh khiết cao,lớp phủ phun nhiệt yttri oxit,lớp phủ phun plasma oxit đất hiếm |
||
Mô tả sản phẩm
Oxit Yttrium (Y2O3) tinh khiết cao cho lớp phủ phun nhiệt và plasma trong thiết bị xử lý bán dẫn
Mô tảtrên
Bột oxit yttrium tinh khiết cao được thiết kế cho lớp phủ phun plasma của thiết bị bán dẫn.
Tính năng sản phẩm
Chống ăn mòn plasma vượt trội
Yttrium oxide cho thấy khả năng kháng nổi bật đối với môi trường plasma fluor và clo thường được sử dụng trong các quy trình khắc và lắng đọng bán dẫn.
Ô nhiễm hạt thấp
Lớp phủ Y2O3 dày đặc làm giảm đáng kể sự đổ hạt, giúp duy trì điều kiện sản xuất bán dẫn cực sạch và cải thiện năng suất wafer.
Tuổi thọ thiết bị được kéo dài
Bảo vệ các thành phần của buồng khỏi xói mòn hóa học và tổn thương plasma, giảm tần suất bảo trì và thời gian ngừng hoạt động.
Sự ổn định nhiệt tuyệt vời
Điểm nóng chảy cao và độ trơ hóa học cho phép hiệu suất ổn định dưới nhiệt độ cực cao và phơi nhiễm plasma năng lượng cao.
Các ứng dụng điển hình
Bảo vệ thiết bị xử lý bán dẫn
- Phòng khắc plasma
- Hệ thống CVD / PECVD
- Thiết bị lắng đọng ALD
- Hệ thống làm sạch plasma
Các thành phần chính
- Lớp phủ điện tĩnh Chuck (ESC)
- Nhẫn tập trung
- Đầu tắm
- Các loại vỏ khoang
- Nhẫn và khiên cạnh
- Các thành phần xử lý wafer
Phân phối kích thước hạtĐánh giá
Chất lượng và sản xuất
Sản xuất theo kiểm soát chất lượng chất liệu bán dẫn nghiêm ngặt:
- Quá trình tinh chế đất hiếm tinh khiết cao
- Kỹ thuật hình thái hạt được kiểm soát
- Công nghệ phân hạt tiên tiến
- Giám sát tạp chất nhiều giai đoạn
Ưu điểm cạnh tranh
- Kiểm soát độ tinh khiết của chất bán dẫn
- Cung cấp xuất khẩu toàn cầu ổn định
- Tối ưu hóa lớp phủ phun tùy chỉnh
- Hỗ trợ kỹ thuật cho các quy trình sơn
- Sự nhất quán hàng loạt đáng tin cậy
Điểm nổi bật của sản phẩm
Oxit Yttrium (Y2O3) tinh khiết cao cho lớp phủ phun nhiệt và plasma trong thiết bị xử lý bán dẫn Mô tảtrên Bột oxit yttrium tinh khiết cao được thiết kế cho lớp phủ phun plasma của thiết bị bán dẫn. Tính năng sản phẩm Chống ăn mòn plasma vượt trội Yttrium oxide cho thấy khả năng kháng nổi bật đối v...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.
