सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण उपकरण में थर्मल और प्लाज्मा स्प्रे कोटिंग के लिए उच्च-शुद्धता येट्रियम ऑक्साइड (Y₂O₃)
उत्पाद का विवरण
| रासायनिक सूत्र: | Y₂O₃ | पवित्रता: | 99.99% |
|---|---|---|---|
| आकृति विज्ञान: | गोलाकार/संकलित | गलनांक: | 2430°से |
| कोटिंग का प्रकार: | अनुकूलन | अशुद्धता नियंत्रण: | सेमीकंडक्टर ग्रेड |
| प्रमुखता देना |
उच्च-शुद्धता येट्रियम ऑक्साइड सेमीकंडक्टर कोटिंग,येट्रियम ऑक्साइड थर्मल स्प्रे कोटिंग,दुर्लभ पृथ्वी ऑक्साइड प्लाज्मा स्प्रे कोटिंग |
||
उत्पाद का वर्णन
अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरण में थर्मल और प्लाज्मा स्प्रे कोटिंग के लिए उच्च शुद्धता वाले यूट्रियम ऑक्साइड (Y2O3)
वर्णनपर
अर्धचालक उपकरणों के प्लाज्मा स्प्रे कोटिंग के लिए डिज़ाइन किया गया उच्च शुद्धता वाले यट्रियम ऑक्साइड पाउडर। उत्कृष्ट प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध, कम कण संदूषण, और विस्तारित कक्ष जीवनकाल।
उत्पाद की विशेषताएं
उच्च प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध
अर्धचालक उत्कीर्णन और जमाव प्रक्रियाओं में आम तौर पर उपयोग किए जाने वाले फ्लोरिन और क्लोरिन प्लाज्मा वातावरण के लिए इट्रियम ऑक्साइड उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करता है।
कम कण दूषितता
घने Y2O3 कोटिंग्स कणों के बहाव को काफी कम करते हैं, जिससे अल्ट्रा-स्वच्छ अर्धचालक उत्पादन स्थितियों को बनाए रखने में मदद मिलती है और वेफर की उपज में सुधार होता है।
उपकरण का विस्तारित जीवनकाल
कक्ष के घटकों को रासायनिक क्षरण और प्लाज्मा क्षति से बचाता है, रखरखाव आवृत्ति और परिचालन डाउनटाइम को कम करता है।
उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता
उच्च पिघलने का बिंदु और रासायनिक निष्क्रियता चरम तापमान और उच्च ऊर्जा वाले प्लाज्मा के संपर्क में स्थिर प्रदर्शन की अनुमति देती है।
विशिष्ट अनुप्रयोग
अर्धचालक प्रक्रिया उपकरण संरक्षण
- प्लाज्मा उत्कीर्णन कक्ष
- सीवीडी/पीईसीवीडी प्रणाली
- एएलडी जमाव उपकरण
- प्लाज्मा सफाई प्रणाली
प्रमुख घटक
- इलेक्ट्रोस्टैटिक चक (ईएससी) कोटिंग
- फोकस रिंग
- स्नान के सिर
- कक्ष लाइनर
- एज रिंग और शील्ड
- वेफर हैंडलिंग घटक
कण आकार वितरणविसर्जन
गुणवत्ता एवं विनिर्माण
सख्त अर्धचालक सामग्री गुणवत्ता नियंत्रण के तहत निर्मितः
- उच्च शुद्धता वाली दुर्लभ पृथ्वी परिष्करण प्रक्रिया
- नियंत्रित कण आकृति विज्ञान इंजीनियरिंग
- उन्नत दानेदार प्रौद्योगिकी
- अशुद्धियों की बहु-चरण निगरानी
प्रतिस्पर्धात्मक लाभ
- अर्धचालक-ग्रेड शुद्धता नियंत्रण
- स्थिर वैश्विक निर्यात आपूर्ति
- कस्टम स्प्रे कोटिंग अनुकूलन
- कोटिंग प्रक्रियाओं के लिए तकनीकी सहायता
- विश्वसनीय बैच-से-बैच स्थिरता
उत्पाद हाइलाइट्स
अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरण में थर्मल और प्लाज्मा स्प्रे कोटिंग के लिए उच्च शुद्धता वाले यूट्रियम ऑक्साइड (Y2O3) वर्णनपर अर्धचालक उपकरणों के प्लाज्मा स्प्रे कोटिंग के लिए डिज़ाइन किया गया उच्च शुद्धता वाले यट्रियम ऑक्साइड पाउडर। उत्कृष्ट प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध, कम कण संदूषण, और विस्तारित कक्ष जीवन...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
कृपया नीचे दिए गए हमारे ऑनलाइन पूछताछ संपर्क फ़ॉर्म का उपयोग करें यदि आपके कोई प्रश्न हैं, तो हमारी टीम जल्द से जल्द आपसे संपर्क करेगी।
