إيتريا (Y2O3) مسحوق رش الحراري لحماية غرفة حفر البلازما
تفاصيل المنتج
| مادة: | أكسيد اليتريوم (Y2O3) | نقاء: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| شكل الجسيمات: | كروية / مجمعة | الاستقرار الكيميائي: | متميز |
| مستوى التلوث: | منخفض للغاية | نطاق حجم الجسيمات: | 10-65 ميكرومتر |
| إبراز |
مسحوق الرذاذ الحراري لـ Yttria,حماية الحفر بالبلازما Y2O3,طلاء حراري من أكسيد الأرض النادرة |
||
وصف المنتج
إيتريا (Y2O3) مسحوق رش الحراري لحماية غرفة حفر البلازما
الوصفعلى
أكسيد اليتريوم (Y2O3) مسحوق الطلاء الرشوي هو مادة سيراميكية عالية الأداء تم تطويرها لطلاءات واقية في معدات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.مصممة لتقنيات رش البلازما والرش الحراري، المادة تشكل طبقة سيراميكية كثيفة من اليتريا التي تحمي مكونات المعدات التي تعمل في بيئات معالجة البلازما العدوانية.
في عمليات تصنيع أشباه الموصلات مثل حفر البلازما والترسب والتنظيف ، تتعرض مكونات الغرفة باستمرار للغازات التفاعلية القائمة على الفلور والأيونات الطاقة.توفر طلاءات Y2O3 استقرارًا كيميائيًا متفوقًا ومقاومة تآكل البلازما، مما يقلل بشكل فعال من مصادر التلوث ويضمن أداء عملية مستقرة.
تم تصميم المادة مع تشكيل الجسيمات المتحكم فيه وتوزيع الحجم المثالي لتحقيق قوة عالية لصق الطلاء والبنية الدقيقة الموحدة ومتانة الطلاء الممتازة.
خصائص المنتج
متانة البلازما المتميزة
تظهر طلاءات اليتريا مقاومة ممتازة ضد تآكل بلازما الفلوروكربون، مما يجعلها مثالية لعقد أشباه الموصلات من الجيل التالي.
انخفاض في إنتاج الجسيمات
هيكل الطلاء السيراميكي الكثيف يقلل من تقشير الجزيئات الصغيرة وتساقطها داخل غرف المعالجة.
تحسين استقرار العملية
تساعد الكيمياء السطحية المستقرة على الحفاظ على ظروف عملية أشباه الموصلات القابلة للتكرار وتعزز إنتاج التصنيع.
كفاءة ترسب عالية
يضمن التركيب المثالي للغبار التدفق الممتاز وتوحيد الطلاء أثناء رش البلازما.
عمر خدمة طويل
يطيل بشكل كبير فترات الصيانة مقارنة بالطلاء السيراميكي التقليدي.
تطبيقات نموذجية
حماية معدات أشباه الموصلات
- أنظمة حفر البلازما
- أمراض القلب والأوعية الدموية
- أنظمة ALD
- غرف التنظيف الجاف
مكونات مغلفة
- أجهزة الكهرباء الستاتيكية (ESC)
- طلاء الغرف
- لوحات توزيع الغاز
- حلقات الحافة والدروع
توزيع حجم الجسيماتالوضع
التصنيع ومراقبة الجودة
مصنعة باستخدام تقنيات معالجة الأرض النادرة المتقدمة:
- تجميع اليتريا عالي النقاء
- الحبوب المسيطرة ذات مستوى الرذاذ
- مراقبة صارمة للشوائب
- ضمان جودة مواد أشباه الموصلات
أبرز المنتجات
إيتريا (Y2O3) مسحوق رش الحراري لحماية غرفة حفر البلازما الوصفعلى أكسيد اليتريوم (Y2O3) مسحوق الطلاء الرشوي هو مادة سيراميكية عالية الأداء تم تطويرها لطلاءات واقية في معدات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.مصممة لتقنيات رش البلازما والرش الحراري، المادة تشكل طبقة سيراميكية كثيفة من اليتريا التي تحمي مكو...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
يرجى استخدام نموذج الاتصال عبر الإنترنت في الأسفل إذا كان لديك أي أسئلة، وسوف يعود فريقنا إليك في أقرب وقت ممكن.
