Σκόνη Θερμικής Ψεκασμού Υττρίου (Y₂O₃) για Προστασία Θαλάμου Χαρακτικής με Πλάσμα
Λεπτομέρειες προιόντος
| Υλικό: | Οξείδιο του ιτρίου (Y2O3) | Καθαρότητα: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Σχήμα σωματιδίων: | Σφαιρικό / Συσσωματωμένο | Χημική σταθερότητα: | Εκκρεμής |
| Επίπεδο μόλυνσης: | υπερβολικά χαμηλός | εύρος μεγέθους σωματιδίων: | 10–65 μm |
| Επισημαίνω |
Σκόνη θερμικής ψεκασμού υττρίου,Προστασία χαρακτικής πλάσματος Y₂O₃,Θερμική επίστρωση οξειδίου σπάνιων γαιών |
||
Περιγραφή προϊόντων
Υττρία (Y2O3) Θερμική σκόνη ψεκασμού για την προστασία της αίθουσας χαρακτικής πλάσματος
Περιγραφέςσε
Η σκόνη ψεκαστικής επικάλυψης οξειδίου του ιτρίου (Y2O3) είναι ένα κεραμικό υλικό υψηλών επιδόσεων που αναπτύχθηκε για προστατευτικές επικάλυψεις σε προηγμένο εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών.Σχεδιασμένα για τεχνολογίες ψεκασμού πλάσματος και θερμικής ψεκασμού, το υλικό σχηματίζει ένα πυκνό κεραμικό στρώμα υτρίου που προστατεύει τα εξαρτήματα εξοπλισμού που λειτουργούν σε επιθετικά περιβάλλοντα επεξεργασίας πλάσματος.
Σε διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως η χαρακτική πλάσματος, η εναπόθεση και ο καθαρισμός, τα στοιχεία του θαλάμου εκτίθενται συνεχώς σε αντιδραστικά αέρια με βάση το φθόριο και ενεργητικά ιόντα.Οι επικάλυψεις Y2O3 παρέχουν ανώτερη χημική σταθερότητα και αντοχή στην διάβρωση από πλάσμα, μειώνοντας αποτελεσματικά τις πηγές μόλυνσης και εξασφαλίζοντας σταθερή απόδοση της διαδικασίας.
Το υλικό έχει σχεδιαστεί με ελεγχόμενη μορφολογία σωματιδίων και βελτιστοποιημένη κατανομή μεγέθους για να επιτευχθεί υψηλή αντοχή προσκόλλησης της επικάλυψης, ομοιόμορφη μικροδομή και εξαιρετική αντοχή της επικάλυψης.
Χαρακτηριστικά του προϊόντος
Εξαιρετική αντοχή του πλάσματος
Οι επικαλύψεις υττρίου παρουσιάζουν εξαιρετική αντοχή στην διάβρωση από πλάσμα φθοροανθράκων, καθιστώντας τις ιδανικές για τους ημιαγωγούς της επόμενης γενιάς.
Μειωμένη παραγωγή σωματιδίων
Η πυκνή δομή κεραμικής επικάλυψης ελαχιστοποιεί τη μικρο-αποσπάσματα και την απόρριψη σωματιδίων εντός των θαλάμων επεξεργασίας.
Βελτιωμένη σταθερότητα διαδικασίας
Η σταθερή χημεία της επιφάνειας βοηθά στη διατήρηση επαναλαμβανόμενων συνθηκών διεργασίας των ημιαγωγών και βελτιώνει την απόδοση παραγωγής.
Υψηλή απορρόφηση
Η βελτιστοποιημένη μορφολογία της σκόνης εξασφαλίζει εξαιρετική ροή και ομοιόμορφη επικάλυψη κατά τη διάρκεια της ψεκασμού με πλάσμα.
Μακρά διάρκεια ζωής
Επεκτείνεται σημαντικά το διάστημα συντήρησης σε σύγκριση με τις συμβατικές κεραμικές επικάλυψεις.
Τυπικές εφαρμογές
Προστασία εξοπλισμού ημιαγωγών
- Συστήματα χαρακτικής με πλάσμα
- ΚΑΠ / ΠΕΚΑΠ
- Συστήματα ALD
- Θάλαμοι στεγνών καθαρισμών
Επιχρισμένα συστατικά
- Ηλεκτροστατικά ελατήρια (ESC)
- Τεχνικές συσκευές
- Πλάκες διανομής αερίου
- Δαχτυλίδια και ασπίδες
Διανομή μεγέθους σωματιδίωνΕπικοινωνία
Κατασκευή και έλεγχος ποιότητας
Κατασκευασμένα με προηγμένες τεχνολογίες επεξεργασίας σπάνιων γαιών:
- Σύνθεση ιττρίου υψηλής καθαρότητας
- Ελεγχόμενη κόκκωση σε βαθμό ψεκασμού
- Σκληρή παρακολούθηση των προσμείξεων
- Διασφάλιση ποιότητας των υλικών ημιαγωγών
Σημαντικά σημεία του προϊόντος
Υττρία (Y2O3) Θερμική σκόνη ψεκασμού για την προστασία της αίθουσας χαρακτικής πλάσματος Περιγραφέςσε Η σκόνη ψεκαστικής επικάλυψης οξειδίου του ιτρίου (Y2O3) είναι ένα κεραμικό υλικό υψηλών επιδόσεων που αναπτύχθηκε για προστατευτικές επικάλυψεις σε προηγμένο εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών.Σχεδιασμ...
Σκόνη στίλβωσης Κηρίου ποιότητας CMP για οπτικά AR, συστοιχίες μικροφακών & οπτικούς αισθητήρες φορητών συσκευών
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Υπερτελή σκόνη γυάλωσης οξειδίου του κεριού για έξυπνα φορητά καλύμματα γυαλιού και μικρο-οπτικής τελικής κατασκευής
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Σκόνη γυάλωσης με οξείδιο του κερίου υψηλής καθαρότητας για την παραγωγή γυαλιών κυματοδηγού AR και οπτικών φακών
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Οξαλικό Κερίου Σκόνη Χημικό Αντιδραστήριο Στοιχεία
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Παρακαλούμε χρησιμοποιήστε την ηλεκτρονική φόρμα επικοινωνίας παρακάτω αν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις, η ομάδα μας θα επικοινωνήσει μαζί σας το συντομότερο δυνατό.
