Σκόνη Θερμικής Ψεκασμού Υττρίου (Y₂O₃) για Προστασία Θαλάμου Χαρακτικής με Πλάσμα
Λεπτομέρειες προιόντος
| Υλικό: | Οξείδιο του ιτρίου (Y2O3) | Καθαρότητα: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Σχήμα σωματιδίων: | Σφαιρικό / Συσσωματωμένο | Χημική σταθερότητα: | Εκκρεμής |
| Επίπεδο μόλυνσης: | υπερβολικά χαμηλός | εύρος μεγέθους σωματιδίων: | 10–65 μm |
| Επισημαίνω |
Σκόνη θερμικής ψεκασμού υττρίου,Προστασία χαρακτικής πλάσματος Y₂O₃,Θερμική επίστρωση οξειδίου σπάνιων γαιών |
||
Περιγραφή προϊόντων
Υττρία (Y2O3) Θερμική σκόνη ψεκασμού για την προστασία της αίθουσας χαρακτικής πλάσματος
Περιγραφέςσε
Η σκόνη ψεκαστικής επικάλυψης οξειδίου του ιτρίου (Y2O3) είναι ένα κεραμικό υλικό υψηλών επιδόσεων που αναπτύχθηκε για προστατευτικές επικάλυψεις σε προηγμένο εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών.Σχεδιασμένα για τεχνολογίες ψεκασμού πλάσματος και θερμικής ψεκασμού, το υλικό σχηματίζει ένα πυκνό κεραμικό στρώμα υτρίου που προστατεύει τα εξαρτήματα εξοπλισμού που λειτουργούν σε επιθετικά περιβάλλοντα επεξεργασίας πλάσματος.
Σε διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως η χαρακτική πλάσματος, η εναπόθεση και ο καθαρισμός, τα στοιχεία του θαλάμου εκτίθενται συνεχώς σε αντιδραστικά αέρια με βάση το φθόριο και ενεργητικά ιόντα.Οι επικάλυψεις Y2O3 παρέχουν ανώτερη χημική σταθερότητα και αντοχή στην διάβρωση από πλάσμα, μειώνοντας αποτελεσματικά τις πηγές μόλυνσης και εξασφαλίζοντας σταθερή απόδοση της διαδικασίας.
Το υλικό έχει σχεδιαστεί με ελεγχόμενη μορφολογία σωματιδίων και βελτιστοποιημένη κατανομή μεγέθους για να επιτευχθεί υψηλή αντοχή προσκόλλησης της επικάλυψης, ομοιόμορφη μικροδομή και εξαιρετική αντοχή της επικάλυψης.
Χαρακτηριστικά του προϊόντος
Εξαιρετική αντοχή του πλάσματος
Οι επικαλύψεις υττρίου παρουσιάζουν εξαιρετική αντοχή στην διάβρωση από πλάσμα φθοροανθράκων, καθιστώντας τις ιδανικές για τους ημιαγωγούς της επόμενης γενιάς.
Μειωμένη παραγωγή σωματιδίων
Η πυκνή δομή κεραμικής επικάλυψης ελαχιστοποιεί τη μικρο-αποσπάσματα και την απόρριψη σωματιδίων εντός των θαλάμων επεξεργασίας.
Βελτιωμένη σταθερότητα διαδικασίας
Η σταθερή χημεία της επιφάνειας βοηθά στη διατήρηση επαναλαμβανόμενων συνθηκών διεργασίας των ημιαγωγών και βελτιώνει την απόδοση παραγωγής.
Υψηλή απορρόφηση
Η βελτιστοποιημένη μορφολογία της σκόνης εξασφαλίζει εξαιρετική ροή και ομοιόμορφη επικάλυψη κατά τη διάρκεια της ψεκασμού με πλάσμα.
Μακρά διάρκεια ζωής
Επεκτείνεται σημαντικά το διάστημα συντήρησης σε σύγκριση με τις συμβατικές κεραμικές επικάλυψεις.
Τυπικές εφαρμογές
Προστασία εξοπλισμού ημιαγωγών
- Συστήματα χαρακτικής με πλάσμα
- ΚΑΠ / ΠΕΚΑΠ
- Συστήματα ALD
- Θάλαμοι στεγνών καθαρισμών
Επιχρισμένα συστατικά
- Ηλεκτροστατικά ελατήρια (ESC)
- Τεχνικές συσκευές
- Πλάκες διανομής αερίου
- Δαχτυλίδια και ασπίδες
Διανομή μεγέθους σωματιδίωνΕπικοινωνία
Κατασκευή και έλεγχος ποιότητας
Κατασκευασμένα με προηγμένες τεχνολογίες επεξεργασίας σπάνιων γαιών:
- Σύνθεση ιττρίου υψηλής καθαρότητας
- Ελεγχόμενη κόκκωση σε βαθμό ψεκασμού
- Σκληρή παρακολούθηση των προσμείξεων
- Διασφάλιση ποιότητας των υλικών ημιαγωγών
Σημαντικά σημεία του προϊόντος
Υττρία (Y2O3) Θερμική σκόνη ψεκασμού για την προστασία της αίθουσας χαρακτικής πλάσματος Περιγραφέςσε Η σκόνη ψεκαστικής επικάλυψης οξειδίου του ιτρίου (Y2O3) είναι ένα κεραμικό υλικό υψηλών επιδόσεων που αναπτύχθηκε για προστατευτικές επικάλυψεις σε προηγμένο εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών.Σχεδιασμ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Παρακαλούμε χρησιμοποιήστε την ηλεκτρονική φόρμα επικοινωνίας παρακάτω αν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις, η ομάδα μας θα επικοινωνήσει μαζί σας το συντομότερο δυνατό.
