Yttria (Y2O3) Thermal Spray Powder Untuk Perlindungan Plasma Etching Chamber
Rincian produk
| Bahan: | Yttrium Oksida (Y₂O₃) | Kemurnian: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Bentuk Partikel: | Bulat / Diaglomerasi | Stabilitas Kimia: | Luar biasa |
| Tingkat Kontaminasi: | sangat rendah | Kisaran ukuran partikel: | 10–65 mikron |
| Menyoroti |
Serbuk semprotan termal yttria,Perlindungan pengikis plasma Y2O3,Lapisan termal oksida bumi langka |
||
Deskripsi Produk
Yttria (Y2O3) Thermal Spray Powder Untuk Perlindungan Plasma Etching Chamber
Deskripsipada
Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Powder adalah bahan keramik berkinerja tinggi yang dikembangkan untuk lapisan pelindung dalam peralatan pembuatan semikonduktor canggih.Dirancang untuk teknologi semprot plasma dan semprot termal, bahan membentuk lapisan keramik yttria padat yang melindungi komponen peralatan yang beroperasi di bawah lingkungan pengolahan plasma yang agresif.
Dalam proses manufaktur semikonduktor seperti pengetikan plasma, deposisi, dan pembersihan, komponen ruang terus-menerus terkena gas reaktif berbasis fluor dan ion energi.Lapisan Y2O3 memberikan stabilitas kimia yang superior dan ketahanan terhadap erosi plasma, secara efektif mengurangi sumber kontaminasi dan memastikan kinerja proses yang stabil.
Bahan ini direkayasa dengan morfologi partikel terkontrol dan distribusi ukuran yang dioptimalkan untuk mencapai kekuatan adhesi lapisan yang tinggi, mikrostruktur seragam, dan daya tahan lapisan yang sangat baik.
Fitur Produk
Ketahanan Plasma yang Luar Biasa
Lapisan yttria menunjukkan ketahanan yang sangat baik terhadap korosi plasma fluorocarbon, menjadikannya ideal untuk simpul semikonduktor generasi berikutnya.
Penurunan Generasi Partikel
Struktur lapisan keramik padat meminimalkan micro-flaking dan partikel menumpahkan di dalam ruang pengolahan.
Meningkatkan Stabilitas Proses
Kimia permukaan yang stabil membantu mempertahankan kondisi proses semikonduktor yang dapat diulang dan meningkatkan hasil manufaktur.
Efisiensi Deposisi Tinggi
Morfologi bubuk yang dioptimalkan memastikan aliran yang sangat baik dan keseragaman lapisan selama penyemprotan plasma.
Umur Pelayanan yang Panjang
Secara signifikan memperpanjang interval pemeliharaan dibandingkan dengan pelapis keramik konvensional.
Aplikasi Tipikal
Perlindungan Peralatan Semikonduktor
- Sistem Etching Plasma
- CVD / PECVD
- Sistem ALD
- Ruang Pembersih Kering
Komponen Lapisan
- Pemancar Elektrostatik (ESC)
- Liner Kamar
- Plat distribusi gas
- Cincin dan Perisai
Distribusi ukuran partikelPeraturan
Manufaktur & Kontrol Kualitas
Dibuat menggunakan teknologi pengolahan tanah langka canggih:
- Sintesis yttria dengan kemurnian tinggi
- Granulasi berupa semprotan yang terkontrol
- Pemantauan kotoran yang ketat
- Penjaminan mutu bahan semikonduktor
Sorotan Produk
Yttria (Y2O3) Thermal Spray Powder Untuk Perlindungan Plasma Etching Chamber Deskripsipada Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Powder adalah bahan keramik berkinerja tinggi yang dikembangkan untuk lapisan pelindung dalam peralatan pembuatan semikonduktor canggih.Dirancang untuk teknologi semprot ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Silakan gunakan formulir kontak pertanyaan online kami di bawah ini jika Anda memiliki pertanyaan, tim kami akan menghubungi Anda sesegera mungkin.
