Plazma Çizme Odası Koruması için Yttria (Y2O3) Isı püskürtme tozu
Ürün Ayrıntıları
| Malzeme: | Yttrium oksit (Y2O3) | Saflık: | %99,9 |
|---|---|---|---|
| Parçacık Şekli: | Küresel / Aglomere | Kimyasal Kararlılık: | Üstün |
| Kirlilik Seviyesi: | ultra düşük | parçacık boyutu aralığı: | 10–65 mikron |
| Vurgulamak |
Yttria termal sprey tozu,Y2O3 plazma kazım koruması,Nadir toprak oksitleri termik kaplama |
||
Ürün Tanımı
Plazma Aşındırma Haznesi Koruması İçin Ytria (Y₂O₃) Termal Sprey Tozu
AçıklamaYtrium Oksit (Y₂O₃) Sprey Kaplama Tozu, gelişmiş yarı iletken üretim ekipmanlarında koruyucu kaplamalar için geliştirilmiş yüksek performanslı bir seramik malzemedir. Plazma sprey ve termal sprey teknolojileri için tasarlanan malzeme, agresif plazma işleme ortamlarında çalışan ekipman bileşenlerini koruyan yoğun bir ytria seramik tabakası oluşturur.
Yarı iletken üretim süreçlerinde, plazma aşındırma, biriktirme ve temizleme gibi işlemlerde, hazne bileşenleri sürekli olarak flor bazlı reaktif gazlara ve enerjik iyonlara maruz kalır. Y₂O₃ kaplamalar, üstün kimyasal stabilite ve plazma erozyonu direnci sağlayarak kontaminasyon kaynaklarını etkili bir şekilde azaltır ve kararlı proses performansını garanti eder.
Malzeme, yüksek kaplama yapışma gücü, homojen mikro yapı ve mükemmel kaplama dayanıklılığı elde etmek için kontrollü partikül morfolojisi ve optimize edilmiş boyut dağılımı ile tasarlanmıştır.
Ürün Özellikleri
Üstün Plazma Dayanıklılığı
Ytria kaplamalar, florokarbon plazma korozyonuna karşı mükemmel direnç gösterir, bu da onları yeni nesil yarı iletken düğümleri için ideal kılar.
Azaltılmış Parçacık Üretimi
Yoğun seramik kaplama yapısı, işlem haznesi içindeki mikro dökülmeleri ve parçacık dökülmesini en aza indirir.
Geliştirilmiş Proses Kararlılığı
Kararlı yüzey kimyası, tekrarlanabilir yarı iletken proses koşullarının korunmasına yardımcı olur ve üretim verimini artırır.
Yüksek Biriktirme Verimliliği
Optimize edilmiş toz morfolojisi, plazma püskürtme sırasında mükemmel akışkanlık ve kaplama homojenliği sağlar.
Uzun Hizmet Ömrü
Geleneksel seramik kaplamalara kıyasla bakım aralıklarını önemli ölçüde uzatır.
Tipik Uygulamalar
Yarı İletken Ekipman Koruması
Plazma Aşındırma Sistemleri
- CVD / PECVD
- ALD Sistemleri
- Kuru Temizleme Hazneleri
- Kaplamalı Bileşenler
Elektrostatik Aynalar (ESC)
- Hazne Astarları
- Gaz Dağıtım Plakaları
- Kenar Halkaları ve Kalkanları
- Partikül Boyut Dağılımı
Üretim ve Kalite KontrolGelişmiş nadir toprak işleme teknolojileri kullanılarak üretilmiştir:
Yüksek saflıkta ytria sentezi
Kontrollü sprey sınıfı granülasyon
- Sıkı safsızlık izleme
- Yarı iletken malzeme kalite güvencesi
Ürün Özellikleri
Plazma Aşındırma Haznesi Koruması İçin Ytria (Y₂O₃) Termal Sprey Tozu AçıklamaYtrium Oksit (Y₂O₃) Sprey Kaplama Tozu, gelişmiş yarı iletken üretim ekipmanlarında koruyucu kaplamalar için geliştirilmiş yüksek performanslı bir seramik malzemedir. Plazma sprey ve termal sprey teknolojileri için ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Herhangi bir sorunuz varsa lütfen aşağıdaki çevrimiçi talep iletişim formumuzu kullanın, ekibimiz en kısa sürede size geri dönüş yapacaktır.
