Plazma Çizme Odası Koruması için Yttria (Y2O3) Isı püskürtme tozu
Ürün Ayrıntıları
| Malzeme: | Yttrium oksit (Y2O3) | Saflık: | %99,9 |
|---|---|---|---|
| Parçacık Şekli: | Küresel / Aglomere | Kimyasal Kararlılık: | Üstün |
| Kirlilik Seviyesi: | ultra düşük | parçacık boyutu aralığı: | 10–65 mikron |
| Vurgulamak |
Yttria termal sprey tozu,Y2O3 plazma kazım koruması,Nadir toprak oksitleri termik kaplama |
||
Ürün Tanımı
Plazma Aşındırma Haznesi Koruması İçin Ytria (Y₂O₃) Termal Sprey Tozu
AçıklamaYtrium Oksit (Y₂O₃) Sprey Kaplama Tozu, gelişmiş yarı iletken üretim ekipmanlarında koruyucu kaplamalar için geliştirilmiş yüksek performanslı bir seramik malzemedir. Plazma sprey ve termal sprey teknolojileri için tasarlanan malzeme, agresif plazma işleme ortamlarında çalışan ekipman bileşenlerini koruyan yoğun bir ytria seramik tabakası oluşturur.
Yarı iletken üretim süreçlerinde, plazma aşındırma, biriktirme ve temizleme gibi işlemlerde, hazne bileşenleri sürekli olarak flor bazlı reaktif gazlara ve enerjik iyonlara maruz kalır. Y₂O₃ kaplamalar, üstün kimyasal stabilite ve plazma erozyonu direnci sağlayarak kontaminasyon kaynaklarını etkili bir şekilde azaltır ve kararlı proses performansını garanti eder.
Malzeme, yüksek kaplama yapışma gücü, homojen mikro yapı ve mükemmel kaplama dayanıklılığı elde etmek için kontrollü partikül morfolojisi ve optimize edilmiş boyut dağılımı ile tasarlanmıştır.
Ürün Özellikleri
Üstün Plazma Dayanıklılığı
Ytria kaplamalar, florokarbon plazma korozyonuna karşı mükemmel direnç gösterir, bu da onları yeni nesil yarı iletken düğümleri için ideal kılar.
Azaltılmış Parçacık Üretimi
Yoğun seramik kaplama yapısı, işlem haznesi içindeki mikro dökülmeleri ve parçacık dökülmesini en aza indirir.
Geliştirilmiş Proses Kararlılığı
Kararlı yüzey kimyası, tekrarlanabilir yarı iletken proses koşullarının korunmasına yardımcı olur ve üretim verimini artırır.
Yüksek Biriktirme Verimliliği
Optimize edilmiş toz morfolojisi, plazma püskürtme sırasında mükemmel akışkanlık ve kaplama homojenliği sağlar.
Uzun Hizmet Ömrü
Geleneksel seramik kaplamalara kıyasla bakım aralıklarını önemli ölçüde uzatır.
Tipik Uygulamalar
Yarı İletken Ekipman Koruması
Plazma Aşındırma Sistemleri
- CVD / PECVD
- ALD Sistemleri
- Kuru Temizleme Hazneleri
- Kaplamalı Bileşenler
Elektrostatik Aynalar (ESC)
- Hazne Astarları
- Gaz Dağıtım Plakaları
- Kenar Halkaları ve Kalkanları
- Partikül Boyut Dağılımı
Üretim ve Kalite KontrolGelişmiş nadir toprak işleme teknolojileri kullanılarak üretilmiştir:
Yüksek saflıkta ytria sentezi
Kontrollü sprey sınıfı granülasyon
- Sıkı safsızlık izleme
- Yarı iletken malzeme kalite güvencesi
Ürün Özellikleri
Plazma Aşındırma Haznesi Koruması İçin Ytria (Y₂O₃) Termal Sprey Tozu AçıklamaYtrium Oksit (Y₂O₃) Sprey Kaplama Tozu, gelişmiş yarı iletken üretim ekipmanlarında koruyucu kaplamalar için geliştirilmiş yüksek performanslı bir seramik malzemedir. Plazma sprey ve termal sprey teknolojileri için ...
CMP-Sınıflı Ceria Poliş Tozu AR Optikleri, Mikro-Lens Dizileri ve Giyilebilir Optik Sensörler İçin
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Akıllı Giyilebilir Ekran Camı ve Mikro-Optik Son İşlemleri İçin Ultra-İnce Seryum Oksit Parlatma Tozu
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Yüksek Saflıklı Seryum Oksit Poliş Tozu AR Dalga Rehberi Camı ve Optik Lens Üretimi İçin
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Seriyum Oksalat Tozu Kimyasal Reaktif Elementleri
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Herhangi bir sorunuz varsa lütfen aşağıdaki çevrimiçi talep iletişim formumuzu kullanın, ekibimiz en kısa sürede size geri dönüş yapacaktır.
