Yttria (Y2O3) พาวเดอร์สเปรย์ความร้อนสําหรับการป้องกันห้องทําการฉีดพลาสมา
รายละเอียดสินค้า
| วัสดุ: | อิตเทรียมออกไซด์ (Y₂O₃) | ความบริสุทธิ์: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| รูปร่างของอนุภาค: | ทรงกลม / รวมตัวกัน | ความคงตัวทางเคมี: | โดดเด่น |
| ระดับการปนเปื้อน: | ต่ำมาก | ช่วงขนาดอนุภาค: | 10–65 ไมโครเมตร |
| เน้น |
ขาวสเปรย์ความร้อน Yttria,ป้องกันการถักด้วยพลาสมา Y2O3,การเคลือบความร้อนด้วยโอกไซด์ดินหายาก |
||
คําอธิบายสินค้า
Yttria (Y2O3) พาวเดอร์สเปรย์ความร้อนสําหรับการป้องกันห้องทําการฉีดพลาสมา
คําอธิบายใน
Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Powder เป็นวัสดุเซรามิกที่มีประสิทธิภาพสูงที่พัฒนาขึ้นเพื่อการเคลือบป้องกันในอุปกรณ์การผลิตครึ่งประสาทที่ทันสมัยออกแบบสําหรับเทคโนโลยีพ่นพลาสมาและพ่นความร้อนวัสดุนี้เป็นชั้นเซรามิก yttria ที่หนาแน่น ซึ่งปกป้องส่วนประกอบของอุปกรณ์ที่ทํางานภายใต้สภาพแวดล้อมการแปรรูปพลาสมาที่รุนแรง
ในกระบวนการผลิตครึ่งประสาท เช่น การกะทะพลาสมา, การฝากและการทําความสะอาด, ส่วนประกอบห้องถูกเผชิญต่อเนื่องกับก๊าซปฏิกิริยาที่ใช้ฟลอรีนและไอออนพลังงานการเคลือบ Y2O3 ให้ความมั่นคงทางเคมีที่ดีกว่าและทนต่อการบดลงของพลาสมา, ลดแหล่งมลพิษได้อย่างมีประสิทธิภาพและรับประกันผลการดําเนินงานที่มั่นคง
วัสดุนี้ถูกออกแบบด้วยการควบคุมรูปร่างอนุภาคและการกระจายขนาดที่ปรับปรุงเพื่อบรรลุความแข็งแรงในการผูกพันชั้นสูง, โครงสร้างเล็กแบบเดียวกัน, และความทนทานชั้นที่ดีที่สุด
ลักษณะสินค้า
ความทนทานของพลาสมาที่โดดเด่น
การเคลือบ Yttria แสดงความทนทานที่ดีต่อการกัดกร่อนของฟลอโรคาร์บอนในพลาสมา ทําให้มันเหมาะสมสําหรับเกาะครึ่งนํารุ่นต่อไป
ลดการสร้างอนุภาค
โครงสร้างเคลือบเซรามิกที่หนาแน่น ลดการละลายเล็ก ๆ และการหลั่งอนุภาคภายในห้องแปรรูปให้น้อยที่สุด
ความมั่นคงของกระบวนการที่ดีขึ้น
เคมีพื้นผิวที่มั่นคงช่วยรักษาสภาพกระบวนการครึ่งตัวนําซ้ําและเพิ่มผลผลิต
ประสิทธิภาพการฝังสูง
การปรับปรุงรูปแบบของขี้ขุ่นให้มีความสามารถในการไหลผ่านที่ดีและความเหมือนกันของเคลือบในระหว่างการฉีดพลาสมา
อายุการใช้งานยาวนาน
ขยายระยะเวลาการบํารุงรักษาอย่างมาก เมื่อเทียบกับการเคลือบเซรามิกแบบปกติ
การใช้งานทั่วไป
การป้องกันอุปกรณ์ครึ่งตัว
- ระบบการฉลากพลาสมา
- CVD / PECVD
- ระบบ ALD
- ห้องซักแห้ง
องค์ประกอบที่เคลือบ
- เครื่องชักไฟฟ้าสแตตติก (ESC)
- เครื่องเคลือบห้อง
- แผ่นกระจายก๊าซ
- แหวนขอบและโล่
การกระจายขนาดอนุภาคการสื่อสาร

การผลิตและการควบคุมคุณภาพ
ผลิตโดยใช้เทคโนโลยีการแปรรูปดินหายากที่ทันสมัย:
- การสังเคราะห์ yttria ความบริสุทธิ์สูง
- การปรับปรุงกระจกที่ควบคุม
- การติดตามสกปรกอย่างเข้มงวด
- การรับประกันคุณภาพของวัสดุครึ่งประจุ
จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
Yttria (Y2O3) พาวเดอร์สเปรย์ความร้อนสําหรับการป้องกันห้องทําการฉีดพลาสมา คําอธิบายใน Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Powder เป็นวัสดุเซรามิกที่มีประสิทธิภาพสูงที่พัฒนาขึ้นเพื่อการเคลือบป้องกันในอุปกรณ์การผลิตครึ่งประสาทที่ทันสมัยออกแบบสําหรับเทคโนโลยีพ่นพลาสมาและพ่นความร้อนวัสดุนี้เป็นชั้นเซรามิก ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
กรุณาใช้แบบสอบถามทางออนไลน์ด้านล่าง หากคุณมีคําถาม ทีมงานของเราจะติดต่อกลับกับคุณในเร็วที่สุด