پودر اسپری حرارتی یتریا (Y2O3) برای حفاظت از اتاق حفاری پلاسما
جزئیات محصول
| مواد: | اکسید ایتریوم (Y2O3) | خلوص: | 99.9٪ |
|---|---|---|---|
| شکل ذرات: | کروی / آگلومره | پایداری شیمیایی: | برجسته |
| سطح آلودگی: | بسیار کم | دامنه اندازه ذرات: | 10-65 میکرومتر |
| برجسته کردن |
پودر اسپری حرارتی یتریا,حفاظت از خیس پلاسمایی Y2O3,پوشش حرارتی اکسید زمین های نادر |
||
توضیحات محصول
پودر اسپری حرارتی یتریا (Y2O3) برای حفاظت از اتاق حفاری پلاسما
توضیحاتدر
پودر پوشش اسپری یتریوم اکسید (Y2O3) یک ماده سرامیکی با عملکرد بالا است که برای پوشش های محافظ در تجهیزات پیشرفته تولید نیمه هادی توسعه یافته است.طراحی شده برای فن آوری های اسپری پلاسما و اسپری حرارتی، این ماده یک لایه سرامیکی متراپی را تشکیل می دهد که از اجزای تجهیزات تحت محیط های پردازش پلاسما پرخاشگر محافظت می کند.
در فرآیندهای تولید نیمه هادی مانند حکاکی پلاسما، رسوب و تمیز کردن، اجزای اتاق به طور مداوم در معرض گاز های واکنش پذیر مبتنی بر فلور و یون های پر انرژی قرار می گیرند.پوشش های Y2O3 ثبات شیمیایی برتر و مقاومت در برابر فرسایش پلاسما را فراهم می کنند، به طور موثر منابع آلودگی را کاهش می دهد و عملکرد فرآیند پایدار را تضمین می کند.
این ماده با مورفولوژی ذرات کنترل شده و توزیع اندازه بهینه شده برای دستیابی به قدرت چسبندگی پوشش بالا، میکروسروکتور یکنواخت و دوام عالی پوشش طراحی شده است.
ویژگی های محصول
دوام فوق العاده پلاسما
پوشش های یتریا مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی پلاسمای فلورو کربن دارند، که آنها را برای گره های نیمه هادی نسل بعدی ایده آل می کند.
تولید ذرات کاهش یافته
ساختار پوشش سرامیکی متراکم باعث به حداقل رساندن ریز ریز شدن و ریزش ذرات در داخل اتاق های پردازش می شود.
بهبود ثبات فرآیند
شیمی سطح پایدار به حفظ شرایط تکرار پذیر فرآیند نیمه هادی کمک می کند و بهره وری تولید را افزایش می دهد.
بهره وری بالا از رسوب
مورفولوژی پودر بهینه شده باعث می شود که جریان بسیار خوبی و یکنواخت پوشش در هنگام اسپری پلاسما وجود داشته باشد.
عمر طولانی
به طور قابل توجهی فواصل نگهداری را در مقایسه با پوشش های سرامیکی معمولی افزایش می دهد.
کاربردهای معمول
حفاظت از تجهیزات نیمه هادی
- سیستم های حکاکی پلاسما
- CVD / PECVD
- سیستم های ALD
- اتاق های تمیز کردن خشک
اجزای پوشش داده شده
- چوک های الکترواستاتیک (ESC)
- پوشش اتاق
- صفحه های توزیع گاز
- حلقه ها و سپر های لبه
توزیع اندازه ذرات..
تولید و کنترل کیفیت
تولید شده با استفاده از فن آوری های پیشرفته پردازش زمین های نادر:
- سنتز یتریا با خلوص بالا
- دانه ریزی کنترل شده با درجه اسپری
- نظارت دقیق بر ناخالصی ها
- تضمین کیفیت مواد نیمه هادی
نکات برجسته محصول
پودر اسپری حرارتی یتریا (Y2O3) برای حفاظت از اتاق حفاری پلاسما توضیحاتدر پودر پوشش اسپری یتریوم اکسید (Y2O3) یک ماده سرامیکی با عملکرد بالا است که برای پوشش های محافظ در تجهیزات پیشرفته تولید نیمه هادی توسعه یافته است.طراحی شده برای فن آوری های اسپری پلاسما و اسپری حرارتی، این ماده یک لایه سرامیکی م...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
لطفا از فرم تماس آنلاین در زیر استفاده کنید اگر سوالی دارید، تیم ما در اسرع وقت با شما تماس خواهد گرفت.
