Proszek do natrysku termicznego tlenku itru (Y₂O₃) do ochrony komory trawienia plazmowego
Szczegóły produktu
| Tworzywo: | Tlenek jttrium (Y2O3) | Czystość: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Kształt cząstek: | Kulisty/aglomerowany | Stabilność chemiczna: | Wybitny |
| Poziom zanieczyszczenia: | bardzo niski | Zakres wielkości cząstek: | 10–65 μm |
| Podkreślić |
Proszek do natrysku termicznego tlenku itru,Ochrona trawienia plazmowego Y₂O₃,Powłoka termiczna z tlenku pierwiastka ziem rzadkich |
||
Opis produktu
Proszek do natrysku termicznego tlenku itru (Y₂O₃) do ochrony komór trawienia plazmowego
OpisProszek do powłok natryskowych z tlenku itru (Y₂O₃) to wysokowydajny materiał ceramiczny opracowany do powłok ochronnych w zaawansowanych urządzeniach do produkcji półprzewodników. Zaprojektowany do technologii plazmowego i termicznego natrysku, materiał tworzy gęstą warstwę ceramiki itrowej, która chroni elementy wyposażenia pracujące w agresywnych środowiskach przetwarzania plazmowego.
W procesach produkcji półprzewodników, takich jak trawienie plazmowe, osadzanie i czyszczenie, elementy komory są stale narażone na działanie fluorowodorowych gazów reaktywnych i jonów o wysokiej energii. Powłoki Y₂O₃ zapewniają doskonałą stabilność chemiczną i odporność na erozję plazmową, skutecznie redukując źródła zanieczyszczeń i zapewniając stabilną wydajność procesu.
Materiał jest zaprojektowany z kontrolowaną morfologią cząstek i zoptizowanym rozkładem wielkości, aby osiągnąć wysoką siłę adhezji powłoki, jednorodną mikrostrukturę i doskonałą trwałość powłoki.
Cechy produktu
Wyjątkowa trwałość w plazmie
Powłoki itrowe wykazują doskonałą odporność na korozję w plazmie fluorowęglowodorowej, co czyni je idealnymi dla węzłów półprzewodnikowych nowej generacji.
Zredukowana generacja cząstek
Gęsta struktura powłoki ceramicznej minimalizuje mikropęknięcia i uwalnianie cząstek wewnątrz komór procesowych.
Poprawiona stabilność procesu
Stabilna chemia powierzchni pomaga utrzymać powtarzalne warunki procesu półprzewodnikowego i zwiększa wydajność produkcji.
Wysoka wydajność osadzania
Zoptimizowana morfologia proszku zapewnia doskonałą płynność i jednorodność powłoki podczas natrysku plazmowego.
Długa żywotność
Znacząco wydłuża interwały konserwacji w porównaniu z konwencjonalnymi powłokami ceramicznymi.
Typowe zastosowania
Ochrona urządzeń półprzewodnikowych
Systemy trawienia plazmowego
- CVD / PECVD
- Systemy ALD
- Komory do suchego czyszczenia
- Powlekane elementy
Elektrostatyczne uchwyty (ESC)
- Wykładziny komór
- Płyty dystrybucji gazu
- Pierścienie krawędziowe i osłony
- Rozkład wielkości cząstek
Produkcja i kontrola jakościWyprodukowano przy użyciu zaawansowanych technologii przetwarzania metali ziem rzadkich:
Synteza itru o wysokiej czystości
Kontrolowana granulacja do natrysku
- Ścisłe monitorowanie zanieczyszczeń
- Zapewnienie jakości materiałów półprzewodnikowych
Najważniejsze cechy produktu
Proszek do natrysku termicznego tlenku itru (Y₂O₃) do ochrony komór trawienia plazmowego OpisProszek do powłok natryskowych z tlenku itru (Y₂O₃) to wysokowydajny materiał ceramiczny opracowany do powłok ochronnych w zaawansowanych urządzeniach do produkcji półprzewodników. Zaprojektowany do ...
Proszek polerowy Ceria klasy CMP do optyki AR, układów mikroobiektywów i noszonych czujników optycznych
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Ultra-drobny proszek polerski z tlenku ceru do wykańczania szkła inteligentnych urządzeń noszonych i mikrooptyki
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Wysokiej czystości proszek polerski tlenku ceru do produkcji szkieł falowodów AR i soczewek optycznych
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Ceriumoksalantowy proszek Elementy reaktora chemicznego
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Uprzejmie prosimy o skorzystanie z naszego formularza kontaktowego online poniżej w przypadku jakichkolwiek pytań. Nasz zespół skontaktuje się z Państwem najszybciej jak to możliwe.
