Proszek do natrysku termicznego tlenku itru (Y₂O₃) do ochrony komory trawienia plazmowego
Szczegóły produktu
| Tworzywo: | Tlenek jttrium (Y2O3) | Czystość: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Kształt cząstek: | Kulisty/aglomerowany | Stabilność chemiczna: | Wybitny |
| Poziom zanieczyszczenia: | bardzo niski | Zakres wielkości cząstek: | 10–65 μm |
| Podkreślić |
Proszek do natrysku termicznego tlenku itru,Ochrona trawienia plazmowego Y₂O₃,Powłoka termiczna z tlenku pierwiastka ziem rzadkich |
||
Opis produktu
Proszek do natrysku termicznego tlenku itru (Y₂O₃) do ochrony komór trawienia plazmowego
OpisProszek do powłok natryskowych z tlenku itru (Y₂O₃) to wysokowydajny materiał ceramiczny opracowany do powłok ochronnych w zaawansowanych urządzeniach do produkcji półprzewodników. Zaprojektowany do technologii plazmowego i termicznego natrysku, materiał tworzy gęstą warstwę ceramiki itrowej, która chroni elementy wyposażenia pracujące w agresywnych środowiskach przetwarzania plazmowego.
W procesach produkcji półprzewodników, takich jak trawienie plazmowe, osadzanie i czyszczenie, elementy komory są stale narażone na działanie fluorowodorowych gazów reaktywnych i jonów o wysokiej energii. Powłoki Y₂O₃ zapewniają doskonałą stabilność chemiczną i odporność na erozję plazmową, skutecznie redukując źródła zanieczyszczeń i zapewniając stabilną wydajność procesu.
Materiał jest zaprojektowany z kontrolowaną morfologią cząstek i zoptizowanym rozkładem wielkości, aby osiągnąć wysoką siłę adhezji powłoki, jednorodną mikrostrukturę i doskonałą trwałość powłoki.
Cechy produktu
Wyjątkowa trwałość w plazmie
Powłoki itrowe wykazują doskonałą odporność na korozję w plazmie fluorowęglowodorowej, co czyni je idealnymi dla węzłów półprzewodnikowych nowej generacji.
Zredukowana generacja cząstek
Gęsta struktura powłoki ceramicznej minimalizuje mikropęknięcia i uwalnianie cząstek wewnątrz komór procesowych.
Poprawiona stabilność procesu
Stabilna chemia powierzchni pomaga utrzymać powtarzalne warunki procesu półprzewodnikowego i zwiększa wydajność produkcji.
Wysoka wydajność osadzania
Zoptimizowana morfologia proszku zapewnia doskonałą płynność i jednorodność powłoki podczas natrysku plazmowego.
Długa żywotność
Znacząco wydłuża interwały konserwacji w porównaniu z konwencjonalnymi powłokami ceramicznymi.
Typowe zastosowania
Ochrona urządzeń półprzewodnikowych
Systemy trawienia plazmowego
- CVD / PECVD
- Systemy ALD
- Komory do suchego czyszczenia
- Powlekane elementy
Elektrostatyczne uchwyty (ESC)
- Wykładziny komór
- Płyty dystrybucji gazu
- Pierścienie krawędziowe i osłony
- Rozkład wielkości cząstek
Produkcja i kontrola jakościWyprodukowano przy użyciu zaawansowanych technologii przetwarzania metali ziem rzadkich:
Synteza itru o wysokiej czystości
Kontrolowana granulacja do natrysku
- Ścisłe monitorowanie zanieczyszczeń
- Zapewnienie jakości materiałów półprzewodnikowych
Najważniejsze cechy produktu
Proszek do natrysku termicznego tlenku itru (Y₂O₃) do ochrony komór trawienia plazmowego OpisProszek do powłok natryskowych z tlenku itru (Y₂O₃) to wysokowydajny materiał ceramiczny opracowany do powłok ochronnych w zaawansowanych urządzeniach do produkcji półprzewodników. Zaprojektowany do ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Uprzejmie prosimy o skorzystanie z naszego formularza kontaktowego online poniżej w przypadku jakichkolwiek pytań. Nasz zespół skontaktuje się z Państwem najszybciej jak to możliwe.
