Yttria (Y2O3) bột phun nhiệt để bảo vệ buồng khắc plasma
Chi tiết sản phẩm
| Vật liệu: | Yttrium oxide (Y2O3) | độ tinh khiết: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Hình dạng hạt: | Hình cầu / kết tụ | Tính ổn định hóa học: | Nổi bật |
| Mức độ ô nhiễm: | cực thấp | Phạm vi kích thước hạt: | 10–65 mm |
| Làm nổi bật |
Yttria bột xịt nhiệt,Bảo vệ khắc plasma Y2O3,Lớp phủ nhiệt oxit đất hiếm |
||
Mô tả sản phẩm
Bột Phun Nhiệt Yttria (Y₂O₃) Bảo Vệ Buồng Khắc Plasma
Mô tảYttrium Oxide (Y₂O₃) Spray Coating Powder là vật liệu gốm hiệu suất cao được phát triển cho lớp phủ bảo vệ trong thiết bị sản xuất bán dẫn tiên tiến. Được thiết kế cho công nghệ phun plasma và phun nhiệt, vật liệu tạo thành một lớp gốm yttria dày đặc, bảo vệ các bộ phận thiết bị hoạt động trong môi trường xử lý plasma khắc nghiệt.
Trong các quy trình sản xuất bán dẫn như khắc plasma, lắng đọng và làm sạch, các bộ phận buồng liên tục tiếp xúc với khí phản ứng gốc flo và các ion năng lượng cao. Lớp phủ Y₂O₃ cung cấp độ ổn định hóa học vượt trội và khả năng chống xói mòn plasma, giúp giảm hiệu quả các nguồn gây ô nhiễm và đảm bảo hiệu suất quy trình ổn định.
Vật liệu được thiết kế với hình thái hạt được kiểm soát và phân bố kích thước tối ưu để đạt được độ bám dính lớp phủ cao, cấu trúc vi mô đồng nhất và độ bền lớp phủ tuyệt vời.
Tính năng sản phẩm
Độ bền Plasma vượt trội
Lớp phủ Yttria thể hiện khả năng chống ăn mòn plasma fluorocarbon tuyệt vời, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các nút bán dẫn thế hệ tiếp theo.
Giảm tạo hạt
Cấu trúc lớp phủ gốm dày đặc giúp giảm thiểu bong tróc vi mô và rơi hạt bên trong buồng xử lý.
Cải thiện độ ổn định quy trình
Hóa học bề mặt ổn định giúp duy trì các điều kiện quy trình bán dẫn có thể lặp lại và nâng cao năng suất sản xuất.
Hiệu quả lắng đọng cao
Hình thái bột tối ưu đảm bảo khả năng chảy tuyệt vời và độ đồng nhất lớp phủ trong quá trình phun plasma.
Tuổi thọ sử dụng dài
Kéo dài đáng kể khoảng thời gian bảo trì so với các lớp phủ gốm thông thường.
Ứng dụng điển hình
Bảo vệ thiết bị bán dẫn
Hệ thống khắc plasma
- CVD / PECVD
- Hệ thống ALD
- Buồng làm sạch khô
- Các bộ phận được phủ
Chuck tĩnh điện (ESC)
- Lớp lót buồng
- Tấm phân phối khí
- Vành và tấm chắn cạnh
- Phân bố kích thước hạt
Sản xuất & Kiểm soát chất lượngSản xuất bằng công nghệ xử lý đất hiếm tiên tiến:
Tổng hợp yttria độ tinh khiết cao
Tạo hạt cấp phun được kiểm soát
- Giám sát tạp chất nghiêm ngặt
- Đảm bảo chất lượng vật liệu bán dẫn
Điểm nổi bật của sản phẩm
Bột Phun Nhiệt Yttria (Y₂O₃) Bảo Vệ Buồng Khắc Plasma Mô tảYttrium Oxide (Y₂O₃) Spray Coating Powder là vật liệu gốm hiệu suất cao được phát triển cho lớp phủ bảo vệ trong thiết bị sản xuất bán dẫn tiên tiến. Được thiết kế cho công nghệ phun plasma và phun nhiệt, vật liệu tạo thành một lớp gốm ...
Bột đánh bóng Ceria cấp CMP cho Quang học AR, Mảng vi thấu kính & Cảm biến quang học đeo được
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Bột đánh bóng Oxit Ceri Siêu mịn cho kính che thiết bị đeo thông minh & Hoàn thiện Micro-Optics
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Bột đánh bóng Cerium oxide tinh khiết cao cho kính dẫn sóng AR & sản xuất ống kính quang học
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Cerium oxalate bột nguyên tố phản ứng hóa học
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.
