Yttria (Y2O3) bột phun nhiệt để bảo vệ buồng khắc plasma
Chi tiết sản phẩm
| Vật liệu: | Yttrium oxide (Y2O3) | độ tinh khiết: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Hình dạng hạt: | Hình cầu / kết tụ | Tính ổn định hóa học: | Nổi bật |
| Mức độ ô nhiễm: | cực thấp | Phạm vi kích thước hạt: | 10–65 mm |
| Làm nổi bật |
Yttria bột xịt nhiệt,Bảo vệ khắc plasma Y2O3,Lớp phủ nhiệt oxit đất hiếm |
||
Mô tả sản phẩm
Bột Phun Nhiệt Yttria (Y₂O₃) Bảo Vệ Buồng Khắc Plasma
Mô tảYttrium Oxide (Y₂O₃) Spray Coating Powder là vật liệu gốm hiệu suất cao được phát triển cho lớp phủ bảo vệ trong thiết bị sản xuất bán dẫn tiên tiến. Được thiết kế cho công nghệ phun plasma và phun nhiệt, vật liệu tạo thành một lớp gốm yttria dày đặc, bảo vệ các bộ phận thiết bị hoạt động trong môi trường xử lý plasma khắc nghiệt.
Trong các quy trình sản xuất bán dẫn như khắc plasma, lắng đọng và làm sạch, các bộ phận buồng liên tục tiếp xúc với khí phản ứng gốc flo và các ion năng lượng cao. Lớp phủ Y₂O₃ cung cấp độ ổn định hóa học vượt trội và khả năng chống xói mòn plasma, giúp giảm hiệu quả các nguồn gây ô nhiễm và đảm bảo hiệu suất quy trình ổn định.
Vật liệu được thiết kế với hình thái hạt được kiểm soát và phân bố kích thước tối ưu để đạt được độ bám dính lớp phủ cao, cấu trúc vi mô đồng nhất và độ bền lớp phủ tuyệt vời.
Tính năng sản phẩm
Độ bền Plasma vượt trội
Lớp phủ Yttria thể hiện khả năng chống ăn mòn plasma fluorocarbon tuyệt vời, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các nút bán dẫn thế hệ tiếp theo.
Giảm tạo hạt
Cấu trúc lớp phủ gốm dày đặc giúp giảm thiểu bong tróc vi mô và rơi hạt bên trong buồng xử lý.
Cải thiện độ ổn định quy trình
Hóa học bề mặt ổn định giúp duy trì các điều kiện quy trình bán dẫn có thể lặp lại và nâng cao năng suất sản xuất.
Hiệu quả lắng đọng cao
Hình thái bột tối ưu đảm bảo khả năng chảy tuyệt vời và độ đồng nhất lớp phủ trong quá trình phun plasma.
Tuổi thọ sử dụng dài
Kéo dài đáng kể khoảng thời gian bảo trì so với các lớp phủ gốm thông thường.
Ứng dụng điển hình
Bảo vệ thiết bị bán dẫn
Hệ thống khắc plasma
- CVD / PECVD
- Hệ thống ALD
- Buồng làm sạch khô
- Các bộ phận được phủ
Chuck tĩnh điện (ESC)
- Lớp lót buồng
- Tấm phân phối khí
- Vành và tấm chắn cạnh
- Phân bố kích thước hạt
Sản xuất & Kiểm soát chất lượngSản xuất bằng công nghệ xử lý đất hiếm tiên tiến:
Tổng hợp yttria độ tinh khiết cao
Tạo hạt cấp phun được kiểm soát
- Giám sát tạp chất nghiêm ngặt
- Đảm bảo chất lượng vật liệu bán dẫn
Điểm nổi bật của sản phẩm
Bột Phun Nhiệt Yttria (Y₂O₃) Bảo Vệ Buồng Khắc Plasma Mô tảYttrium Oxide (Y₂O₃) Spray Coating Powder là vật liệu gốm hiệu suất cao được phát triển cho lớp phủ bảo vệ trong thiết bị sản xuất bán dẫn tiên tiến. Được thiết kế cho công nghệ phun plasma và phun nhiệt, vật liệu tạo thành một lớp gốm ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.
