प्लाज्मा एटिंग चैंबर सुरक्षा के लिए Yttria (Y2O3) थर्मल स्प्रे पाउडर
उत्पाद का विवरण
| सामग्री: | येट्रियम ऑक्साइड (Y₂O₃) | पवित्रता: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| कण आकार: | गोलाकार/संकलित | रासायनिक स्थिरता: | असाधारण |
| संदूषण स्तर: | अति कम | कण आकार सीमा: | 10-65 μm |
| प्रमुखता देना |
इट्रिया थर्मल स्प्रे पाउडर,Y2O3 प्लाज्मा उत्कीर्णन संरक्षण,दुर्लभ पृथ्वी ऑक्साइड थर्मल कोटिंग |
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उत्पाद का वर्णन
प्लाज्मा एटिंग चैंबर सुरक्षा के लिए Yttria (Y2O3) थर्मल स्प्रे पाउडर
वर्णनपर
Yttrium Oxide (Y2O3) स्प्रे कोटिंग पाउडर उन्नत अर्धचालक निर्माण उपकरण में सुरक्षात्मक कोटिंग के लिए विकसित एक उच्च प्रदर्शन वाली सिरेमिक सामग्री है।प्लाज्मा स्प्रे और थर्मल स्प्रे प्रौद्योगिकियों के लिए डिज़ाइन किया गया, सामग्री एक घनी yttria सिरेमिक परत बनाता है जो आक्रामक प्लाज्मा प्रसंस्करण वातावरण के तहत काम करने वाले उपकरण घटकों की रक्षा करता है।
अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं जैसे प्लाज्मा उत्कीर्णन, जमाव, और सफाई में, कक्ष घटकों को लगातार फ्लोरीन आधारित प्रतिक्रियाशील गैसों और ऊर्जावान आयनों के संपर्क में रखा जाता है।Y2O3 कोटिंग बेहतर रासायनिक स्थिरता और प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोध प्रदान करती हैप्रदूषण के स्रोतों को प्रभावी ढंग से कम करने और स्थिर प्रक्रिया प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए।
सामग्री को नियंत्रित कण आकृति विज्ञान और अनुकूलित आकार वितरण के साथ इंजीनियर किया गया है ताकि उच्च कोटिंग आसंजन शक्ति, समान सूक्ष्म संरचना और उत्कृष्ट कोटिंग स्थायित्व प्राप्त किया जा सके।
उत्पाद की विशेषताएं
प्लाज्मा की उत्कृष्ट स्थायित्व
Yttria कोटिंग्स फ्लोरोकार्बन प्लाज्मा संक्षारण के खिलाफ उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करते हैं, उन्हें अगली पीढ़ी के अर्धचालक नोड्स के लिए आदर्श बनाते हैं।
कणों का उत्पादन कम
घने सिरेमिक कोटिंग संरचना प्रसंस्करण कक्षों के अंदर माइक्रो-फ्लेकिंग और कणों के बहाव को कम करती है।
प्रक्रिया स्थिरता में सुधार
स्थिर सतह रसायन पुनरावृत्ति अर्धचालक प्रक्रिया स्थितियों को बनाए रखने में मदद करता है और विनिर्माण उपज को बढ़ाता है।
उच्च अवशोषण दक्षता
ऑप्टिमाइज्ड पाउडर मॉर्फोलजी प्लाज्मा छिड़काव के दौरान उत्कृष्ट प्रवाहकता और कोटिंग एकरूपता सुनिश्चित करती है।
लंबे समय तक सेवा
पारंपरिक सिरेमिक कोटिंग्स की तुलना में रखरखाव के अंतराल को काफी बढ़ाता है।
विशिष्ट अनुप्रयोग
अर्धचालक उपकरणों की सुरक्षा
- प्लाज्मा उत्कीर्णन प्रणाली
- सीवीडी / पीईसीवीडी
- एएलडी सिस्टम
- सूखी सफाई कक्ष
लेपित घटक
- इलेक्ट्रोस्टैटिक चक (ईएससी)
- कक्ष लाइनर
- गैस वितरण प्लेट
- किनारे के छल्ले और ढाल
कण आकार वितरणविसर्जन
विनिर्माण और गुणवत्ता नियंत्रण
उन्नत दुर्लभ पृथ्वी प्रसंस्करण प्रौद्योगिकियों का उपयोग करके निर्मितः
- उच्च शुद्धता वाले इट्रिया संश्लेषण
- नियंत्रित स्प्रे ग्रेड ग्रेन्युलेशन
- अशुद्धियों की सख्त निगरानी
- अर्धचालक सामग्री गुणवत्ता आश्वासन
उत्पाद हाइलाइट्स
प्लाज्मा एटिंग चैंबर सुरक्षा के लिए Yttria (Y2O3) थर्मल स्प्रे पाउडर वर्णनपर Yttrium Oxide (Y2O3) स्प्रे कोटिंग पाउडर उन्नत अर्धचालक निर्माण उपकरण में सुरक्षात्मक कोटिंग के लिए विकसित एक उच्च प्रदर्शन वाली सिरेमिक सामग्री है।प्लाज्मा स्प्रे और थर्मल स्प्रे प्रौद्योगिकियों के लिए डिज़ाइन किया गया, सा...
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