Yttria (Y₂O₃) thermische spuitpoeder voor plasma-etskamersbescherming
Productdetails
| Materiaal: | Yttriumoxide (Y2O3) | Zuiverheid: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Deeltjesvorm: | Bolvormig/geagglomereerd | Chemische stabiliteit: | Uitstekend |
| Verontreinigingsniveau: | ultra-low | deeltjesgrootte bereik: | 10–65 μm |
| Markeren |
Yttria thermische spuitpoeder,Y₂O₃ plasma-etsbescherming,Zeldzame aardoxide thermische coating |
||
Productomschrijving
Yttria (Y₂O₃) thermisch spuitpoeder voor plasma-etskamers
Beschrijving
Yttriumoxide (Y₂O₃) spuitpoeder is een hoogwaardig keramisch materiaal ontwikkeld voor beschermende coatings in geavanceerde apparatuur voor halfgeleiderfabricage. Ontworpen voor plasmastraal- en thermische spuittechnologieën, vormt het materiaal een dichte yttria keramische laag die apparatuurcomponenten beschermt die werken onder agressieve plasmaverwerkingsomgevingen.
In halfgeleiderproductieprocessen zoals plasma-etsen, depositie en reiniging, worden kamercomponenten continu blootgesteld aan fluor-gebaseerde reactieve gassen en energetische ionen. Y₂O₃ coatings bieden superieure chemische stabiliteit en weerstand tegen plasma-erosie, waardoor contaminatiebronnen effectief worden verminderd en stabiele procesprestaties worden gegarandeerd.
Het materiaal is ontworpen met gecontroleerde deeltjesmorfologie en geoptimaliseerde deeltjesgrootteverdeling om een hoge coatinghechtingssterkte, uniforme microstructuur en uitstekende coatingduurzaamheid te bereiken.
Productkenmerken
Uitstekende plasma duurzaamheid
Yttria coatings vertonen uitstekende weerstand tegen fluorocarbon plasma corrosie, waardoor ze ideaal zijn voor de volgende generatie halfgeleiderknooppunten.
Verminderde deeltjesgeneratie
De dichte keramische coatingstructuur minimaliseert micro-afschilfering en deeltjesverlies in verwerkingskamers.
Verbeterde processtabiliteit
Stabiele oppervlaktechemie helpt herhaalbare halfgeleiderprocescondities te handhaven en verbetert de productieopbrengst.
Hoge depositie-efficiëntie
Geoptimaliseerde poedermorfologie zorgt voor uitstekende vloei-eigenschappen en coatinguniformiteit tijdens plasmaspuiten.
Lange levensduur
Verlengt onderhoudsintervallen aanzienlijk in vergelijking met conventionele keramische coatings.
Typische toepassingen
Bescherming van halfgeleiderapparatuur
- Plasma-ets systemen
- CVD / PECVD
- ALD-systemen
- Droge reinigingskamers
Gecoate componenten
- Elektrostatische chucks (ESC)
- Kamerliners
- Gasdistributieplaten
- Randringen en afschermingen
Deeltjesgrootteverdeling
Productie & Kwaliteitscontrole
Vervaardigd met behulp van geavanceerde zeldzame aardmetaalverwerkingstechnologieën:
- Synthese van hoogzuivere yttria
- Gecontroleerde spuitkwaliteit granulatie
- Strikte controle op onzuiverheden
- Kwaliteitsborging van halfgeleidermaterialen
Producthoogtepunten
Yttria (Y₂O₃) thermisch spuitpoeder voor plasma-etskamers Beschrijving Yttriumoxide (Y₂O₃) spuitpoeder is een hoogwaardig keramisch materiaal ontwikkeld voor beschermende coatings in geavanceerde apparatuur voor halfgeleiderfabricage. Ontworpen voor plasmastraal- en thermische spuittechnologieën, ...
CMP-kwaliteit ceriumoxide polijstpoeder voor AR-optiek, micro-lensarrays & draagbare optische sensoren
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Ultrafijn ceriumoxide polijstpoeder voor smart wearable dekglaasjes en micro-optische afwerking
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Poetspoeder met hoog zuiverheidsgehalte van ceriumoxide voor de vervaardiging van AR-golfgeleiderglas en optische lenzen
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Ceriumoxalaat Poeder Chemisch Reagens Elementen
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Gebruik ons online contactformulier als u vragen heeft, ons team zal u zo snel mogelijk contacteren.
