Yttria (Y₂O₃) thermische spuitpoeder voor plasma-etskamersbescherming
Productdetails
| Materiaal: | Yttriumoxide (Y2O3) | Zuiverheid: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Deeltjesvorm: | Bolvormig/geagglomereerd | Chemische stabiliteit: | Uitstekend |
| Verontreinigingsniveau: | ultra-low | deeltjesgrootte bereik: | 10–65 μm |
| Markeren |
Yttria thermische spuitpoeder,Y₂O₃ plasma-etsbescherming,Zeldzame aardoxide thermische coating |
||
Productomschrijving
Yttria (Y₂O₃) thermisch spuitpoeder voor plasma-etskamers
Beschrijving
Yttriumoxide (Y₂O₃) spuitpoeder is een hoogwaardig keramisch materiaal ontwikkeld voor beschermende coatings in geavanceerde apparatuur voor halfgeleiderfabricage. Ontworpen voor plasmastraal- en thermische spuittechnologieën, vormt het materiaal een dichte yttria keramische laag die apparatuurcomponenten beschermt die werken onder agressieve plasmaverwerkingsomgevingen.
In halfgeleiderproductieprocessen zoals plasma-etsen, depositie en reiniging, worden kamercomponenten continu blootgesteld aan fluor-gebaseerde reactieve gassen en energetische ionen. Y₂O₃ coatings bieden superieure chemische stabiliteit en weerstand tegen plasma-erosie, waardoor contaminatiebronnen effectief worden verminderd en stabiele procesprestaties worden gegarandeerd.
Het materiaal is ontworpen met gecontroleerde deeltjesmorfologie en geoptimaliseerde deeltjesgrootteverdeling om een hoge coatinghechtingssterkte, uniforme microstructuur en uitstekende coatingduurzaamheid te bereiken.
Productkenmerken
Uitstekende plasma duurzaamheid
Yttria coatings vertonen uitstekende weerstand tegen fluorocarbon plasma corrosie, waardoor ze ideaal zijn voor de volgende generatie halfgeleiderknooppunten.
Verminderde deeltjesgeneratie
De dichte keramische coatingstructuur minimaliseert micro-afschilfering en deeltjesverlies in verwerkingskamers.
Verbeterde processtabiliteit
Stabiele oppervlaktechemie helpt herhaalbare halfgeleiderprocescondities te handhaven en verbetert de productieopbrengst.
Hoge depositie-efficiëntie
Geoptimaliseerde poedermorfologie zorgt voor uitstekende vloei-eigenschappen en coatinguniformiteit tijdens plasmaspuiten.
Lange levensduur
Verlengt onderhoudsintervallen aanzienlijk in vergelijking met conventionele keramische coatings.
Typische toepassingen
Bescherming van halfgeleiderapparatuur
- Plasma-ets systemen
- CVD / PECVD
- ALD-systemen
- Droge reinigingskamers
Gecoate componenten
- Elektrostatische chucks (ESC)
- Kamerliners
- Gasdistributieplaten
- Randringen en afschermingen
Deeltjesgrootteverdeling
Productie & Kwaliteitscontrole
Vervaardigd met behulp van geavanceerde zeldzame aardmetaalverwerkingstechnologieën:
- Synthese van hoogzuivere yttria
- Gecontroleerde spuitkwaliteit granulatie
- Strikte controle op onzuiverheden
- Kwaliteitsborging van halfgeleidermaterialen
Producthoogtepunten
Yttria (Y₂O₃) thermisch spuitpoeder voor plasma-etskamers Beschrijving Yttriumoxide (Y₂O₃) spuitpoeder is een hoogwaardig keramisch materiaal ontwikkeld voor beschermende coatings in geavanceerde apparatuur voor halfgeleiderfabricage. Ontworpen voor plasmastraal- en thermische spuittechnologieën, ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Gebruik ons online contactformulier als u vragen heeft, ons team zal u zo snel mogelijk contacteren.
