طلاء بخاخ أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلات | مادة طلاء عالية النقاء من Y₂O₃ مقاومة للبلازما
تفاصيل المنتج
| الصيغة الكيميائية: | Y₂O₃ | نقاء: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| التشكل: | كروية | كثافة: | ≥ 5.0 جم/سم3 |
| مقاومة البلازما: | ممتاز | التحكم في الشوائب: | درجة أشباه الموصلات |
| إبراز |
طلاء أشباه الموصلات بأكسيد الإيتريوم,طلاء بلازما عالي النقاء من Y₂O₃,مادة بخاخ أكسيد الأرض النادرة,High-purity Y₂O₃ plasma coating,Rare earth oxide spray material |
||
وصف المنتج
طلاء رش أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلات | مادة طلاء عالية النقاء مقاومة للبلازما من Y₂O₃
وصفأكسيد الإيتريوم (Y₂O₃) مادة طلاء بالرش هي مسحوق سيراميك من العناصر الأرضية النادرة عالية النقاء مصمم للطلاءات الواقية المستخدمة في معدات تصنيع أشباه الموصلات. يتم تطبيق المادة على نطاق واسع من خلال تقنيات الطلاء بالرش الحراري، أو الرش بالبلازما، أو الرش بالتعليق لحماية المكونات الحيوية المعرضة لبيئات البلازما العدوانية.
توفر طلاءات أكسيد الإيتريوم مقاومة استثنائية للتآكل بالبلازما القائمة على الفلور، وتوليد الجسيمات، والتآكل الكيميائي، مما يطيل بشكل كبير من العمر التشغيلي لغرف معالجة أشباه الموصلات.
يشكل الطلاء حاجزًا سيراميكيًا كثيفًا ومستقرًا كيميائيًا يقلل من التلوث ويحسن استقرار العملية في تصنيع أشباه الموصلات المتقدم.
تطبيقات نموذجية
حماية معدات عمليات أشباه الموصلات
غرف الحفر بالبلازما
- أنظمة CVD / PECVD
- معدات ترسيب ALD
- أنظمة التنظيف بالبلازما
- مكونات رئيسية
طلاء الشواك الكهربائية (ESC)
- حلقات التركيز
- رؤوس الدش
- بطانات الغرفة
- حلقات الحواف والدروع
- مكونات مناولة الرقائق
- توزيع حجم الجسيمات
لماذا طلاء أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلاتمقارنة بطلاءات الألومينا التقليدية، توفر طلاءات الإيتريا:
مقاومة أعلى لتآكل البلازماخطر تلوث أقلتكلفة صيانة أقل
دورات خدمة أطول للغرفة
- تحسين اتساق العملية
- تم اعتماد طلاءات Y₂O₃ على نطاق واسع في خطوط تصنيع المنطق المتقدم، والذاكرة، وأشباه الموصلات المركبة.
أبرز المنتجات
طلاء رش أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلات | مادة طلاء عالية النقاء مقاومة للبلازما من Y₂O₃ وصفأكسيد الإيتريوم (Y₂O₃) مادة طلاء بالرش هي مسحوق سيراميك من العناصر الأرضية النادرة عالية النقاء مصمم للطلاءات الواقية المستخدمة في معدات تصنيع أشباه الموصلات. يتم تطبيق المادة على نطاق واسع من خلال تقني...
مسحوق التلميع Ceria من الدرجة CMP لأجهزة AR Optics ومجموعات العدسات الصغيرة والمستشعرات البصرية القابلة للارتداء
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
مسحوق البوليسة ذو أكسيد السريا فائق الدقة لغلاف الزجاج الذكي القابل للارتداء والتصليح البصري الدقيق
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
مسحوق تلميع أكسيد السيريوم عالي النقاء لتصنيع زجاج الدليل الموجي AR والعدسات البصرية
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
مسحوق أكسالات السيريوم عناصر المفاعل الكيميائي
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
يرجى استخدام نموذج الاتصال عبر الإنترنت في الأسفل إذا كان لديك أي أسئلة، وسوف يعود فريقنا إليك في أقرب وقت ممكن.
