طلاء بخاخ أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلات | مادة طلاء عالية النقاء من Y₂O₃ مقاومة للبلازما
تفاصيل المنتج
| الصيغة الكيميائية: | Y₂O₃ | نقاء: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| التشكل: | كروية | كثافة: | ≥ 5.0 جم/سم3 |
| مقاومة البلازما: | ممتاز | التحكم في الشوائب: | درجة أشباه الموصلات |
| إبراز |
طلاء أشباه الموصلات بأكسيد الإيتريوم,طلاء بلازما عالي النقاء من Y₂O₃,مادة بخاخ أكسيد الأرض النادرة |
||
وصف المنتج
طلاء رش أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلات | مادة طلاء عالية النقاء مقاومة للبلازما من Y₂O₃
وصفأكسيد الإيتريوم (Y₂O₃) مادة طلاء بالرش هي مسحوق سيراميك من العناصر الأرضية النادرة عالية النقاء مصمم للطلاءات الواقية المستخدمة في معدات تصنيع أشباه الموصلات. يتم تطبيق المادة على نطاق واسع من خلال تقنيات الطلاء بالرش الحراري، أو الرش بالبلازما، أو الرش بالتعليق لحماية المكونات الحيوية المعرضة لبيئات البلازما العدوانية.
توفر طلاءات أكسيد الإيتريوم مقاومة استثنائية للتآكل بالبلازما القائمة على الفلور، وتوليد الجسيمات، والتآكل الكيميائي، مما يطيل بشكل كبير من العمر التشغيلي لغرف معالجة أشباه الموصلات.
يشكل الطلاء حاجزًا سيراميكيًا كثيفًا ومستقرًا كيميائيًا يقلل من التلوث ويحسن استقرار العملية في تصنيع أشباه الموصلات المتقدم.
تطبيقات نموذجية
حماية معدات عمليات أشباه الموصلات
غرف الحفر بالبلازما
- أنظمة CVD / PECVD
- معدات ترسيب ALD
- أنظمة التنظيف بالبلازما
- مكونات رئيسية
طلاء الشواك الكهربائية (ESC)
- حلقات التركيز
- رؤوس الدش
- بطانات الغرفة
- حلقات الحواف والدروع
- مكونات مناولة الرقائق
- توزيع حجم الجسيمات
لماذا طلاء أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلاتمقارنة بطلاءات الألومينا التقليدية، توفر طلاءات الإيتريا:
مقاومة أعلى لتآكل البلازماخطر تلوث أقلتكلفة صيانة أقل
دورات خدمة أطول للغرفة
- تحسين اتساق العملية
- تم اعتماد طلاءات Y₂O₃ على نطاق واسع في خطوط تصنيع المنطق المتقدم، والذاكرة، وأشباه الموصلات المركبة.
أبرز المنتجات
طلاء رش أكسيد الإيتريوم لمعدات أشباه الموصلات | مادة طلاء عالية النقاء مقاومة للبلازما من Y₂O₃ وصفأكسيد الإيتريوم (Y₂O₃) مادة طلاء بالرش هي مسحوق سيراميك من العناصر الأرضية النادرة عالية النقاء مصمم للطلاءات الواقية المستخدمة في معدات تصنيع أشباه الموصلات. يتم تطبيق المادة على نطاق واسع من خلال تقني...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
يرجى استخدام نموذج الاتصال عبر الإنترنت في الأسفل إذا كان لديك أي أسئلة، وسوف يعود فريقنا إليك في أقرب وقت ممكن.
