Yttrium-Oxid-Spray-Beschichtung für Halbleiter-Ausrüstung.
Produktdetails
| Chemische Formel: | Y₂O₃ | Reinheit: | 99,9 % |
|---|---|---|---|
| Morphologie: | Sphärisch | Dichte: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Plasmaresistenz: | Exzellent | Verunreinigungskontrolle: | Halbleiterqualität |
| Hervorheben |
mit einer Breite von nicht mehr als 50 mm,Hochreine Plasmabeschichtung mit Y2O3,Seltene Erdoxide-Sprühmaterial |
||
Produkt-Beschreibung
Yttriumoxid-Sprühbeschichtung für Halbleiterausrüstung | Hochreines Y₂O₃ Plasmarresistentes Beschichtungsmaterial
Beschreibung
Yttriumoxid (Y₂O₃) Sprühbeschichtungsmaterial ist ein hochreines Seltenerdkeramikpulver, das für Schutzbeschichtungen in der Halbleiterfertigungsausrüstung entwickelt wurde. Das Material wird häufig mittels thermischem Spritzen, Plasmaspritzen oder Suspensionsspritzbeschichtungstechnologien aufgetragen, um kritische Komponenten zu schützen, die aggressiven Plasmaumgebungen ausgesetzt sind.
Yttriumoxidbeschichtungen bieten eine außergewöhnliche Beständigkeit gegen fluorbasierte Plasmaerosion, Partikelbildung und chemische Erosion, wodurch die Lebensdauer von Halbleiterverarbeitungskammern erheblich verlängert wird.
Die Beschichtung bildet eine dichte, chemisch stabile Keramikbarriere, die die Kontamination minimiert und die Prozessstabilität in der fortschrittlichen Halbleiterfertigung verbessert.
Typische Anwendungen
Schutz von Halbleiterprozessanlagen
- Plasmaätzkammern
- CVD / PECVD-Systeme
- ALD-Abscheideausrüstung
- Plasmareinigungssysteme
Schlüsselkomponenten
- Beschichtung von elektrostatischen Spannfuttern (ESC)
- Fokusringe
- Duschköpfe
- Kammerauskleidungen
- Randringe & Schilde
- Waferhandhabungskomponenten
Partikelgrößenverteilung
Warum Yttriumoxidbeschichtung für HalbleiterausrüstungIm Vergleich zu herkömmlichen Aluminiumoxidbeschichtungen bieten Yttriumoxidbeschichtungen:
Höhere Plasmaerosionsbeständigkeit
- Geringeres Kontaminationsrisiko
- Reduzierte Wartungskosten
- Längere Kammerwartungszyklen
- Verbesserte Prozesskonsistenz
- Y₂O₃-Beschichtungen werden in fortschrittlichen Fertigungslinien für Logik-, Speicher- und Verbundhalbleiter weit verbreitet eingesetzt.
Produkt-Highlights
Yttriumoxid-Sprühbeschichtung für Halbleiterausrüstung | Hochreines Y₂O₃ Plasmarresistentes Beschichtungsmaterial Beschreibung Yttriumoxid (Y₂O₃) Sprühbeschichtungsmaterial ist ein hochreines Seltenerdkeramikpulver, das für Schutzbeschichtungen in der Halbleiterfertigungsausrüstung entwickelt wurde. ...
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