Yarım iletken ekipmanları için Yttrium oksit sprey kaplama yüksek saflıklı Y2O3 plazma dayanıklı kaplama malzemesi
Ürün Ayrıntıları
| Kimyasal Formül: | Y₂O₃ | Saflık: | %99,9 |
|---|---|---|---|
| Morfoloji: | Küresel | Yoğunluk: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Plazma Direnci: | Harika | Safsızlık Kontrolü: | Yarı İletken Sınıfı |
| Vurgulamak |
Yttrium oksit yarı iletken kaplama,Yüksek saflıkta Y2O3 plazma kaplama,Nadir toprak oksitleri püskürtme malzemesi |
||
Ürün Tanımı
Yarım iletken ekipmanları için Yttrium oksit sprey kaplama yüksek saflıklı Y2O3 plazma dayanıklı kaplama malzemesi
Tanımlamalarüzerinde
Yttrium oksit (Y2O3) püskürtme kaplama malzemesi, yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan koruyucu kaplamalar için tasarlanmış yüksek saflıklı nadir toprak seramik tozudur.Malzeme termal püskürtme yoluyla yaygın olarak uygulanır, plazma püskürtme veya süspansiyon püskürtme kaplama teknolojileri saldırgan plazma ortamlarına maruz kalan kritik bileşenleri korumak için.
Yttrium oksit kaplamaları, flüor bazlı plazma korozyona, parçacık üretimine ve kimyasal erozyona karşı olağanüstü direnç sağlar.Yarım iletken işleme odalarının kullanım ömrünü önemli ölçüde uzatmak.
Kaplama, kirliliği en aza indirgenen ve gelişmiş yarı iletken imalatında süreç istikrarını iyileştiren yoğun, kimyasal olarak istikrarlı bir seramik bariyer oluşturur.
Tipik Uygulamalar
Yarım iletken işlem ekipmanlarının korunması
- Plazma kazım odaları
- CVD / PECVD Sistemleri
- ALD depolama ekipmanları
- Plazma Temizleme Sistemleri
Ana Bileşenler
- Elektrostatik Çak (ESC) kaplama
- Odaklanma Halkaları
- Duş başlıkları
- Oda kaplamaları
- Kenar Halkaları ve Kalkanlar
- Wafer Düzeltme Bileşenleri
Parçacık Boyutu Dağıtımİlişki
Yarım iletken ekipmanları için neden itiyum oksit kaplamaErkeklert
Geleneksel alümina kaplamalarıyla karşılaştırıldığında, yttria kaplamaları:
- Daha yüksek plazma erozyon direnci
- Daha düşük kontaminasyon riski
- Düşük bakım maliyeti
- Daha uzun oda servis döngüleri
- Süreç tutarlılığının iyileştirilmesi
Y2O3 kaplamaları, gelişmiş mantık, bellek ve bileşik yarı iletken üretim hatlarında yaygın olarak kabul edilir.
Ürün Özellikleri
Yarım iletken ekipmanları için Yttrium oksit sprey kaplama yüksek saflıklı Y2O3 plazma dayanıklı kaplama malzemesi Tanımlamalarüzerinde Yttrium oksit (Y2O3) püskürtme kaplama malzemesi, yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan koruyucu kaplamalar için tasarlanmış yüksek saflıklı nadir toprak ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Herhangi bir sorunuz varsa lütfen aşağıdaki çevrimiçi talep iletişim formumuzu kullanın, ekibimiz en kısa sürede size geri dönüş yapacaktır.
