सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए येट्रियम ऑक्साइड स्प्रे कोटिंग | उच्च-शुद्धता Y₂O₃ प्लाज्मा प्रतिरोधी कोटिंग सामग्री
उत्पाद का विवरण
| रासायनिक सूत्र: | Y₂O₃ | पवित्रता: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| आकृति विज्ञान: | गोल | घनत्व: | ≥ 5.0 ग्राम/सेमी³ |
| प्लाज्मा प्रतिरोध: | उत्कृष्ट | अशुद्धता नियंत्रण: | सेमीकंडक्टर ग्रेड |
| प्रमुखता देना |
येट्रियम ऑक्साइड सेमीकंडक्टर कोटिंग,उच्च-शुद्धता Y₂O₃ प्लाज्मा कोटिंग,दुर्लभ पृथ्वी ऑक्साइड स्प्रे सामग्री |
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उत्पाद का वर्णन
सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए येट्रियम ऑक्साइड स्प्रे कोटिंग | उच्च-शुद्धता Y₂O₃ प्लाज्मा प्रतिरोधी कोटिंग सामग्री
विवरणYttrium Oxide (Y₂O₃) Spray Coating Material एक उच्च-शुद्धता दुर्लभ पृथ्वी सिरेमिक पाउडर है जिसे सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण में सुरक्षात्मक कोटिंग्स के लिए इंजीनियर किया गया है। सामग्री का व्यापक रूप से थर्मल स्प्रे, प्लाज्मा स्प्रे, या सस्पेंशन स्प्रे कोटिंग तकनीकों के माध्यम से आक्रामक प्लाज्मा वातावरण के संपर्क में आने वाले महत्वपूर्ण घटकों की सुरक्षा के लिए उपयोग किया जाता है।
येट्रियम ऑक्साइड कोटिंग्स फ्लोरीन-आधारित प्लाज्मा संक्षारण, कण उत्पादन और रासायनिक क्षरण के खिलाफ असाधारण प्रतिरोध प्रदान करती हैं, जिससे सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण कक्षों का सेवा जीवन काफी बढ़ जाता है।
कोटिंग एक सघन, रासायनिक रूप से स्थिर सिरेमिक अवरोध बनाती है जो संदूषण को कम करती है और उन्नत सेमीकंडक्टर निर्माण में प्रक्रिया स्थिरता में सुधार करती है।
विशिष्ट अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरण संरक्षण
प्लाज्मा एचिंग चैंबर
- CVD / PECVD सिस्टम
- ALD डिपोजिशन उपकरण
- प्लाज्मा क्लीनिंग सिस्टम
- मुख्य घटक
इलेक्ट्रोस्टैटिक चक (ESC) कोटिंग
- फोकस रिंग्स
- शावर हेड्स
- चैंबर लाइनर्स
- एज रिंग्स और शील्ड्स
- वेफर हैंडलिंग कंपोनेंट्स
- कण आकार वितरण
सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए येट्रियम ऑक्साइड कोटिंग क्योंपारंपरिक एल्यूमिना कोटिंग्स की तुलना में, यट्रिया कोटिंग्स प्रदान करती हैं:
उच्च प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोधकम संदूषण जोखिमकम रखरखाव लागत
लंबे चैंबर सेवा चक्र
- बेहतर प्रक्रिया स्थिरता
- Y₂O₃ कोटिंग्स को उन्नत लॉजिक, मेमोरी और कंपाउंड सेमीकंडक्टर निर्माण लाइनों में व्यापक रूप से अपनाया जाता है।
उत्पाद हाइलाइट्स
सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए येट्रियम ऑक्साइड स्प्रे कोटिंग | उच्च-शुद्धता Y₂O₃ प्लाज्मा प्रतिरोधी कोटिंग सामग्री विवरणYttrium Oxide (Y₂O₃) Spray Coating Material एक उच्च-शुद्धता दुर्लभ पृथ्वी सिरेमिक पाउडर है जिसे सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण में सुरक्षात्मक कोटिंग्स के लिए इंजीनियर किया गया है। सामग्री क...
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