제품 상세정보
| 화학식: | Y²O₃ | 청정: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| 형태: | 구형 | 밀도: | ≥ 5.0g/cm³ |
| 플라즈마 저항: | 훌륭한 | 불순물 제어: | 반도체 등급 |
| 강조하다 |
산화이트륨 반도체 코팅,고순도 Y₂O₃ 플라즈마 코팅,희토류 산화물 스프레이 재료 |
||
제품 설명
반도체 장비를 위한 유트륨산화 스프레이 코팅입니다.
설명에
유트륨 산화물 (Y2O3) 스프레이 코팅 소재는 반도체 제조 장비에 사용되는 보호 코팅을 위해 고순도 희토류 세라믹 분말입니다.이 물질은 열 스프레이를 통해 널리 적용됩니다., 플라즈마 스프레이 또는 서스펜션 스프레이 코팅 기술은 공격적인 플라즈마 환경에 노출 된 중요한 구성 요소를 보호합니다.
유트륨 산화물 코팅은 플루오르 기반 플라즈마 부식, 입자 생성 및 화학적 침식에 대한 특별한 저항을 제공합니다.반도체 처리 챔버의 서비스 수명을 크게 연장하는.
코팅은 밀도가 높고 화학적으로 안정적인 세라믹 장벽을 형성하여 오염을 최소화하고 고급 반도체 제조에서 공정 안정성을 향상시킵니다.
전형적 사용법
반도체 공정 장비 보호
- 플라즈마 에칭 챔버
- CVD / PECVD 시스템
- ALD 퇴적장치
- 플라즈마 정화 시스템
주요 구성 요소
- 전기 정적 Chuck (ESC) 코팅
- 포커스 링
- 샤워기 머리
- 캄버 라인
- 엣지 링 및 방패
- 웨이퍼 처리 부품
입자 크기 분포의정
반도체 장비에 유트륨 산화질소 코팅이 필요한 이유남성t
기존 알루미나 코팅과 비교하면 yttria 코팅은 다음과 같은 기능을 제공합니다.
- 더 높은 플라스마 침식 저항성
- 오염 위험성 감소
- 유지보수 비용 감소
- 더 긴 챔버 서비스 사이클
- 프로세스 일관성 향상
Y2O3 코팅은 고급 논리, 메모리 및 복합 반도체 제조 라인에서 널리 채택됩니다.
제품 하이라이트
반도체 장비를 위한 유트륨산화 스프레이 코팅입니다. 설명에 유트륨 산화물 (Y2O3) 스프레이 코팅 소재는 반도체 제조 장비에 사용되는 보호 코팅을 위해 고순도 희토류 세라믹 분말입니다.이 물질은 열 스프레이를 통해 널리 적용됩니다., 플라즈마 스프레이 또는 서스펜션 스프레이 코팅 기술은 공격적인 플라즈마 환경에 노출 된 중요한 구성 요소를 보호합니다. 유트륨 산화물 코팅은 플루오르 기반 플라즈마 부식, 입자 생성 및 화학적 침식에 대한 특별한 저항을 제공합니다.반도체 처리 챔버의 서비스 수명을 크게 연장하는. 코팅은 밀도가 높고 ...
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