การเคลือบสเปรย์อิตเทรียมออกไซด์สำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ | วัสดุเคลือบ Y₂O₃ ความบริสุทธิ์สูง ทนพลาสม่า
รายละเอียดสินค้า
| สูตรเคมี: | ใช่₂O₃ | ความบริสุทธิ์: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| สัณฐานวิทยา: | กลม | ความหนาแน่น: | ≥ 5.0 ก./ซม.³ |
| ความต้านทานพลาสม่า: | ยอดเยี่ยม | การควบคุมสิ่งเจือปน: | เกรดเซมิคอนดักเตอร์ |
| เน้น |
การเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ด้วยอิตเทรียมออกไซด์,การเคลือบพลาสม่า Y₂O₃ ความบริสุทธิ์สูง,วัสดุสเปรย์ออกไซด์หายาก |
||
คําอธิบายสินค้า
การเคลือบสเปรย์อ๊อกไซด์ไทเรียมสําหรับอุปกรณ์ครึ่งตัวส่ง จริงๆ วัสดุเคลือบที่ทนต่อพลาสมา Y2O3 ความบริสุทธิ์สูง
คําอธิบายใน
Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Material เป็นผงเซรามิกดินหายากความบริสุทธิ์สูงที่ออกแบบมาเพื่อเคลือบป้องกันที่ใช้ในอุปกรณ์ผลิตครึ่งประสาทวัสดุนี้ถูกนํามาใช้อย่างแพร่หลาย ผ่านการฉีดความร้อนเทคโนโลยีเคลือบพลาสมาสเปรย์ หรือสเปรย์สแปนเซชั่น เพื่อปกป้องส่วนประกอบสําคัญที่เผชิญกับสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรง
ผิวเคลือบอ๊อกไซด์ไทเรียม ให้ความทนทานอย่างพิเศษต่อการกัดกร่อนของพลาสมาที่ใช้ฟลูอีน การสร้างอนุภาค และการละลายทางเคมีเพิ่มอายุการใช้งานของห้องแปรรูปครึ่งประสาทเป็นอย่างมาก.
การเคลือบสร้างอุปสรรคเซรามิกที่หนาแน่นและมั่นคงทางเคมี ซึ่งลดการปนเปื้อนให้น้อยที่สุด และปรับปรุงความมั่นคงของกระบวนการในการผลิตครึ่งประสาทที่ก้าวหน้า
การใช้งานทั่วไป
การคุ้มครองอุปกรณ์กระบวนการครึ่งตัวนํา
- ห้องตัดพลาสมา
- ระบบ CVD / PECVD
- อุปกรณ์ฝัง ALD
- ระบบทําความสะอาดพลาสมา
ส่วนประกอบสําคัญ
- การเคลือบชัคไฟฟ้าสแตตติก (ESC)
- สายวงจรจุดประสงค์
- หัวอาบน้ํา
- เครื่องเคลือบห้อง
- แหวนขอบและโล่
- องค์ประกอบในการจัดการกับแผ่น
การกระจายขนาดอนุภาคการสื่อสาร
ทําไมการเคลือบอ๊อกไซด์ไทเรียมสําหรับอุปกรณ์ครึ่งตัวนําผู้ชายt
เมื่อเทียบกับการเคลือบอัลมิเนียแบบปกติ, yttria coatings ให้:
- ความต้านทานต่อการบดของพลาสมาที่สูงขึ้น
- ความเสี่ยงในการติดเชื้อที่ต่ํากว่า
- ค่ารักษาที่ลด
- วงจรการใช้งานห้องพักที่ยาวกว่า
- การปรับปรุงความสอดคล้องของกระบวนการ
การเคลือบ Y2O3 ได้รับการรับรองอย่างกว้างขวางในระบบสมองที่ก้าวหน้า, ความจํา, และเส้นการผลิตครึ่งประสาทประกอบ
จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
การเคลือบสเปรย์อ๊อกไซด์ไทเรียมสําหรับอุปกรณ์ครึ่งตัวส่ง จริงๆ วัสดุเคลือบที่ทนต่อพลาสมา Y2O3 ความบริสุทธิ์สูง คําอธิบายใน Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Material เป็นผงเซรามิกดินหายากความบริสุทธิ์สูงที่ออกแบบมาเพื่อเคลือบป้องกันที่ใช้ในอุปกรณ์ผลิตครึ่งประสาทวัสดุนี้ถูกนํามาใช้อย่างแพร่หลาย ผ่านก...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
กรุณาใช้แบบสอบถามทางออนไลน์ด้านล่าง หากคุณมีคําถาม ทีมงานของเราจะติดต่อกลับกับคุณในเร็วที่สุด
