Επικάλυψη με ψεκασμό οξειδίου του ιτρίου για εξοπλισμό ημιαγωγών. Υλικό υψηλής καθαρότητας για την επικάλυψη που αντέχει στο πλάσμα.
Λεπτομέρειες προιόντος
| Χημικός τύπος: | Y₂o₃ | Καθαρότητα: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Μορφολογία: | Σφαιρικό | Πυκνότητα: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Αντίσταση στο πλάσμα: | Εξοχος | Έλεγχος ακαθαρσιών: | Βαθμός ημιαγωγών |
| Επισημαίνω |
Επιχρισμός ημιαγωγών οξειδίου του ιτρίου,Υψηλής καθαρότητας επιφάνεια πλάσματος Y2O3,Υλικό ψεκασμού οξειδίων σπάνιων γαιών |
||
Περιγραφή προϊόντων
Επικάλυψη Ψεκασμού Οξειδίου του Υττρίου για Εξοπλισμό Ημιαγωγών | Υψηλής Καθαρότητας Υλικό Επικάλυψης Ανθεκτικό στο Πλάσμα Υ₂Ο₃
Περιγραφή
Το υλικό επικάλυψης ψεκασμού οξειδίου του υττρίου (Υ₂Ο₃) είναι μια κεραμική σκόνη σπάνιων γαιών υψηλής καθαρότητας, σχεδιασμένη για προστατευτικές επικαλύψεις που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών. Το υλικό εφαρμόζεται ευρέως μέσω τεχνολογιών θερμικού ψεκασμού, ψεκασμού πλάσματος ή ψεκασμού εναιωρήματος για την προστασία κρίσιμων εξαρτημάτων που εκτίθενται σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος.
Οι επικαλύψεις οξειδίου του υττρίου παρέχουν εξαιρετική αντίσταση στη διάβρωση από πλάσμα που βασίζεται σε φθόριο, στη δημιουργία σωματιδίων και στη χημική διάβρωση, επεκτείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής των θαλάμων επεξεργασίας ημιαγωγών.
Η επικάλυψη σχηματίζει ένα πυκνό, χημικά σταθερό κεραμικό φράγμα που ελαχιστοποιεί τη μόλυνση και βελτιώνει τη σταθερότητα της διαδικασίας στην προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών.
Τυπικές Εφαρμογές
Προστασία Εξοπλισμού Επεξεργασίας Ημιαγωγών
- Θάλαμοι Χάραξης Πλάσματος
- Συστήματα CVD / PECVD
- Εξοπλισμός Εναπόθεσης ALD
- Συστήματα Καθαρισμού Πλάσματος
Βασικά Εξαρτήματα
- Επικάλυψη Ηλεκτροστατικού Τσοκ (ESC)
- Δακτύλιοι Εστίασης
- Κεφαλές Ψεκασμού
- Επενδύσεις Θαλάμου
- Δακτύλιοι Άκρων & Ασπίδες
- Εξαρτήματα Χειρισμού Δίσκων
Κατανομή Μέγεθους ΣωματιδίωνΓιατί Επικάλυψη Οξειδίου του Υττρίου για Εξοπλισμό Ημιαγωγών
Σε σύγκριση με τις συμβατικές επικαλύψεις αλουμίνας, οι επικαλύψεις υττρίας προσφέρουν:Υψηλότερη αντίσταση στη διάβρωση από πλάσμαΧαμηλότερος κίνδυνος μόλυνσης
Μειωμένο κόστος συντήρησης
- Μεγαλύτεροι κύκλοι ζωής θαλάμου
- Βελτιωμένη συνέπεια διαδικασίας
- Οι επικαλύψεις Υ₂Ο₃ υιοθετούνται ευρέως σε προηγμένες γραμμές κατασκευής λογικών κυκλωμάτων, μνήμης και σύνθετων ημιαγωγών.
Σημαντικά σημεία του προϊόντος
Επικάλυψη Ψεκασμού Οξειδίου του Υττρίου για Εξοπλισμό Ημιαγωγών | Υψηλής Καθαρότητας Υλικό Επικάλυψης Ανθεκτικό στο Πλάσμα Υ₂Ο₃ Περιγραφή Το υλικό επικάλυψης ψεκασμού οξειδίου του υττρίου (Υ₂Ο₃) είναι μια κεραμική σκόνη σπάνιων γαιών υψηλής καθαρότητας, σχεδιασμένη για προστατευτικές επικαλύψεις που ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Παρακαλούμε χρησιμοποιήστε την ηλεκτρονική φόρμα επικοινωνίας παρακάτω αν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις, η ομάδα μας θα επικοινωνήσει μαζί σας το συντομότερο δυνατό.
