製品詳細
| 化学式: | Y₂O₃ | 純度: | 99.9% |
|---|---|---|---|
| 形態: | 球状 | 密度: | ≥ 5.0 g/cm3 |
| 耐プラズマ性: | 素晴らしい | 不純物管理: | 半導体グレード |
| ハイライト |
イトリウムオキシド半導体コーティング,高純度Y2O3プラズマコーティング,稀土酸化物噴霧材料 |
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製品の説明
半導体機器のためのイトリウム酸化物噴霧塗装 高純度Y2O3プラズマ耐性塗装材料
記述について
イットリウム酸化物 (Y2O3) 噴霧塗装材料は,半導体製造機器で使用される保護塗装のために設計された高純度稀土セラミック粉末である.材料は熱噴霧によって広く適用されます攻撃的なプラズマ環境にさらされる重要な部品を保護するためのプラズマスプレー,またはススペンションスプレーコーティング技術.
イトリウムオキシドコーティングは フッ素ベースのプラズマ腐食,粒子生成,化学侵食に 絶好の耐性を有します半導体処理室の使用寿命を大幅に延長する.
このコーティングは密集した化学的に安定したセラミックバリアを形成し,汚染を最小限に抑え,先進的な半導体製造におけるプロセス安定性を向上させる.
典型的な用途
半導体プロセス機器の保護
- プラズマエッチング室
- CVD/PECVDシステム
- ALD 堆積装置
- プラズマ浄化システム
主要な要素
- 電気静止チャック (ESC) コーティング
- 焦点リング
- シャワーヘッド
- 室内内装飾品
- エッジ・リング&シールド
- ウェーファー処理部品
粒子の大きさの分布について
なぜ半導体機器のためのイトリウム酸化物コーティング男性t
従来のアルミナコーティングと比較して,イトリアコーティングは以下を提示します.
- プラズマ侵食耐性が高い
- 汚染リスクの低さ
- 維持費の削減
- 長い室内使用サイクル
- プロセスの一貫性を向上させる
Y2O3コーティングは,高度な論理,メモリ,複合半導体製造ラインで広く採用されています.
製品 ハイライト
半導体機器のためのイトリウム酸化物噴霧塗装 高純度Y2O3プラズマ耐性塗装材料 記述について イットリウム酸化物 (Y2O3) 噴霧塗装材料は,半導体製造機器で使用される保護塗装のために設計された高純度稀土セラミック粉末である.材料は熱噴霧によって広く適用されます攻撃的なプラズマ環境にさらされる重要な部品を保護するためのプラズマスプレー,またはススペンションスプレーコーティング技術. イトリウムオキシドコーティングは フッ素ベースのプラズマ腐食,粒子生成,化学侵食に 絶好の耐性を有します半導体処理室の使用寿命を大幅に延長する. このコーティングは密集した化学的に安定したセラミックバリアを形成し...
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