پوشش اسپری اکسید یتریوم برای تجهیزات نیمه هادی.
جزئیات محصول
| فرمول شیمیایی: | y₂o₃ | خلوص: | 99.9٪ |
|---|---|---|---|
| مورفولوژی: | کروی | تراکم: | ≥ 5.0 g/cm³ |
| مقاومت پلاسما: | عالی | کنترل ناخالصی: | درجه نیمه هادی |
| برجسته کردن |
پوشش نیمه هادی اکسید یتریوم,پوشش پلاسمایی Y2O3 با خلوص بالا,مواد اسپری اکسید زمین های نادر |
||
توضیحات محصول
پوشش اسپری اکسید یتریوم برای تجهیزات نیمه هادی.
توضیحاتدر
مواد پوشش اسپری اکسید یتریوم (Y2O3) یک پودر سرامیکی خاک نادر با پاکیزه بالا است که برای پوشش های محافظتی مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی طراحی شده است.این ماده به طور گسترده ای از طریق اسپری حرارتی استفاده می شود، اسپری پلاسما، یا فن آوری های پوشش اسپری تعلیق برای محافظت از اجزای حیاتی در معرض محیط های پلاسما تهاجمی.
پوشش های اکسید یتریوم مقاومت استثنایی در برابر خوردگی پلاسمای مبتنی بر فلورین، تولید ذرات و فرسایش شیمیایی دارند.به طور قابل توجهی طول عمر خدمت اتاق های پردازش نیمه هادی را افزایش می دهد.
پوشش یک موانع سرامیکی متراکم و شیمیایی پایدار را تشکیل می دهد که آلودگی را به حداقل می رساند و ثبات فرآیند را در ساخت نیمه هادی پیشرفته بهبود می بخشد.
کاربردهای معمول
حفاظت از تجهیزات فرآیند نیمه هادی
- اتاق های حفاری پلاسما
- سیستم های CVD / PECVD
- تجهیزات جمع آوری ALD
- سیستم های تمیز کردن پلاسما
اجزای کلیدی
- پوشش الکترواستاتیک چک (ESC)
- حلقه های فوکوس
- موهای دوش
- پوشش اتاق
- حلقه های لبه و سپر
- اجزای دستکاری وافره
توزیع اندازه ذرات..
چرا پوشش اکسید یتریوم برای تجهیزات نیمه هادیمردانt
در مقایسه با پوشش های آلومینیوم معمولی، پوشش های yttria ارائه می دهند:
- مقاومت بالاتر در برابر فرسایش پلاسما
- خطر آلودگی کمتر
- کاهش هزینه های نگهداری
- چرخه های طولانی تر سرویس اتاق
- بهبود سازگاری فرآیند
پوشش های Y2O3 به طور گسترده ای در خطوط پیشرفته منطق، حافظه و تولید نیمه هادی ترکیبی استفاده می شود.
نکات برجسته محصول
پوشش اسپری اکسید یتریوم برای تجهیزات نیمه هادی. توضیحاتدر مواد پوشش اسپری اکسید یتریوم (Y2O3) یک پودر سرامیکی خاک نادر با پاکیزه بالا است که برای پوشش های محافظتی مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی طراحی شده است.این ماده به طور گسترده ای از طریق اسپری حرارتی استفاده می شود، اسپری پلاسما، یا فن ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
لطفا از فرم تماس آنلاین در زیر استفاده کنید اگر سوالی دارید، تیم ما در اسرع وقت با شما تماس خواهد گرفت.
