Wydzielanie powłoki z tlenku ytrium dla sprzętu półprzewodnikowego.
Szczegóły produktu
| Wzór chemiczny: | Y₂O₃ | Czystość: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Morfologia: | Sferyczna | Gęstość: | ≥ 5,0 g/cm3 |
| Odporność na plazmę: | Doskonały | Kontrola zanieczyszczeń: | Stopień półprzewodnika |
| Podkreślić |
Pozostałe,o masie przekraczającej 1 kg,Wysokiej czystości powłoka plazmowa Y2O3 |
||
Opis produktu
Powłoka natryskowa z tlenku itru do sprzętu półprzewodnikowego | Wysokiej czystości materiał powłokowy Y₂O₃ odporny na plazmę
OpisMateriał powłokowy natryskowy z tlenku itru (Y₂O₃) to wysokiej czystości proszek ceramiczny z metali ziem rzadkich, zaprojektowany do powłok ochronnych stosowanych w sprzęcie do produkcji półprzewodników. Materiał jest szeroko stosowany w technologiach powlekania natryskiem termicznym, plazmowym lub zawiesinowym w celu ochrony krytycznych komponentów narażonych na agresywne środowiska plazmowe.
Powłoki z tlenku itru zapewniają wyjątkową odporność na korozję plazmą opartą na fluorkach, generowanie cząstek i erozję chemiczną, znacząco wydłużając żywotność komór procesowych półprzewodników.
Powłoka tworzy gęstą, stabilną chemicznie barierę ceramiczną, która minimalizuje zanieczyszczenia i poprawia stabilność procesu w zaawansowanej produkcji półprzewodników.
Typowe zastosowania
Ochrona sprzętu procesowego półprzewodników
Komory trawienia plazmowego
- Systemy CVD / PECVD
- Urządzenia do osadzania ALD
- Systemy czyszczenia plazmowego
- Kluczowe komponenty
Powłoka elektrostatycznego uchwytu (ESC)
- Pierścienie ogniskujące
- Głowice prysznicowe
- Wykładziny komory
- Pierścienie krawędziowe i osłony
- Komponenty do przenoszenia płytek
- Dystrybucja rozmiaru cząstek
Dlaczego powłoka z tlenku itru do sprzętu półprzewodnikowegoW porównaniu z konwencjonalnymi powłokami aluminiowymi, powłoki itrowa oferują:
Wyższa odporność na erozję plazmowąNiższe ryzyko zanieczyszczeniaZmniejszone koszty konserwacji
Dłuższe cykle serwisowe komory
- Poprawiona spójność procesu
- Powłoki Y₂O₃ są szeroko stosowane w zaawansowanych liniach produkcyjnych półprzewodników logicznych, pamięciowych i związkowych.
Najważniejsze cechy produktu
Powłoka natryskowa z tlenku itru do sprzętu półprzewodnikowego | Wysokiej czystości materiał powłokowy Y₂O₃ odporny na plazmę OpisMateriał powłokowy natryskowy z tlenku itru (Y₂O₃) to wysokiej czystości proszek ceramiczny z metali ziem rzadkich, zaprojektowany do powłok ochronnych stosowanych w sprz...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Uprzejmie prosimy o skorzystanie z naszego formularza kontaktowego online poniżej w przypadku jakichkolwiek pytań. Nasz zespół skontaktuje się z Państwem najszybciej jak to możliwe.
