Yttrium-oxide spuitcoating voor halfgeleiderapparatuur High-purity Y2O3 Plasma Resistant Coating Material
Productdetails
| Chemische formule: | Y₂O₃ | Zuiverheid: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Morfologie: | Sferisch | Dikte: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Plasma-resistentie: | Uitstekend | Onzuiverheidscontrole: | Halfgeleiderkwaliteit |
| Markeren |
met een vermogen van meer dan 10 W,Plasmacoating met Y2O3 van hoge zuiverheid,Materiaal voor het sproeien van zeldzame aardoxiden |
||
Productomschrijving
Yttriumoxide Spuitcoating voor Halfgeleiderapparatuur | Hoogzuivere Y₂O₃ Plasmasbestendige Coating Materiaal
Beschrijving
Yttriumoxide (Y₂O₃) Spuitcoating Materiaal is een hoogzuiver zeldzaam aardkeraamisch poeder, ontworpen voor beschermende coatings die worden gebruikt in halfgeleiderproductieapparatuur. Het materiaal wordt breed toegepast via thermische spuit-, plasmaspuit- of suspensiespuitcoatingtechnologieën om kritieke componenten te beschermen die worden blootgesteld aan agressieve plasmaomgevingen.
Yttriumoxidecoatings bieden uitzonderlijke weerstand tegen fluor gebaseerde plasmacorrosie, deeltjesgeneratie en chemische erosie, waardoor de levensduur van halfgeleiderverwerkingskamers aanzienlijk wordt verlengd.
De coating vormt een dichte, chemisch stabiele keramische barrière die contaminatie minimaliseert en de processtabiliteit in geavanceerde halfgeleiderfabricage verbetert.
Typische Toepassingen
Bescherming van Halfgeleider Procesapparatuur
- Plasma Ets Kamers
- CVD / PECVD Systemen
- ALD Depositie Apparatuur
- Plasma Reinigingssystemen
Belangrijke Componenten
- Coating Elektrostatische Chuck (ESC)
- Focus Ringen
- Douchekoppen
- Kamer Voeringen
- Rand Ringen & Schilden
- Wafer Handling Componenten
Deeltjesgrootte Distributie
Waarom Yttriumoxide Coating voor Halfgeleider ApparatuurtuurVergeleken met conventionele aluminiumoxidecoatings bieden yttriacoatings:
Hogere plasma-erosiebestendigheid
- Lager contaminatierisico
- Lagere onderhoudskosten
- Langere kamer servicecycli
- Verbeterde procesconsistentie
- Y₂O₃ coatings worden breed toegepast in geavanceerde logica-, geheugen- en compound halfgeleiderfabricagelijnen.
Producthoogtepunten
Yttriumoxide Spuitcoating voor Halfgeleiderapparatuur | Hoogzuivere Y₂O₃ Plasmasbestendige Coating Materiaal Beschrijving Yttriumoxide (Y₂O₃) Spuitcoating Materiaal is een hoogzuiver zeldzaam aardkeraamisch poeder, ontworpen voor beschermende coatings die worden gebruikt in halfgeleiderproductieappa...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Gebruik ons online contactformulier als u vragen heeft, ons team zal u zo snel mogelijk contacteren.
