Pelapisan Semprot Yttrium Oksida untuk Peralatan Semikonduktor | Bahan Pelapis Tahan Plasma Y₂O₃ Kemurnian Tinggi
Rincian produk
| Rumus Kimia: | Y₂O₃ | Kemurnian: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Morfologi: | Bentuk bola | Kepadatan: | ≥ 5,0 gram/cm³ |
| Resistensi Plasma: | Bagus sekali | Kontrol Pengotor: | Kelas Semikonduktor |
| Menyoroti |
Pelapisan semikonduktor yttrium oksida,Pelapisan plasma Y₂O₃ kemurnian tinggi,Bahan semprot oksida tanah jarang |
||
Deskripsi Produk
Lapisan Semprotan Yttrium Oxide untuk Peralatan Semikonduktor. Bahan Lapisan Resisten Plasma Y2O3 Berkualitas Tinggi.
Deskripsipada
Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Material adalah bubuk keramik tanah langka kemurnian tinggi yang dirancang untuk lapisan pelindung yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor.Bahan ini banyak diterapkan melalui semprotan termal, penyemprotan plasma, atau teknologi penyampaian penyemprotan suspensi untuk melindungi komponen kritis yang terkena lingkungan plasma yang agresif.
Lapisan yttrium oksida memberikan ketahanan yang luar biasa terhadap korosi plasma berbasis fluor, generasi partikel, dan erosi kimia,yang secara signifikan memperpanjang umur kerja ruang pengolahan semikonduktor.
Lapisan membentuk hambatan keramik padat dan stabil secara kimia yang meminimalkan kontaminasi dan meningkatkan stabilitas proses dalam pembuatan semikonduktor canggih.
Aplikasi Tipikal
Perlindungan Peralatan Proses Semikonduktor
- Ruang Etching Plasma
- Sistem CVD / PECVD
- Peralatan Deposisi ALD
- Sistem Pembersihan Plasma
Komponen Utama
- Lapisan Chuck Elektrostatik (ESC)
- Cincin Fokus
- Kepala Mandi
- Liner Kamar
- Edge Rings & Shields
- Komponen penanganan wafer
Distribusi ukuran partikelPeraturan
Mengapa Lapisan Yttrium Oxide untuk Peralatan Semikonduktorlaki-lakit
Dibandingkan dengan lapisan alumina konvensional, lapisan yttria menawarkan:
- Ketahanan erosi plasma yang lebih tinggi
- Risiko kontaminasi yang lebih rendah
- Mengurangi biaya pemeliharaan
- Siklus layanan ruang yang lebih panjang
- Meningkatkan konsistensi proses
Lapisan Y2O3 banyak diadopsi dalam lini manufaktur logika, memori, dan semikonduktor majemuk.
Sorotan Produk
Lapisan Semprotan Yttrium Oxide untuk Peralatan Semikonduktor. Bahan Lapisan Resisten Plasma Y2O3 Berkualitas Tinggi. Deskripsipada Yttrium Oxide (Y2O3) Spray Coating Material adalah bubuk keramik tanah langka kemurnian tinggi yang dirancang untuk lapisan pelindung yang digunakan dalam peralatan ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Silakan gunakan formulir kontak pertanyaan online kami di bawah ini jika Anda memiliki pertanyaan, tim kami akan menghubungi Anda sesegera mungkin.
