Revestimento por Pulverização de Óxido de Ítrio para Equipamentos Semicondutores | Material de Revestimento Resistente a Plasma de Y₂O₃ de Alta Pureza
Detalhes do produto
| Fórmula Química: | Y₂O₃ | Pureza: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Morfologia: | Esférica | Densidade: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Resistência Plasmática: | Excelente | Controle de Impurezas: | Grau de semicondutor |
| Destacar |
Revestimento semicondutor de óxido de ítrio,Revestimento de plasma de Y₂O₃ de alta pureza,Material de pulverização de óxido de terra rara |
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Descrição do produto
Revestimento por spray de óxido de ítrium para equipamentos de semicondutores. Material de revestimento resistente ao plasma de alta pureza Y2O3.
Descriçõesem
O óxido de ítrium (Y2O3) Spray Coating Material é um pó cerâmico de terras raras de alta pureza projetado para revestimentos protetores utilizados em equipamentos de fabricação de semicondutores.O material é amplamente aplicado através de pulverização térmicaTecnologias de revestimento por pulverização de plasma ou por pulverização de suspensão para proteger componentes críticos expostos a ambientes de plasma agressivos.
Os revestimentos de óxido de ítrium oferecem uma resistência excepcional à corrosão plasmática à base de flúor, à geração de partículas e à erosão química.que prolonga significativamente a vida útil das câmaras de processamento de semicondutores.
O revestimento forma uma barreira cerâmica densa e quimicamente estável que minimiza a contaminação e melhora a estabilidade do processo na fabricação avançada de semicondutores.
Aplicações típicas
Proteção dos equipamentos de processo de semicondutores
- Câmaras de gravação por plasma
- Sistemas CVD / PECVD
- Equipamento de deposição ALD
- Sistemas de limpeza de plasma
Principais componentes
- Revestimento de chuque eletrostático (ESC)
- Anéis de foco
- Cabeças de chuveiro
- Revestimentos para câmaras
- Anéis de borda e escudos
- Componentes de manipulação de wafer
Distribuição do tamanho das partículasAção
Por que revestimento de óxido de ítrium para equipamentos de semicondutoresHomenst
Em comparação com os revestimentos de alumina convencionais, os revestimentos yttria oferecem:
- Maior resistência à erosão do plasma
- Menor risco de contaminação
- Redução dos custos de manutenção
- Ciclos de serviço de câmara mais longos
- Melhoria da coerência dos processos
Os revestimentos Y2O3 são amplamente adotados em linhas avançadas de fabricação de lógica, memória e semicondutores compostos.
Destaques do Produto
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