Revêtement par pulvérisation d'oxyde d'yttrium pour équipement de semi-conducteurs | Matériau de revêtement résistant au plasma Y₂O₃ de haute pureté
Détails de produit
| Formule chimique: | Y₂O₃ | Pureté: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Morphologie: | Sphériques | Densité: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Résistance plasmatique: | Excellent | Contrôle des impuretés: | Qualité semi-conducteur |
| Mettre en évidence |
Revêtement semi-conducteur d'oxyde d'yttrium,Revêtement plasma Y₂O₃ de haute pureté,Matériau de pulvérisation d'oxyde de terre rare |
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Description de produit
Le revêtement par pulvérisation d'oxyde d'yttrium pour les équipements de semi-conducteurs.
Des descriptionssur
L'oxyde d'yttrium (Y2O3) est une poudre céramique de terres rares de haute pureté conçue pour les revêtements de protection utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs.Le matériau est largement appliqué par pulvérisation thermique, technologies de revêtement par pulvérisation de plasma ou par pulvérisation de suspension pour protéger les composants critiques exposés à des environnements de plasma agressifs.
Les revêtements à l'oxyde d'yttrium offrent une résistance exceptionnelle à la corrosion du plasma à base de fluor, à la production de particules et à l'érosion chimique.qui prolonge sensiblement la durée de vie des chambres de traitement des semi-conducteurs.
Le revêtement forme une barrière céramique dense et chimiquement stable qui minimise la contamination et améliore la stabilité du processus dans la fabrication avancée de semi-conducteurs.
Applications typiques
Protection des équipements de traitement des semi-conducteurs
- Chambres de gravure au plasma
- Systèmes CVD / PECVD
- Équipement de dépôt ALD
- Systèmes de nettoyage par plasma
Composants clés
- Le revêtement à chuck électrostatique (ESC)
- Anneaux de mise au point
- Têtes de douche
- Les revêtements de chambre
- Anneaux et boucliers de bord
- Composants pour le traitement des plaquettes
Distribution de la taille des particulesLe gouvernement
Pourquoi le revêtement à l'oxyde d'yttrium pour les équipements de semi-conducteursles hommest
Par rapport aux revêtements d'alumine classiques, les revêtements yttria offrent:
- Résistance plus élevée à l'érosion du plasma
- Moins de risque de contamination
- Réduction des coûts de maintenance
- Cycles de fonctionnement plus longs
- Amélioration de la cohérence des processus
Les revêtements Y2O3 sont largement utilisés dans les lignes de fabrication de logiques avancées, de mémoire et de semi-conducteurs composés.
Points forts du produit
Le revêtement par pulvérisation d'oxyde d'yttrium pour les équipements de semi-conducteurs. Des descriptionssur L'oxyde d'yttrium (Y2O3) est une poudre céramique de terres rares de haute pureté conçue pour les revêtements de protection utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs...
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