Revêtement par pulvérisation d'oxyde d'yttrium pour équipement de semi-conducteurs | Matériau de revêtement résistant au plasma Y₂O₃ de haute pureté
Détails de produit
| Formule chimique: | Y₂O₃ | Pureté: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Morphologie: | Sphériques | Densité: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Résistance plasmatique: | Excellent | Contrôle des impuretés: | Qualité semi-conducteur |
| Mettre en évidence |
Revêtement semi-conducteur d'oxyde d'yttrium,Revêtement plasma Y₂O₃ de haute pureté,Matériau de pulvérisation d'oxyde de terre rare |
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Description de produit
Le revêtement par pulvérisation d'oxyde d'yttrium pour les équipements de semi-conducteurs.
Des descriptionssur
L'oxyde d'yttrium (Y2O3) est une poudre céramique de terres rares de haute pureté conçue pour les revêtements de protection utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs.Le matériau est largement appliqué par pulvérisation thermique, technologies de revêtement par pulvérisation de plasma ou par pulvérisation de suspension pour protéger les composants critiques exposés à des environnements de plasma agressifs.
Les revêtements à l'oxyde d'yttrium offrent une résistance exceptionnelle à la corrosion du plasma à base de fluor, à la production de particules et à l'érosion chimique.qui prolonge sensiblement la durée de vie des chambres de traitement des semi-conducteurs.
Le revêtement forme une barrière céramique dense et chimiquement stable qui minimise la contamination et améliore la stabilité du processus dans la fabrication avancée de semi-conducteurs.
Applications typiques
Protection des équipements de traitement des semi-conducteurs
- Chambres de gravure au plasma
- Systèmes CVD / PECVD
- Équipement de dépôt ALD
- Systèmes de nettoyage par plasma
Composants clés
- Le revêtement à chuck électrostatique (ESC)
- Anneaux de mise au point
- Têtes de douche
- Les revêtements de chambre
- Anneaux et boucliers de bord
- Composants pour le traitement des plaquettes
Distribution de la taille des particulesLe gouvernement
Pourquoi le revêtement à l'oxyde d'yttrium pour les équipements de semi-conducteursles hommest
Par rapport aux revêtements d'alumine classiques, les revêtements yttria offrent:
- Résistance plus élevée à l'érosion du plasma
- Moins de risque de contamination
- Réduction des coûts de maintenance
- Cycles de fonctionnement plus longs
- Amélioration de la cohérence des processus
Les revêtements Y2O3 sont largement utilisés dans les lignes de fabrication de logiques avancées, de mémoire et de semi-conducteurs composés.
Points forts du produit
Le revêtement par pulvérisation d'oxyde d'yttrium pour les équipements de semi-conducteurs. Des descriptionssur L'oxyde d'yttrium (Y2O3) est une poudre céramique de terres rares de haute pureté conçue pour les revêtements de protection utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs...
Poudre de polissage Ceria de qualité CMP pour optique AR, séries de micro-lentilles et capteurs optiques portables
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Poudre d'oxalate de cérium Éléments réactifs chimiques
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
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