Lớp phủ xịt oxit yttrium cho thiết bị bán dẫn. Vật liệu lớp phủ kháng plasma Y2O3 tinh khiết cao.
Chi tiết sản phẩm
| Công thức hóa học: | Y₂O₃ | độ tinh khiết: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Hình thái: | Hình cầu | Tỉ trọng: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Kháng huyết tương: | Xuất sắc | Kiểm soát tạp chất: | Lớp bán dẫn |
| Làm nổi bật |
Lớp phủ bán dẫn oxit yttrium,Lớp phủ plasma Y2O3 tinh khiết cao,Vật liệu phun oxit đất hiếm |
||
Mô tả sản phẩm
Lớp phủ phun Yttrium Oxide cho thiết bị bán dẫn | Vật liệu phủ chống plasma Y₂O₃ tinh khiết cao
Mô tảVật liệu phủ phun Yttrium Oxide (Y₂O₃) là bột gốm đất hiếm tinh khiết cao được thiết kế cho các lớp phủ bảo vệ được sử dụng trong thiết bị sản xuất bán dẫn. Vật liệu được ứng dụng rộng rãi thông qua các công nghệ phủ phun nhiệt, phun plasma hoặc phun huyền phù để bảo vệ các bộ phận quan trọng tiếp xúc với môi trường plasma khắc nghiệt.
Lớp phủ yttrium oxide cung cấp khả năng chống ăn mòn plasma gốc flo, tạo hạt và xói mòn hóa học vượt trội, kéo dài đáng kể tuổi thọ của các buồng xử lý bán dẫn.
Lớp phủ tạo ra một rào cản gốm dày đặc, ổn định hóa học, giúp giảm thiểu ô nhiễm và cải thiện độ ổn định quy trình trong sản xuất bán dẫn tiên tiến.
Ứng dụng điển hình
Bảo vệ thiết bị quy trình bán dẫn
Buồng khắc plasma
- Hệ thống CVD / PECVD
- Thiết bị lắng đọng ALD
- Hệ thống làm sạch plasma
- Các bộ phận chính
Lớp phủ mâm cặp tĩnh điện (ESC)
- Vòng lấy nét
- Đầu phun
- Lớp lót buồng
- Vòng cạnh & Tấm chắn
- Các bộ phận xử lý wafer
- Phân bố kích thước hạt
Tại sao sử dụng lớp phủ Yttrium Oxide cho thiết bị bán dẫnSo với lớp phủ alumina thông thường, lớp phủ yttria mang lại:
Khả năng chống xói mòn plasma cao hơnNguy cơ ô nhiễm thấp hơnGiảm chi phí bảo trì
Chu kỳ phục vụ buồng dài hơn
- Cải thiện tính nhất quán của quy trình
- Lớp phủ Y₂O₃ được áp dụng rộng rãi trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn logic, bộ nhớ và bán dẫn hợp chất tiên tiến.
Điểm nổi bật của sản phẩm
Lớp phủ phun Yttrium Oxide cho thiết bị bán dẫn | Vật liệu phủ chống plasma Y₂O₃ tinh khiết cao Mô tảVật liệu phủ phun Yttrium Oxide (Y₂O₃) là bột gốm đất hiếm tinh khiết cao được thiết kế cho các lớp phủ bảo vệ được sử dụng trong thiết bị sản xuất bán dẫn. Vật liệu được ứng dụng rộng rãi thông qua ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.
