Lớp phủ xịt oxit yttrium cho thiết bị bán dẫn. Vật liệu lớp phủ kháng plasma Y2O3 tinh khiết cao.
Chi tiết sản phẩm
| Công thức hóa học: | Y₂O₃ | độ tinh khiết: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Hình thái: | Hình cầu | Tỉ trọng: | ≥ 5,0 g/cm³ |
| Kháng huyết tương: | Xuất sắc | Kiểm soát tạp chất: | Lớp bán dẫn |
| Làm nổi bật |
Lớp phủ bán dẫn oxit yttrium,Lớp phủ plasma Y2O3 tinh khiết cao,Vật liệu phun oxit đất hiếm |
||
Mô tả sản phẩm
Lớp phủ phun Yttrium Oxide cho thiết bị bán dẫn | Vật liệu phủ chống plasma Y₂O₃ tinh khiết cao
Mô tảVật liệu phủ phun Yttrium Oxide (Y₂O₃) là bột gốm đất hiếm tinh khiết cao được thiết kế cho các lớp phủ bảo vệ được sử dụng trong thiết bị sản xuất bán dẫn. Vật liệu được ứng dụng rộng rãi thông qua các công nghệ phủ phun nhiệt, phun plasma hoặc phun huyền phù để bảo vệ các bộ phận quan trọng tiếp xúc với môi trường plasma khắc nghiệt.
Lớp phủ yttrium oxide cung cấp khả năng chống ăn mòn plasma gốc flo, tạo hạt và xói mòn hóa học vượt trội, kéo dài đáng kể tuổi thọ của các buồng xử lý bán dẫn.
Lớp phủ tạo ra một rào cản gốm dày đặc, ổn định hóa học, giúp giảm thiểu ô nhiễm và cải thiện độ ổn định quy trình trong sản xuất bán dẫn tiên tiến.
Ứng dụng điển hình
Bảo vệ thiết bị quy trình bán dẫn
Buồng khắc plasma
- Hệ thống CVD / PECVD
- Thiết bị lắng đọng ALD
- Hệ thống làm sạch plasma
- Các bộ phận chính
Lớp phủ mâm cặp tĩnh điện (ESC)
- Vòng lấy nét
- Đầu phun
- Lớp lót buồng
- Vòng cạnh & Tấm chắn
- Các bộ phận xử lý wafer
- Phân bố kích thước hạt
Tại sao sử dụng lớp phủ Yttrium Oxide cho thiết bị bán dẫnSo với lớp phủ alumina thông thường, lớp phủ yttria mang lại:
Khả năng chống xói mòn plasma cao hơnNguy cơ ô nhiễm thấp hơnGiảm chi phí bảo trì
Chu kỳ phục vụ buồng dài hơn
- Cải thiện tính nhất quán của quy trình
- Lớp phủ Y₂O₃ được áp dụng rộng rãi trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn logic, bộ nhớ và bán dẫn hợp chất tiên tiến.
Điểm nổi bật của sản phẩm
Lớp phủ phun Yttrium Oxide cho thiết bị bán dẫn | Vật liệu phủ chống plasma Y₂O₃ tinh khiết cao Mô tảVật liệu phủ phun Yttrium Oxide (Y₂O₃) là bột gốm đất hiếm tinh khiết cao được thiết kế cho các lớp phủ bảo vệ được sử dụng trong thiết bị sản xuất bán dẫn. Vật liệu được ứng dụng rộng rãi thông qua ...
Bột đánh bóng Ceria cấp CMP cho Quang học AR, Mảng vi thấu kính & Cảm biến quang học đeo được
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Bột đánh bóng Oxit Ceri Siêu mịn cho kính che thiết bị đeo thông minh & Hoàn thiện Micro-Optics
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Bột đánh bóng Cerium oxide tinh khiết cao cho kính dẫn sóng AR & sản xuất ống kính quang học
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Cerium oxalate bột nguyên tố phản ứng hóa học
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.
