Распыляемое покрытие из оксида иттрия для полупроводникового оборудования | Высокочистый плазмостойкий материал покрытия Y₂O₃
Детали продукта
| Химическая формула: | Й₂О₃ | Чистота: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Морфология: | Сферный | Плотность: | ≥ 5,0 г/см³ |
| Сопротивление плазме: | Отличный | Контроль примесей: | Полупроводниковый класс |
| Выделить |
Полупроводниковое покрытие из оксида иттрия,Плазменное покрытие из высокочистого Y₂O₃,Распыляемый материал из оксида редкоземельного металла |
||
Характер продукции
Спрейное покрытие оксидом итрия для полупроводникового оборудования.
Описаниена
Итриевый оксид (Y2O3) - высокочистый редкоземельный керамический порошок, разработанный для защитных покрытий, используемых в оборудовании для производства полупроводников.Материал широко применяется с помощью теплового спрея, плазменный спрей или технологии покрытия суспензионным спреем для защиты критических компонентов, подвергающихся воздействию агрессивной плазменной среды.
Покрытия из оксида итрия обладают исключительной устойчивостью к коррозии плазмы на основе фтора, образованию частиц и химической эрозии.значительно продлевает срок службы камер обработки полупроводников.
Покрытие образует плотный, химически стабильный керамический барьер, который минимизирует загрязнение и улучшает стабильность процесса в передовой производстве полупроводников.
Типичные применения
Защита оборудования полупроводникового процесса
- Камеры для плазменной гравировки
- Системы CVD / PECVD
- Оборудование для осаждения ALD
- Системы очистки плазмы
Ключевые компоненты
- Электростатическое покрытие (ESC)
- Концентрационные кольца
- Душевые головки
- Комнатные облицовки
- Крайние кольца и щиты
- Компоненты для обработки пластин
Распределение размера частицОтношение
Почему покрытие оксидом итрия для полупроводникового оборудованиямужчиныt
По сравнению с обычными алюминиевыми покрытиями покрытия yttria предлагают:
- Более высокая устойчивость к эрозии плазмы
- Снижение риска загрязнения
- Снижение затрат на обслуживание
- Более длинные циклы работы камеры
- Улучшение согласованности процессов
Покрытия Y2O3 широко используются в передовой логике, памяти и производстве полупроводников.
Основные характеристики продукта
Спрейное покрытие оксидом итрия для полупроводникового оборудования. Описаниена Итриевый оксид (Y2O3) - высокочистый редкоземельный керамический порошок, разработанный для защитных покрытий, используемых в оборудовании для производства полупроводников.Материал широко применяется с помощью теплового ...
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings
Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide for Anti-Corrosion and Protective Coatings is a functional ceria powder developed for advanced surface protection systems where improved chemical stability, oxidation resistance, and coating durability are required...
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings
Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings Product Overview Cerium Oxide Additive for High-Temperature Protective Coatings is engineered for coating systems exposed to elevated temperatures, oxidation, and demanding service conditions. CeO₂ has excellent thermal stability and ...
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings
Nano Cerium Oxide for Advanced Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle ...
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings
High-Purity Cerium Oxide for Functional Coatings Product Overview High-Purity Cerium Oxide (CeO₂) for Functional Coatings is a fine ceria powder designed as a functional additive and performance-enhancing material for advanced coating formulations. Its high chemical purity, controlled particle size, ...
Пожалуйста, воспользуйтесь нашей онлайн-формой для запроса, если у вас есть вопросы, наша команда свяжется с вами как можно скорее.
