Распыляемое покрытие из оксида иттрия для полупроводникового оборудования | Высокочистый плазмостойкий материал покрытия Y₂O₃
Детали продукта
| Химическая формула: | Й₂О₃ | Чистота: | 99,9% |
|---|---|---|---|
| Морфология: | Сферный | Плотность: | ≥ 5,0 г/см³ |
| Сопротивление плазме: | Отличный | Контроль примесей: | Полупроводниковый класс |
| Выделить |
Полупроводниковое покрытие из оксида иттрия,Плазменное покрытие из высокочистого Y₂O₃,Распыляемый материал из оксида редкоземельного металла |
||
Характер продукции
Спрейное покрытие оксидом итрия для полупроводникового оборудования.
Описаниена
Итриевый оксид (Y2O3) - высокочистый редкоземельный керамический порошок, разработанный для защитных покрытий, используемых в оборудовании для производства полупроводников.Материал широко применяется с помощью теплового спрея, плазменный спрей или технологии покрытия суспензионным спреем для защиты критических компонентов, подвергающихся воздействию агрессивной плазменной среды.
Покрытия из оксида итрия обладают исключительной устойчивостью к коррозии плазмы на основе фтора, образованию частиц и химической эрозии.значительно продлевает срок службы камер обработки полупроводников.
Покрытие образует плотный, химически стабильный керамический барьер, который минимизирует загрязнение и улучшает стабильность процесса в передовой производстве полупроводников.
Типичные применения
Защита оборудования полупроводникового процесса
- Камеры для плазменной гравировки
- Системы CVD / PECVD
- Оборудование для осаждения ALD
- Системы очистки плазмы
Ключевые компоненты
- Электростатическое покрытие (ESC)
- Концентрационные кольца
- Душевые головки
- Комнатные облицовки
- Крайние кольца и щиты
- Компоненты для обработки пластин
Распределение размера частицОтношение
Почему покрытие оксидом итрия для полупроводникового оборудованиямужчиныt
По сравнению с обычными алюминиевыми покрытиями покрытия yttria предлагают:
- Более высокая устойчивость к эрозии плазмы
- Снижение риска загрязнения
- Снижение затрат на обслуживание
- Более длинные циклы работы камеры
- Улучшение согласованности процессов
Покрытия Y2O3 широко используются в передовой логике, памяти и производстве полупроводников.
Основные характеристики продукта
Спрейное покрытие оксидом итрия для полупроводникового оборудования. Описаниена Итриевый оксид (Y2O3) - высокочистый редкоземельный керамический порошок, разработанный для защитных покрытий, используемых в оборудовании для производства полупроводников.Материал широко применяется с помощью теплового ...
Полировальный порошок на основе оксида церия класса CMP для AR-оптики, массивов микролинз и носимых оптических датчиков
CMP-Grade Ceria Polishing Powder For AR Optics, Micro-Lens Arrays & Wearable Optical Sensors Product Overview This CMP-grade ceria polishing powder is engineered for next-generation micro-optical components used in AR wearables, optical sensors, and miniaturized imaging systems. Featuring controlled reactivity and ultra-fine particle engineering, the product enables atomic-level surface finishing required for high-resolution optical performance and advanced photonics
Сверхтонкий полировальный порошок оксида церия для смарт-носимых устройств, защитных стекол и микрооптики
Ultra-Fine Ceria Oxide Polishing Powder For Smart Wearable Cover Glass & Micro-Optics Finishing Product Overview Developed for high-volume wearable electronics production, this ultra-fine cerium oxide polishing powder enables superior finishing of smartwatch cover glass, AR headset lenses, camera windows, and micro-optical assemblies. The formulation balances chemical activity and mechanical abrasion to deliver mirror-grade surfaces while maintaining high throughput in
Полирующий порошок с оксидом церия высокой чистоты для производства стекла с волноводом AR и оптических линз
High Purity Cerium Oxide Polishing Powder For AR Waveguide Glass & Optical Lens Manufacturing Product Overview This high-purity ceria polishing powder is specially engineered for ultra-precision polishing of AR waveguide optics, smart glasses lenses, and advanced wearable optical modules. Designed for next-generation augmented reality manufacturing, the product delivers controlled chemical-mechanical polishing (CMP) performance, achieving exceptional surface flatness and
Оксалат церия в порошке Химический реагент элементы
Cerium oxalate is an oxalate salt of trivalent cerium and an important rare earth compound, often existing in the form of hydrate. 1. Basic Information English Name: Cerium(III) oxalate, Cerous oxalate Chemical Formula: (usually hydrate, where x is mostly 9 or 10) Molecular Weight (Anhydrous): 544.29 : Anhydrous: 139-42-4 Hydrate: 15750-47-7 2. Physical and Chemical Properties Appearance: White or pale yellow crystalline powder, odorless and tasteless. Solubility: Practically
Пожалуйста, воспользуйтесь нашей онлайн-формой для запроса, если у вас есть вопросы, наша команда свяжется с вами как можно скорее.
